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N3nk\)V\E 内容简介 ,diV;d Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 jBEt!Azur 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 LTY@}o]\U 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Nky%v+r F^=|NlU&% 讯技科技股份有限公司 e3wFi,/@
NdQXQa?, 目录 Kk~0jP_ B9 Preface 1 56o?=| 内容简介 2 'Z7oPq6 目录 i 6!i0ioZzi0 1 引言 1 X./4at` 2 光学薄膜基础 2 '7W?VipU 2.1 一般规则 2 IrXC/?^h 2.2 正交入射规则 3 KW.S)+<H& 2.3 斜入射规则 6 ~S
R:,R 2.4 精确计算 7 ^AD/N|X^ 2.5 相干性 8 q5[%B K 2.6 参考文献 10 ;1cX|N= 3 Essential Macleod的快速预览 10 "$#x+|PyC 4 Essential Macleod的特点 32 #4''Cs 4.1 容量和局限性 33 79a{Zwdd9j 4.2 程序在哪里? 33 *kxk@(lT? 4.3 数据文件 35 <9/oqp{C4 4.4 设计规则 35 5jg^12EP 4.5 材料数据库和资料库 37 >;QkV6i7 4.5.1材料损失 38 u:N/aaU= 4.5.1材料数据库和导入材料 39 =5LtEgHU 4.5.2 材料库 41 a'Qy]P}'Ug 4.5.3导出材料数据 43 r}QW!^F 4.6 常用单位 43 b9OT~i=S| 4.7 插值和外推法 46 JPiC/ 4.8 材料数据的平滑 50
mYb8 4.9 更多光学常数模型 54 ;'pEzz?k" 4.10 文档的一般编辑规则 55 C
did*hxJ 4.11 撤销和重做 56 $;+B)# 4.12 设计文档 57 0pu])[P]_[ 4.10.1 公式 58 /,= wP) 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 y3$'
gu| 4.10.3 沉积密度 59 _q=$L
eO5 4.10.4 平行和楔形介质 60 7s5?^^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 s iv
KXd 4.10.4 性能 61 lV$U!v:b 4.10.5 保存设计和性能 64 >9=Y(` 4.10.6 默认设计 64 o&?Tz*"l 4.11 图表 64 {TdKS 4.11.1 合并曲线图 67 *`);_EVc 4.11.2 自适应绘制 68 u3 ?+Hu|*T 4.11.3 动态绘图 68 R8\y|p#c 4.11.4 3D绘图 69 8{JTR|yB 4.12 导入和导出 73 K~@-*8% 4.12.1 剪贴板 73 +]CKu$,8 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 J*,Ed51&7 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 PQvq$|q 4.13 背景 77 "a`0s_F,^ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ~?-U
J^# 4.15 生成Rugate 84 ED"5y 4.16 参考文献 91 L|6c lGp 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Ua V9T:)x 5.1 Jobs 92 2v`VtV|B 5.2 创建一个新Job(工作) 93 CHWyy 5.3 输入材料 94 [CRy>hfV 5.4 设计数据文件夹 95 w>H!H6Q 5.5 默认设计 95 GMgsM6.R 6 细化和合成 97 O`t ]# 6.1 优化介绍 97 k'%c| kx8U 6.2 细化 (Refinement) 98 xJ>hN@5}i 6.3 合成 (Synthesis) 100 Fdu0?H2TL 6.4 目标和评价函数 101 G5=(3 V% 6.4.1 目标输入 102 w69`vK
6.4.2 目标 103 '/;#{(" 6.4.3 特殊的评价函数 104 t wtGkkC 6.5 层锁定和连接 104 wXXv0OzK 6.6 细化技术 104 !&E>8h 6.6.1 单纯形 105 ?*,N
?s(U 6.6.1.1 单纯形参数 106 ^bL.|vB 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 )J~Qx-jG 6.6.2.1 Optimac参数 108 -hp,O?PM 6.6.3 模拟退火算法 109 0gO2^m)W 6.6.3.1 模拟退火参数 109 =#T6,[5
6.6.4 共轭梯度 111 ;5" r)F+P 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 <B$Lu4b@c 6.6.5 拟牛顿法 112 z ;y22 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Sqc*u&W 6.6.6 针合成 113 t}nZrD 6.6.6.1 针合成参数 114 .b N0! 6.6.7 差分进化 114 z~o%U&DO} 6.6.8非局部细化 115 A>7'W\R 6.6.8.1非局部细化参数 115 0[PPVr: 6.7 我应该使用哪种技术? 116 I.y|AQB 6.7.1 细化 116 y"$|?187x 6.7.2 合成 117 9N=Dls 6.8 参考文献 117 T"9`[Lzva 7 导纳图及其他工具 118 Ez<J+#)t 7.1 简介 118 X[NsdD?w1+ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 go2:D#mf 7.2.1 四分之一波长规则 119 b*dRNu 7.2.2 导纳图 120 WF *2^iWJ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 5>}L3r>a; 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Ha)w*1&w" 7.5 斜入射导纳图 141 ,a^_
~(C 7.6 对称周期 141 RF g$N@g, 7.7 参考文献 142 4y
582u6^ 8 典型的镀膜实例 143 GsqrKrbJ 8.1 单层抗反射薄膜 145 HX+'{zm] 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 `j4ukOnG 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 z6'zNM7M 8.4 W-膜层 148 JsfbY^wz 8.5 V-膜层 149 MfeW| 8.6 V-膜层高折射基底 150 n8zUL1:R 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 "-v9V7KCM 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 {l *ps-fi 8.9 四层抗反射薄膜 153 <MvFAuAT 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Qf>dfJ^q 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ! ~&X1,l1* 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ]jY->NsA] 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 I|Z5*iXqCm 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 qx0J}6+NlU 8.15十五层宽带抗反射膜 159 NYR^y\u 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 nV:.-JR 8.17 1/4波长堆栈 162 Y&'2/zI6~ 8.18 陷波滤波器 163 m]7yc>uDy 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 TrkoLJmB 8.20 褶皱 165 mqq~&nI 8.21 消偏振分光器1 169 Xg,E;LSF8 8.22 消偏振分光器2 171 /wCP(1Mw 8.23 消偏振立体分光器 172 KkAk(9Q/3 8.24 消偏振截止滤光片 173 ]0m4esK` 8.25 立体偏振分束器1 174 ,"j|0Q 8.26 立方偏振分束器2 177 pN*>A^ 8.27 相位延迟器 178 ix7N q7!N 8.28 红外截止器 179 ua4QtDSs 8.29 21层长波带通滤波器 180 O%0G37h 8.30 49层长波带通滤波器 181 [|k@Suv |z 8.31 55层短波带通滤波器 182 N<N!it 8.32 47 红外截止器 183 >-y'N.l^ 8.33 宽带通滤波器 184 Bj%{PK 8.34 诱导透射滤波器 186 ?1OS%RBF 8.35 诱导透射滤波器2 188 oB_{xu$6| 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 '7xmj:.== 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 +(cs,?`\ 8.35 增益平坦滤波器 193 HpNf f0c 8.38 啁啾反射镜 1 196 Eg
w ? 8.39 啁啾反射镜2 198 j24BB}mBB 8.40 啁啾反射镜3 199 H~||]_q| 8.41 带保护层的铝膜层 200 uERc\TZ 8.42 增加铝反射率膜 201 /JR*X!&" 8.43 参考文献 202 ]d% hU 9 多层膜 204 17<\Q(YQ= 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 J
tYnBg?[E 9.2 内部透过率 204 / x$O6gi 9.3 内部透射率数据 205 <k< 9.4 实例 206 'Ur$jW 9.5 实例2 210 5<ery~q 9.6 圆锥和带宽计算 212 s\>$ K%!H? 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 D}\%
Q # 10 光学薄膜的颜色 216 s)ZL`S?</ 10.1 导言 216 4\Q ?4ZX 10.2 色彩 216 O]^E%;(]}i 10.3 主波长和纯度 220 c(YNv4*X 10.4 色相和纯度 221 'H*S-d6V 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 q1NAKcA<U 10.6 色差 226 6\b B#a 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Q !S"=2 10.8 颜色渲染指数 234 3&3S*1b-H 10.9 色差计算 235 .D)'ZY 10.10 参考文献 236 a#j0N5<Nl 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ir%/9=^d 11.1 短脉冲 238 M@s2T|bQw 11.2 群速度 239 roW8 4x 11.3 群速度色散 241 E(TL+o 11.4 啁啾(chirped) 245 =<a`G3SY! 11.5 光学薄膜—相变 245 3}LTEsdM 11.6 群延迟和延迟色散 246 U.?,vw'aai 11.7 色度色散 246 fTV:QAa; 11.8 色散补偿 249 oryoGy=(yk 11.9 空间光线偏移 256 Wl::tgU 11.10 参考文献 258 PN0:,.4 12 公差与误差 260 _j<46^ 12.1 蒙特卡罗模型 260 kQ{pFFO 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 vxZz9+UbF 12.2.1 误差工具 267 h7I_{v8 12.2.2 灵敏度工具 271 ]hL 1qS 12.2.2.1 独立灵敏度 271 N55;oj_K 12.2.2.2 灵敏度分布 275 oDM}h
+ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 HPr5mWs: 12.3 参考文献 276 ]#R;%L 13 Runsheet 与Simulator 277 hD # Yz< 13.1 原理介绍 277 e~nmIy 13.2 截止滤光片设计 277 }MXZ 14 光学常数提取 289 VJZ
14.1 介绍 289 e)7[weGN 14.2 电介质薄膜 289 n1.]5c3p 14.3 n 和k 的提取工具 295 K^s!0[6 14.4 基底的参数提取 302 @ZD1HA,h" 14.5 金属的参数提取 306 h_x"/z& 14.6 不正确的模型 306 ^Zydy 14.7 参考文献 311 TQ>kmHWf/ 15 反演工程 313 }UQBaqDH 15.1 随机性和系统性 313 :m^eNS6: 15.2 常见的系统性问题 314 QfT&y & 15.3 单层膜 314 T4o}5sq}S 15.4 多层膜 314 I)Lg=n$ 15.5 含义 319 }T4"#'` 15.6 反演工程实例 319 $>8+t>| 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 j4+hWalm 15.6.2 反演工程提取折射率 327 WR gAc% 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 !u>29VN 16.1 光学性质的热致偏移 329 p24sWDf 16.2 应力工具 335 5NBc8h7 V 16.3 均匀性误差 339 l|U=(aA]h 16.3.1 圆锥工具 339 URX>(Y}g9^ 16.3.2 波前问题 341 !-LPFy> 16.4 参考文献 343 q
( H^H 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
IkL|bV3E0 17.1 引言 345 hY/SR'8 17.2 操作数 345 2vu"PeU9 18 如何在Function中编写脚本 351 pbR84g^p.S 18.1 简介 351 OUnt?[U\ 18.2 什么是脚本? 351 >L?/Ph %d 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 @M:j~ 18.4 基础 352 h* h+VM 18.4.1 Classes(类别) 352 L?4c8!Q 18.4.2 对象 352 `3/,- 18.4.3 信息(Messages) 352 H_vOZ0 18.4.4 属性 352 p,$1%/m 18.4.5 方法 353 rsOon2| 18.4.6 变量声明 353 "4&HxD8_ih 18.5 创建对象 354 >umcpkp-h 18.5.1 创建对象函数 355 AX<TkS@wjb 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 z#8GF^U:T 18.5.3 丢弃对象 356 R%8nR6iG" 18.5.4 总结 356 >2vl & ( 18.6 脚本中的表格 357 @,pO%,E6 18.6.1 方法1 357 M+
8!#n 18.6.2 方法2 357 Yf7n0Etd, 18.7 2D Plots in Scripts 358 dkLc"$(O 18.8 3D Plots in Scripts 359 Rfeiv 18.9 注释 360 ) m%ghpX 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 6./h0kD` 18.11 一个更高级的脚本 362 u}qfwVX Z 18.12 <esc>键 364 -`&4>\o2Lx 18.13 包含文件 365 ol:,02E& 18.14 脚本被优化调用 366 E9!IGci 18.15 脚本中的对话框 368 "Yq-s$yBi 18.15.1 介绍 368 Q?I)1][ !" 18.15.2 消息框-MsgBox 368 CNM/}|N^Si 18.15.3 输入框函数 370 D8paIp 18.15.4 自定义对话框 371 \02j~r`o 18.15.5 对话框编辑器 371 2JUX29rER 18.15.6 控制对话框 377 ;)u}`4~L 18.15.7 更高级的对话框 380 K:465r: 18.16 Types语句 384 :-Ho5DHg 18.17 打开文件 385 $ 6Nm`[V 18.18 Bags 387 Czid"Ih- 18.13 进一步研究 388 E)NH6~ 19 vStack 389 R]m`v: 9 19.1 vStack基本原理 389 3@XCP-` 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 0{gvd"q 19.3 五棱镜 393 ;!Ojb 19.4 光束距离 396 rs=wEMq/ 19.5 误差 399 ~pX&>v\T 19.6 二向分色棱镜 399 zTAt% w5 19.7 偏振泄漏 404 !b7]n-1zs 19.8 波前误差—相位 405 R^f~aLl 19.9 其它计算参数 405 cx1U6A+ 20 报表生成器 406 p! zC 20.1 入门 406 B.'@~$ 20.2 指令(Instructions) 406 pvDr&n9 20.3 页面布局指令 406 V`pTl3 20.4 常见的参数图和三维图 407 &z
1A-O
v 20.5 表格中的常见参数 408 RR75ke[Hs 20.6 迭代指令 408 /49PF:$? 20.7 报表模版 408 9c=Y+=< 20.8 开始设计一个报表模版 409 fP&F$"o8 21 一个新的project 413 }rn}r4_a 21.1 创建一个新Job 414 %+Z0$Q
21.2 默认设计 415 c<y.Y0 21.3 薄膜设计 416 [I4K`>|Z 21.4 误差的灵敏度计算 420 dY;^JPT 21.5 显色指数计算 422 xX{uDMYa; 21.6 电场分布 424 N#bWMZ" 后记 426 k#c BBrY 有兴趣可以扫码加微联系 <{[AG3/Zj4
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