摘要
c!n\?lB znm3b8ns 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Oq x kOi@QLdN
M}Sn$h_ -'ff0l 建模任务
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N,N9K 光栅特性与参数的严格分析
mOm_a9ML AG?cI@', 不同光栅周期下的衍射效率
h$3o]~t f'501MJu
t.0F t2V|moG
关于光栅周期选择的考虑
w<}kY|A"=- `<}Q4p
IpX.ube wB%:RI, 偏振相关的衍射特性
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!$}:4}56F ,+LX.f&/8!
,|:TML XEK% \o} 通过参数优化进行光栅设计
~MuD`a7#G Yi?X|"\` 固定周期的2D参数优化
B{x`^3qR S}QvG&c
Q)`3&b 2D参数优化–设计1
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"gaurr3 b@6hGiqx 2D参数优化–设计2
5W%^g_I q.xt%`@aA
dXwfOC\\ VTM*=5|c 制造
公差分析–设计2
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AcRrk V]4g-
CS[ 变化光栅周期的3D参数优化
{0~ Sj%Ze c:[z({`
S}mZU! \W%Aeg*c 制造公差分析
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cJp:0'd } vx+/J 走进
VirtualLab Fusion
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]6)~Sj$ 5 )uG7 DR VirtualLab Fusion中的工作流程
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3vcKK;qCB M{!Y •构造光栅
结构 QB3vp4pBg@ −通过使用界面来配置光栅结构
|IN{8 [用例]
nu=yE$BN{ •分析光栅衍射效率
-}_X'h&" −光栅级次分析器[用例]
q:iB}ch5R •使用参数运行搜索初始解决方案
\Uz7ar#, −参数运行文档的使用[用例]
F' NX •通过参数优化找到最终设计
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wC ca@?-) VirtualLab Fusion技术
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