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.)>/!|i 内容简介 (Dm"e` Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 W 8$=a 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 >J3ja>Gw/ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 8TZA T%4 v^W?o}W 讯技科技股份有限公司 ] ZGvRA&
#A/J^Ko 目录 8[1DO1*P Preface 1 rtL9cw5 内容简介 2 5**5b9bj-9 目录 i @MZ6E$I 1 引言 1 U.Chf9a- 2 光学薄膜基础 2 [gkRXP[DGs 2.1 一般规则 2 C}=_8N 2.2 正交入射规则 3 ;D"P9b]9$ 2.3 斜入射规则 6 4 uy @ { 2.4 精确计算 7 8U<.16+5Q 2.5 相干性 8 V> a3V' 2.6 参考文献 10 <]Pix) 3 Essential Macleod的快速预览 10 wGzXp5
dl 4 Essential Macleod的特点 32 xUo)_P\_ 4.1 容量和局限性 33 Wytvs*\` 4.2 程序在哪里? 33 m0A@jWgd 4.3 数据文件 35 M-Z6TL 4.4 设计规则 35 ~I\r1Wj; 4.5 材料数据库和资料库 37 im\YL< 4.5.1材料损失 38 av;
(b3Lq 4.5.1材料数据库和导入材料 39 :*P___S= 4.5.2 材料库 41 x-V' 0-#U> 4.5.3导出材料数据 43 y>7VxX0xi 4.6 常用单位 43 {`K]sa7` 4.7 插值和外推法 46 Gp ^ owr 4.8 材料数据的平滑 50 _WDBG 4.9 更多光学常数模型 54 m{lRFKx>s 4.10 文档的一般编辑规则 55 /2_B$ 4.11 撤销和重做 56 -wtTq
ph' 4.12 设计文档 57 &FJU%tFA 4.10.1 公式 58 +A'q#~yILa 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 3\p]esse 4.10.3 沉积密度 59 n$hqNsM 4.10.4 平行和楔形介质 60 -Ty<9(~S 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 4('0f:9z+ 4.10.4 性能 61 9Nag%o{*S> 4.10.5 保存设计和性能 64 &Qtp"#{ 4.10.6 默认设计 64 5gc:Y`7t 4.11 图表 64 MOp=9d+N~ 4.11.1 合并曲线图 67 KtfkE\KP 4.11.2 自适应绘制 68 !8
wid& 4.11.3 动态绘图 68 z6FbM^;; 4.11.4 3D绘图 69 8V=HyF# 4.12 导入和导出 73 iO?gF 4.12.1 剪贴板 73 $dx1[V+_ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ~b>nCP8q 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 (}*\ { 4.13 背景 77 r?"}@MRW 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 4uO
@`0:x 4.15 生成Rugate 84 oz\{9Lwc 4.16 参考文献 91 a8bX"#OR&N 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
+eDN,iv 5.1 Jobs 92 ^B<PD] 5.2 创建一个新Job(工作) 93 {hs2?#p 5.3 输入材料 94 ubzb 5.4 设计数据文件夹 95 kH>vD =q> 5.5 默认设计 95 c6?c>*z 6 细化和合成 97 uHUvntr 6.1 优化介绍 97 CzzUi]*Ac{ 6.2 细化 (Refinement) 98 w!B,kqTG 6.3 合成 (Synthesis) 100 ,`%k'ecN 6.4 目标和评价函数 101 D% v:PYf 6.4.1 目标输入 102 _q$0lqq~u 6.4.2 目标 103 Qb6QXjN
Q 6.4.3 特殊的评价函数 104 ~>N`<S 6.5 层锁定和连接 104 {UX"Epd);n 6.6 细化技术 104 Q>}eIQ Y 6.6.1 单纯形 105 ~!3t8Hx6 6.6.1.1 单纯形参数 106 .\ ;l-U 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 B%%.@[o, 6.6.2.1 Optimac参数 108 DU/9/ I?~ 6.6.3 模拟退火算法 109 tAb;/tM3I 6.6.3.1 模拟退火参数 109 dDv{9D, 6.6.4 共轭梯度 111 lQp89*b?=U 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ' D)1ka. 6.6.5 拟牛顿法 112 " ;-{~ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 *tTP8ZCQ[ 6.6.6 针合成 113 |MOn0* 6.6.6.1 针合成参数 114 sW]yuu!/ 6.6.7 差分进化 114 1V*8,YiC< 6.6.8非局部细化 115 RMS.1: O
6.6.8.1非局部细化参数 115 2cs?("8e% 6.7 我应该使用哪种技术? 116 x"(7t3xK 6.7.1 细化 116 b[J-ja.
6.7.2 合成 117 LCo1{wi 6.8 参考文献 117 LKK{j,g7 7 导纳图及其他工具 118 ]Wy^VcqX 7.1 简介 118 oTq%wi6 _ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 bGGeg%7 7.2.1 四分之一波长规则 119 $Q`yNEc 7.2.2 导纳图 120 _9Dn\=g 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 l1-4n*fU 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 *ajFZI 7.5 斜入射导纳图 141 $\0cJCQ3 7.6 对称周期 141 NDB*BmG 7.7 参考文献 142 3n.+_ jQ>s 8 典型的镀膜实例 143 v?Z'[l 8.1 单层抗反射薄膜 145 2k.S[?) 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 D 7Gd% 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 +l2e[P+qA 8.4 W-膜层 148 QE7+rBa 8.5 V-膜层 149 bajC-5R1k 8.6 V-膜层高折射基底 150 HO266M 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 U-Af7qO 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 LFEp 8.9 四层抗反射薄膜 153 KcIc'G 9 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ~fyF&+ibp' 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 XoDJzrL# 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 7^kH8qJ) 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 :@:g*w2K 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ]sX7%3P 8.15十五层宽带抗反射膜 159 H/cs_i 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ^K7q<X , 8.17 1/4波长堆栈 162
S 3{Dn 8.18 陷波滤波器 163 '4af
], 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 3M}AxE u 8.20 褶皱 165 IL!BPFG w 8.21 消偏振分光器1 169 U3mXm?f 8.22 消偏振分光器2 171 1zdYBb6;j 8.23 消偏振立体分光器 172 CMC?R,d 8.24 消偏振截止滤光片 173 D"`%|`O 8.25 立体偏振分束器1 174 -(6eVI 8.26 立方偏振分束器2 177 >=4sPF) 8.27 相位延迟器 178 "F&Tnhh4 8.28 红外截止器 179 Vil@?Y" 8.29 21层长波带通滤波器 180 Rb{+Ki 8.30 49层长波带通滤波器 181 qsI{ b<n 8.31 55层短波带通滤波器 182 FpP\-+Sl 8.32 47 红外截止器 183 V^j3y`K 8.33 宽带通滤波器 184 \U==f&G?J 8.34 诱导透射滤波器 186 ^it4z gx@ 8.35 诱导透射滤波器2 188 OZ eiHX! 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Bfbl#ZkyL 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 g;$E1U=R-E 8.35 增益平坦滤波器 193 w+Ad$4Pf" 8.38 啁啾反射镜 1 196 gs$3)t 8.39 啁啾反射镜2 198 !.9l4@z# 8.40 啁啾反射镜3 199 RI?NB6U 8.41 带保护层的铝膜层 200 OlIT|bzkb 8.42 增加铝反射率膜 201 l#b:^3 8.43 参考文献 202 ?A|zRj{ 9 多层膜 204 H!p!sn 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 j6`6+W=S( 9.2 内部透过率 204 0rV/qMo;K 9.3 内部透射率数据 205 y@q1c*| 9.4 实例 206 2q12yY f 9.5 实例2 210 AzZi{Q ? 9.6 圆锥和带宽计算 212 t9ER;.e 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 O ,l\e3; 10 光学薄膜的颜色 216 3 Q@9S 10.1 导言 216 cvxIp#FbW 10.2 色彩 216 ] OUD5T 10.3 主波长和纯度 220 TV<Aj"xw 10.4 色相和纯度 221 Xz8$Xz,O 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 K/DH
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r 10.6 色差 226 nZe\5` 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 =1O?jrl~q 10.8 颜色渲染指数 234 R j-jAH 10.9 色差计算 235 *8/VSs 10.10 参考文献 236 b S,etd 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ubD#I{~J 11.1 短脉冲 238 ?.8<- 11.2 群速度 239
yz2(_@R 11.3 群速度色散 241 -H4PRCDH 11.4 啁啾(chirped) 245 D^$]>-^ 11.5 光学薄膜—相变 245 X@cSP7b 11.6 群延迟和延迟色散 246 .-J`d=Krp 11.7 色度色散 246 u]R$]&< 11.8 色散补偿 249 FZeP<Ban 11.9 空间光线偏移 256 hX&-/fF+f 11.10 参考文献 258 ) 9xX 12 公差与误差 260 %t q& 12.1 蒙特卡罗模型 260 /GyEV Cc 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 av)?>J~; 12.2.1 误差工具 267 )4PB<[u 12.2.2 灵敏度工具 271 W.IH#`-9E 12.2.2.1 独立灵敏度 271 O!/ekU|,r 12.2.2.2 灵敏度分布 275 bea|?lK 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 T=.-Cl1A 12.3 参考文献 276 ATo}FL 2 13 Runsheet 与Simulator 277 $%B5$+ 13.1 原理介绍 277 6I"C~&dt 13.2 截止滤光片设计 277 r-*l1([eW 14 光学常数提取 289 |"_ )zQ 14.1 介绍 289 )x)gHY8; 14.2 电介质薄膜 289 @Zj&`/ 14.3 n 和k 的提取工具 295 CNq[4T'~A 14.4 基底的参数提取 302 _g65pxt =Z 14.5 金属的参数提取 306 'bl%Y).9w 14.6 不正确的模型 306 whw{dfE 14.7 参考文献 311 GZ
<nXU> 15 反演工程 313 9+t=| 15.1 随机性和系统性 313 RFB(d=o5S 15.2 常见的系统性问题 314 b##1hm~+9 15.3 单层膜 314 SijS5irfk 15.4 多层膜 314 4Q$!c{Y
r 15.5 含义 319 PF m\[2 15.6 反演工程实例 319 Xty#vI 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 .ByU 15.6.2 反演工程提取折射率 327 O hi D 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ^zHRSO 16.1 光学性质的热致偏移 329 2?*||c==* 16.2 应力工具 335 BK*z 4m 16.3 均匀性误差 339 wz h.$?~ 16.3.1 圆锥工具 339 72u db^ 16.3.2 波前问题 341 \<=IMa0 16.4 参考文献 343 *{Yh6{ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 6A.P6DW 17.1 引言 345 >r=6A
17.2 操作数 345 J+lGh9G 18 如何在Function中编写脚本 351 z$66\/V'] 18.1 简介 351 T30Zk*V 18.2 什么是脚本? 351 ^g[J*{+!W 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 wW^Zb 18.4 基础 352 XO%~6Us^ 18.4.1 Classes(类别) 352 Psp^@ 18.4.2 对象 352 e+l\\9v 18.4.3 信息(Messages) 352 m!0N"AjA 18.4.4 属性 352 K0v.3 18.4.5 方法 353 ,2ME2@OP 18.4.6 变量声明 353 jAZ >mo[ 18.5 创建对象 354 z|Ap\[GS 18.5.1 创建对象函数 355 v~f'K3fLp 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 EDtCNqBS~2 18.5.3 丢弃对象 356 &u=8r* 18.5.4 总结 356 8ZW?|-i 18.6 脚本中的表格 357 UP]1(S? 18.6.1 方法1 357 :pb67Al29 18.6.2 方法2 357 ~o i)Lf1 18.7 2D Plots in Scripts 358 LJj=]_ 18.8 3D Plots in Scripts 359 +v!v[qn 18.9 注释 360 4T%cTH:.9N 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 s%^o*LQ|9 18.11 一个更高级的脚本 362 ^EuW(
" 18.12 <esc>键 364 )@_ugW-j 18.13 包含文件 365 dl_{iMhF&E 18.14 脚本被优化调用 366 Gnk|^i;t 18.15 脚本中的对话框 368 G0pBR]_5z$ 18.15.1 介绍 368
UUH;L 18.15.2 消息框-MsgBox 368 -Uri|^t 18.15.3 输入框函数 370 VyY.r#@ 18.15.4 自定义对话框 371 MUB37
18.15.5 对话框编辑器 371 7OE[RX8!f 18.15.6 控制对话框 377 M7vj^mt? 18.15.7 更高级的对话框 380 HitAc8 18.16 Types语句 384 /K@$#x_{ 18.17 打开文件 385 ZtR&wk 18.18 Bags 387 ||XIWKF<n2 18.13 进一步研究 388 vf N#NY6 19 vStack 389 `R0Y+#$8h 19.1 vStack基本原理 389 VAs(.y 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 L1{T
?aII 19.3 五棱镜 393 pqH4w(; 19.4 光束距离 396 n]v7V&mj\ 19.5 误差 399 ;iQp7aW{$ 19.6 二向分色棱镜 399 GG+5/hU 19.7 偏振泄漏 404 ;y OD 19.8 波前误差—相位 405 ;NP[_2|-, 19.9 其它计算参数 405 y?Onb3% 20 报表生成器 406 :~D];m 20.1 入门 406 ABZ06S/ 20.2 指令(Instructions) 406 Hd374U<8]T 20.3 页面布局指令 406 #%8 w 20.4 常见的参数图和三维图 407 ,Bf(r 20.5 表格中的常见参数 408 E(;i> 20.6 迭代指令 408 q#'VJA:A5& 20.7 报表模版 408 9n 6fXOC 20.8 开始设计一个报表模版 409 # 66e@ 21 一个新的project 413 s/h7G}Mu 21.1 创建一个新Job 414 A9;0y jae 21.2 默认设计 415 u7#z^r 21.3 薄膜设计 416 r)8z#W>s 21.4 误差的灵敏度计算 420 r0{]5JZt/ 21.5 显色指数计算 422 Pin/qp&Fa8 21.6 电场分布 424 ^j=bObaX 后记 426 d;44;*D 有兴趣可以扫码加微联系 ?:/|d\,7@
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