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.>\>F{#~ 内容简介 p{pzOMi6 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 q=L*
99S 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 #h|,GvmF<b 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 q2"'W|I 9jJ/ RX p 讯技科技股份有限公司 E6d8z=X(
1Tk\n 目录 *p<5(-J3 Preface 1 [OToz~=) 内容简介 2 ]9l% 目录 i 26klW:2* 1 引言 1 lr= !:D=K 2 光学薄膜基础 2 3[g++B."pC 2.1 一般规则 2 uvc{RP 2.2 正交入射规则 3 dJ"xW;" 2.3 斜入射规则 6 !B38!
L 2.4 精确计算 7 -X[8 soz 2.5 相干性 8 pkMON}"mj 2.6 参考文献 10 nfPl#]ef* 3 Essential Macleod的快速预览 10 f4 ;8? 4 Essential Macleod的特点 32 R@{/$p: 4.1 容量和局限性 33 yqc(32rF! 4.2 程序在哪里? 33 i)^ZH#Gp 4.3 数据文件 35 x~Esu}x7 4.4 设计规则 35 ~{tZ;YZ 4.5 材料数据库和资料库 37 ="nrq&2 4.5.1材料损失 38 :{= 'TMJ7 4.5.1材料数据库和导入材料 39 SbNU X 4.5.2 材料库 41 )|1JcnNSa 4.5.3导出材料数据 43 R~?; KJ 4.6 常用单位 43 o_^d>Klb8 4.7 插值和外推法 46 ezy5Jqk5% 4.8 材料数据的平滑 50 NGeeD?2~ 4.9 更多光学常数模型 54
*Zo o 4.10 文档的一般编辑规则 55 2*;Y%NcP[ 4.11 撤销和重做 56 u$ / ]59 4.12 设计文档 57 ZN]c>w[
)I 4.10.1 公式 58 8@*|T?r 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 m.g@S30 4.10.3 沉积密度 59 w0`L)f5v 4.10.4 平行和楔形介质 60 3e<^-e)+xL 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 9%k.GE
4.10.4 性能 61 ^XB8A=xi 4.10.5 保存设计和性能 64 T1]X 4.10.6 默认设计 64 cNB$g )` 4.11 图表 64 j24 4.11.1 合并曲线图 67 6G})h! 4.11.2 自适应绘制 68 ' /* rCB 4.11.3 动态绘图 68 `G5wiyH}) 4.11.4 3D绘图 69 Y>m=cqR 4.12 导入和导出 73 JBJ7k19; 4.12.1 剪贴板 73 }EG(!)u 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ]6[d-$#^ko 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 #\;w:: 4.13 背景 77 ]|BSX-V.%i 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 hd
BC ^n 4.15 生成Rugate 84 M HB]' 4.16 参考文献 91 bHT@]`@@ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 .qPfi]
ty 5.1 Jobs 92 #\["y%;W 5.2 创建一个新Job(工作) 93 \uPTk)oaB 5.3 输入材料 94 D}U<7=\3H 5.4 设计数据文件夹 95 BfLZ 5.5 默认设计 95 3^UsyZS) 6 细化和合成 97 dct#ECT 6.1 优化介绍 97 >Ga1p'8FtU 6.2 细化 (Refinement) 98 <vuX "
8 6.3 合成 (Synthesis) 100 nEEGO~e 6.4 目标和评价函数 101 <|G~S<y} 6.4.1 目标输入 102 qP'g}Pc 6.4.2 目标 103 OYy !4Fp 6.4.3 特殊的评价函数 104 3pH`]m2 6.5 层锁定和连接 104 Xkm2C) 6.6 细化技术 104 u@'zvkb@ 6.6.1 单纯形 105 (:x"p{ 6.6.1.1 单纯形参数 106 291|KG 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 .u?$h0u5 6.6.2.1 Optimac参数 108 GP'Y!cl 6.6.3 模拟退火算法 109 ?zu{&aOX| 6.6.3.1 模拟退火参数 109 I@M^Wu]wW 6.6.4 共轭梯度 111 ~B\: 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 9iNns;^`q 6.6.5 拟牛顿法 112 OFbg]{ub? 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 9v2 ; 6.6.6 针合成 113 r2'rfpQ 6.6.6.1 针合成参数 114 [wG%@0\ 6.6.7 差分进化 114
>MrU^t 6.6.8非局部细化 115 x@}Fn:c!5 6.6.8.1非局部细化参数 115 @v=q,A8_ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 2H "iN[2A 6.7.1 细化 116 ~=ys~em e 6.7.2 合成 117 ~mU_`o 6.8 参考文献 117 elB 8 7 导纳图及其他工具 118 WfNMyI 7.1 简介 118 74(J7 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 VAt9JE;# 7.2.1 四分之一波长规则 119 y*(j{0yd 7.2.2 导纳图 120 1U7HS2 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 b\S}?{m5 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 sR.j~R 7.5 斜入射导纳图 141 wm71,R1 7.6 对称周期 141 9#6/c 7.7 参考文献 142 LS;anNk@.} 8 典型的镀膜实例 143 ii9/ UtIQ 8.1 单层抗反射薄膜 145 j@!}r|-T 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 < z)G& h@ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 G'f"w5%qZv 8.4 W-膜层 148 j56 An6g 8.5 V-膜层 149 ulM&kw.4i 8.6 V-膜层高折射基底 150 ,2bAKa 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 %Ege^4PE 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 |hoZ: 8.9 四层抗反射薄膜 153 :5J6rj;_ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 eov-"SJB 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 NkI: 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 I9>*Yy5RNS 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 T_T{c+,Zd$ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 qTF>!o#\: 8.15十五层宽带抗反射膜 159 c"1d#8J 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 4N j?UDa 8.17 1/4波长堆栈 162 UUqj?'Nv 8.18 陷波滤波器 163 jF9CTL< 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ^i\1c-/ 8.20 褶皱 165 v1)6")8o+ 8.21 消偏振分光器1 169 {E|gV9g 8.22 消偏振分光器2 171 pN_!|+$ 8.23 消偏振立体分光器 172 ?%Fk0E#>2 8.24 消偏振截止滤光片 173 C|LQYz-{ 8.25 立体偏振分束器1 174 ze)K-6SKH 8.26 立方偏振分束器2 177 \S@6@UGv 8.27 相位延迟器 178 9zd/5|W 8.28 红外截止器 179 @x
+#ZD( 8.29 21层长波带通滤波器 180 e~?]F0/ 8.30 49层长波带通滤波器 181 G. TX1 8.31 55层短波带通滤波器 182 K~T\q_ZPZ 8.32 47 红外截止器 183 ':4pH#E 8.33 宽带通滤波器 184 ]5/U}Um 8.34 诱导透射滤波器 186 qCN7i&k, 8.35 诱导透射滤波器2 188 e]h'
8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 d.oFlT 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 : PkZ(WZ9 8.35 增益平坦滤波器 193 >/bK?yT< 8.38 啁啾反射镜 1 196 \}NWR{= 8.39 啁啾反射镜2 198 Y3>\;W*? 8.40 啁啾反射镜3 199 Pc==]H( 8.41 带保护层的铝膜层 200 ped Yf{T 8.42 增加铝反射率膜 201 QPE.b-S 8.43 参考文献 202 u_=y,~s 9 多层膜 204 k|'Mh0G0 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 [)vwg`] 9.2 内部透过率 204 ,6\f4/ 9.3 内部透射率数据 205 cLC7U?- 9.4 实例 206 =A6O}0z 9.5 实例2 210 5N<v'6&= 9.6 圆锥和带宽计算 212 olh3 R.M< 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ][#*h`I 10 光学薄膜的颜色 216 4{t$M} ?N 10.1 导言 216 ~')t1Ays 10.2 色彩 216 F*:NKT d 10.3 主波长和纯度 220 |9$'?4F 10.4 色相和纯度 221 Wb4{*~ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 9Ib(x0_ 10.6 色差 226
w{EU9C 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 #q.G_-H4J@ 10.8 颜色渲染指数 234 2!?z%s-S 10.9 色差计算 235 #2ASzCe 10.10 参考文献 236 [qMdOY%jx 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ER1mA:8>E 11.1 短脉冲 238 [;YBX]t 11.2 群速度 239 BM~niW;k 11.3 群速度色散 241 pu*u[n 11.4 啁啾(chirped) 245 dU3>h[q 11.5 光学薄膜—相变 245 v};qMceJ 11.6 群延迟和延迟色散 246 [=3tAPpzK 11.7 色度色散 246 0(9@GIT 11.8 色散补偿 249 z}2e;d 7 11.9 空间光线偏移 256 ATp 6- 11.10 参考文献 258 bv>lm56 12 公差与误差 260 #gJ~ {tA: 12.1 蒙特卡罗模型 260 L#q9_-(# 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 utJVuJw:t 12.2.1 误差工具 267 u;qMo `- 12.2.2 灵敏度工具 271 \+Ln~\Sv 12.2.2.1 独立灵敏度 271 >=:T
ZU 12.2.2.2 灵敏度分布 275 %kFELtx 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 7qK0!fk5 12.3 参考文献 276 9|A-oS 13 Runsheet 与Simulator 277 f<altz_\q 13.1 原理介绍 277 15o
*r 13.2 截止滤光片设计 277 -
zw{<+; 14 光学常数提取 289 pQ(eF0KG 14.1 介绍 289 7 P^{*! 14.2 电介质薄膜 289 @EOR]^?!] 14.3 n 和k 的提取工具 295 e0WSHg=6@ 14.4 基底的参数提取 302 6cT~irP 14.5 金属的参数提取 306 HmB[oH"x 14.6 不正确的模型 306 +xBK^5/x 14.7 参考文献 311 >fA@tUQB 15 反演工程 313 wW! r}I# 15.1 随机性和系统性 313 'L|GClc6) 15.2 常见的系统性问题 314 /uXRZ 15.3 单层膜 314 8w8I:* 15.4 多层膜 314 6`baQ!xc. 15.5 含义 319 M:UB>-`bW 15.6 反演工程实例 319 <kXV1@> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 '
ra B 15.6.2 反演工程提取折射率 327 G1;'nwf} 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Xm=^\K3 16.1 光学性质的热致偏移 329 nB@iQxcz 16.2 应力工具 335 p@7i=hyt`p 16.3 均匀性误差 339 fqk Dk 16.3.1 圆锥工具 339 h$7Fe +#I# 16.3.2 波前问题 341 H"q`k5R 16.4 参考文献 343 hp]ng!I{\u 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 { .3 17.1 引言 345 =Q8H]F 17.2 操作数 345 `\F%l?aY 18 如何在Function中编写脚本 351 '0_j{ig 18.1 简介 351 IgiF,{KE, 18.2 什么是脚本? 351 ')u5 l 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ]O7.ss/2 18.4 基础 352 AXh3LA 18.4.1 Classes(类别) 352 (4/]dTb 18.4.2 对象 352 zdjM%l); 18.4.3 信息(Messages) 352 :ONuWNY
N 18.4.4 属性 352 Ueg N-n 18.4.5 方法 353 !(]dz~sM 18.4.6 变量声明 353 ',H$zA?i 18.5 创建对象 354 29iIG
'N 18.5.1 创建对象函数 355 Q%n{*py 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 =2nn "YVP 18.5.3 丢弃对象 356 v :+8U[x 18.5.4 总结 356 s@ 20#D 18.6 脚本中的表格 357 [UJEU~XC 18.6.1 方法1 357 P"bknXL 18.6.2 方法2 357 5Q$r@&qp 18.7 2D Plots in Scripts 358 $\,BpZ
}3 18.8 3D Plots in Scripts 359 5@UC c 18.9 注释 360 n-hvh-ZO 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ;naq-%'Sg 18.11 一个更高级的脚本 362 Wm$`ae
18.12 <esc>键 364 P!FEh'. 18.13 包含文件 365 KZrMf77= 18.14 脚本被优化调用 366 2 ]V>J 18.15 脚本中的对话框 368 i[2bmd!H 18.15.1 介绍 368 o=-Vt,2{ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 $h 08Z 18.15.3 输入框函数 370 xBL$]> 18.15.4 自定义对话框 371 Tf#2"(! 18.15.5 对话框编辑器 371 .|-l+ 18.15.6 控制对话框 377 5oU`[&=Ob 18.15.7 更高级的对话框 380 \]T=j#.S$ 18.16 Types语句 384 *gd?>P7\0 18.17 打开文件 385 vnC<*k4&v 18.18 Bags 387 .0
s[{x 18.13 进一步研究 388 ?E+:]j_ 19 vStack 389 jD ' 19.1 vStack基本原理 389 gV"qV 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 3!.H^v?
19.3 五棱镜 393 fO^e+Mz 19.4 光束距离 396 '?"t<$b 19.5 误差 399 j\`EUC 19.6 二向分色棱镜 399 1p7cv~#95 19.7 偏振泄漏 404 'dIX=/RZ 19.8 波前误差—相位 405 %XP_\lu] 19.9 其它计算参数 405 CxbSj, 20 报表生成器 406 RgB6:f, 20.1 入门 406 m]FaEQVoE 20.2 指令(Instructions) 406 ?Oy'awf_ 20.3 页面布局指令 406 I 1 b 20.4 常见的参数图和三维图 407 h4CTTe) 20.5 表格中的常见参数 408 n7IL7?!o 20.6 迭代指令 408 8K\'Z 20.7 报表模版 408 r}/yi 20.8 开始设计一个报表模版 409 4F05(R8k 21 一个新的project 413 vKNt$]pm= 21.1 创建一个新Job 414 0jxO |N2) 21.2 默认设计 415 I1Hw"G"& 21.3 薄膜设计 416 omM&{ }8 g 21.4 误差的灵敏度计算 420 W@I
02n2H 21.5 显色指数计算 422 )uQ-YC('0 21.6 电场分布 424 (jU/Wj!q 后记 426 1. #
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