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a:P+HU: 内容简介 }qGd*k0F0 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 t(UBs-t 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 :
HU|BJ> 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 uWMSn 0XljFQ 讯技科技股份有限公司 y z3=#
7&etnQJ{ 目录 V,zFHXO Preface 1 }x6)}sz7 内容简介 2 mb_6f:Qh3 目录 i %*q^i}5)E 1 引言 1 ~W"@[*6w 2 光学薄膜基础 2 ??Urm[Y.Z 2.1 一般规则 2 \Dr( /n 2.2 正交入射规则 3 v\(6uej^ 2.3 斜入射规则 6 Q-iBK*-w 2.4 精确计算 7 c;KMox/ 2.5 相干性 8 wtL=^ 2.6 参考文献 10 owa&HW/_ 3 Essential Macleod的快速预览 10 g9Dynm5 4 Essential Macleod的特点 32 7<:o4\q?m 4.1 容量和局限性 33 0T@axQ[% 4.2 程序在哪里? 33 D
@wIbU 4.3 数据文件 35 6e|uA7i4 4.4 设计规则 35 ME>Sh~C\ 4.5 材料数据库和资料库 37 Ei2M~/ 4.5.1材料损失 38 {Gh9(0,B? 4.5.1材料数据库和导入材料 39 )~xH!%4F 4.5.2 材料库 41 )C\/ ( 4.5.3导出材料数据 43 g^:`h
VV 4.6 常用单位 43 ifWQwS/,a 4.7 插值和外推法 46 -oZw+ge} 4.8 材料数据的平滑 50 non5e)w3@ 4.9 更多光学常数模型 54 ;*Mr(#R 4.10 文档的一般编辑规则 55 W3('1 4.11 撤销和重做 56 Bs '=YK$ 4.12 设计文档 57 J}-e9vK-# 4.10.1 公式 58 o=zl{tZV 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 4j,6t|T 4.10.3 沉积密度 59 $PlMyLu7jc 4.10.4 平行和楔形介质 60 ~4#D
G^5 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 S]}}r) 4.10.4 性能 61 <RbsQ^U 4.10.5 保存设计和性能 64 TQ~a5q 4.10.6 默认设计 64 0e:j=kd)NH 4.11 图表 64 ?hrz@k| 4.11.1 合并曲线图 67 K4RQ{fWpm 4.11.2 自适应绘制 68 19[.&-u" 4.11.3 动态绘图 68 Ag{)?5/d_ 4.11.4 3D绘图 69 C%%gCPI^y 4.12 导入和导出 73 i}f" 'KW 4.12.1 剪贴板 73 0Bkc93 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 l"h6e$dP 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 7uu\R=$ 4.13 背景 77 V<}chLd, 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 -U7,~z 4.15 生成Rugate 84 Q7zpu/5? 4.16 参考文献 91 NTGWI$ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 _K!)0p 5.1 Jobs 92 ~XXNzz]? 5.2 创建一个新Job(工作) 93 8F$]@0v`% 5.3 输入材料 94 >%N,F`^3 5.4 设计数据文件夹 95 #N"QTD|i 5.5 默认设计 95 O"X7 DgbC 6 细化和合成 97 pFBK'NE 6.1 优化介绍 97 E
KJ2P$ 6.2 细化 (Refinement) 98 [_KOU2 6.3 合成 (Synthesis) 100 zDxJK 6.4 目标和评价函数 101 E8lq2r= 6.4.1 目标输入 102 p&2d&;Qo0 6.4.2 目标 103 [s]
ZT 6.4.3 特殊的评价函数 104 Xe\v6gbD 6.5 层锁定和连接 104 <&((vrfa 6.6 细化技术 104 pz{ ]O_px 6.6.1 单纯形 105 bq8h?Q 6.6.1.1 单纯形参数 106 M`*
BS 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 cQ`0d3 6.6.2.1 Optimac参数 108 gTLBR 6.6.3 模拟退火算法 109 @'Pay)P 6.6.3.1 模拟退火参数 109 S*7 6V"") 6.6.4 共轭梯度 111 EAC I> 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 h>Z`& 6.6.5 拟牛顿法 112 \nTV;@F 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 }P\6}cK 6.6.6 针合成 113 L{XW2c$h 6.6.6.1 针合成参数 114 +KTHZpp!c2 6.6.7 差分进化 114 Zv8GrkK 6.6.8非局部细化 115 P*ZMbAf. 6.6.8.1非局部细化参数 115 ^oE#;aS 6.7 我应该使用哪种技术? 116 nYBa+>3BDf 6.7.1 细化 116 niyxZ<Z 6.7.2 合成 117 uA t{WDHm 6.8 参考文献 117 m G+=0Rn^ 7 导纳图及其他工具 118 : Hu{MN\ 7.1 简介 118 #D ]CuSi 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 )tS;gn 7.2.1 四分之一波长规则 119 Ef@Et(f_mQ 7.2.2 导纳图 120 >4+KEK 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 /*M3Ns1@2 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 \#N? 7.5 斜入射导纳图 141 e:rbyzf# 7.6 对称周期 141 5e?<x>e 7.7 参考文献 142 ##alzC 8 典型的镀膜实例 143 ['K}p24, 8.1 单层抗反射薄膜 145 =u.23#. 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 }iUpBn 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 rP!GS
_RG 8.4 W-膜层 148 :"@-Bcln 8.5 V-膜层 149 #veV {,g 8.6 V-膜层高折射基底 150 .2ZFJ.Z" 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 $Fy>N>,E( 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 bUYjmb2g) 8.9 四层抗反射薄膜 153 vWa\8y f 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 )ac!@slb^7 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 M23r/eg] 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 J`{o`> 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 kZi/2UA5Z 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 S a}P
|qI 8.15十五层宽带抗反射膜 159 _qo\E=E 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 B`jq"[w]- 8.17 1/4波长堆栈 162 }-u%6KZ 8.18 陷波滤波器 163 =4V SbOlZ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 GY^;$ ? 8.20 褶皱 165 (qz)3Fa 8.21 消偏振分光器1 169 {lgiH+: 8.22 消偏振分光器2 171 q1ZZ T"' 8.23 消偏振立体分光器 172 lJT"aXt'M 8.24 消偏振截止滤光片 173 !DF5NAE 8.25 立体偏振分束器1 174 )%lPKp4] 8.26 立方偏振分束器2 177 T4[/_;1g 8.27 相位延迟器 178 =+q\Jh 8.28 红外截止器 179 `82Dm!V 8.29 21层长波带通滤波器 180 %hdjQIH 8.30 49层长波带通滤波器 181 AD@ {7 8.31 55层短波带通滤波器 182 $TK= :8HY 8.32 47 红外截止器 183 /{W6]6^ 8.33 宽带通滤波器 184 %}XyzGq{ 8.34 诱导透射滤波器 186 aeAx0yE[p 8.35 诱导透射滤波器2 188 wkV'']= Xg 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 @g]EY&Uzl 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 yO* 8.35 增益平坦滤波器 193 9QL%q;
# 8.38 啁啾反射镜 1 196 GS}JyU 8.39 啁啾反射镜2 198 nb6Y/`G 8.40 啁啾反射镜3 199 ?ks.M'@ 8.41 带保护层的铝膜层 200 n+i=Ff
8.42 增加铝反射率膜 201 &
d$X: 8.43 参考文献 202 *JQ*$$5 9 多层膜 204 $J&c1 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ["4Tn0g ; 9.2 内部透过率 204 7?y7fwER 9.3 内部透射率数据 205 /H3w7QU 9.4 实例 206 >mG64N 9.5 实例2 210
ARs]qUY 9.6 圆锥和带宽计算 212 AYpvGl' 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 TY'61xWi 10 光学薄膜的颜色 216 _mwt{D2r} 10.1 导言 216 n\f]?B( 10.2 色彩 216 %~PT7"4 10.3 主波长和纯度 220 .aVt d
[ 10.4 色相和纯度 221 vUOl@UQ5 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ju.pQ=PSX 10.6 色差 226 +lhCF*@*N 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 =Vazxt@[ 10.8 颜色渲染指数 234 ~1 31|e`C 10.9 色差计算 235 a/1;|1a. 10.10 参考文献 236 P8ZmrtQm 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 6 . )Xeb" 11.1 短脉冲 238 _{gqi$Mi 11.2 群速度 239 As`=K$^Il. 11.3 群速度色散 241 @qj]`}Gx' 11.4 啁啾(chirped) 245 7mMMVz2 11.5 光学薄膜—相变 245 \iP@|ay9 11.6 群延迟和延迟色散 246 m8e()8lZ3 11.7 色度色散 246 X J)Y-7c 11.8 色散补偿 249 \g
h |G 11.9 空间光线偏移 256 x;\/Xj; 11.10 参考文献 258 oD1k7Gq1 12 公差与误差 260 $(]nl%<Q 12.1 蒙特卡罗模型 260 IF\ @uo` 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 o)^Wz 12.2.1 误差工具 267 :."oWqb) 12.2.2 灵敏度工具 271 Q~VM.G 12.2.2.1 独立灵敏度 271 2Q5 @2jT 12.2.2.2 灵敏度分布 275 nJ
xO.wWE 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 &
d2`{H 12.3 参考文献 276 KAI2[ gs 13 Runsheet 与Simulator 277 X0$q! 13.1 原理介绍 277 1EEcNtpub] 13.2 截止滤光片设计 277 OE9,D:tv 14 光学常数提取 289 FO:L+&hr?> 14.1 介绍 289 &} `a"tYr 14.2 电介质薄膜 289 2A[hMbL 14.3 n 和k 的提取工具 295 LdN[N^n[H 14.4 基底的参数提取 302 lv'WRS'} 14.5 金属的参数提取 306 <r$h =hM 14.6 不正确的模型 306 v^8sL` F 14.7 参考文献 311 V
K 7 15 反演工程 313 @z{SDM 15.1 随机性和系统性 313 >7%T%2N 15.2 常见的系统性问题 314 Ve&_NVPrd 15.3 单层膜 314 ?4Rd4sIM$u 15.4 多层膜 314 m m`#v
g, 15.5 含义 319 "QxULiw 15.6 反演工程实例 319 !$oa6*<1 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 dnU-v7k,{ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Br7q. 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 3IlVSR^py 16.1 光学性质的热致偏移 329 k:R\;l5 16.2 应力工具 335 k4{|Xn
16.3 均匀性误差 339 iaeNY;T 16.3.1 圆锥工具 339 Zd>sdS`#r 16.3.2 波前问题 341 x5BS|3W$a 16.4 参考文献 343 J
3C^tV 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 )&d=2M;3 17.1 引言 345 %HoD)OJe 17.2 操作数 345 e'G=.: 18 如何在Function中编写脚本 351 A@)Q-V8*9s 18.1 简介 351 (EY@{'.& 18.2 什么是脚本? 351 n9}BT^4 v 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 i#t-p\Tcz 18.4 基础 352 x]x 3iFD 18.4.1 Classes(类别) 352 /}8Au$nA 18.4.2 对象 352 Pd"c*n&9 18.4.3 信息(Messages) 352 c]aU}[s1 18.4.4 属性 352 [Tp?u8$p` 18.4.5 方法 353 4A6Y
\Z XI 18.4.6 变量声明 353 ]B=*p0~j^n 18.5 创建对象 354 "5~?`5Ff 18.5.1 创建对象函数 355 R P<M 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 d4;$=P 18.5.3 丢弃对象 356 LkS tU) 18.5.4 总结 356 J'X}6Q 18.6 脚本中的表格 357 Sl,DZ! 18.6.1 方法1 357 @Xl(A]w%! 18.6.2 方法2 357 'WP~-}( 18.7 2D Plots in Scripts 358 #xGP|:m 18.8 3D Plots in Scripts 359 s)r!3HS 18.9 注释 360 [,AFtg[ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 l_Lz9k 18.11 一个更高级的脚本 362 /-[vC$B" 18.12 <esc>键 364 }_zN%Tf~ 18.13 包含文件 365 @gK`RmhGE5 18.14 脚本被优化调用 366 9d#?,:JG 18.15 脚本中的对话框 368 &'W7-Z\j- 18.15.1 介绍 368 JR.)CzC 18.15.2 消息框-MsgBox 368 I!*P' {lh 18.15.3 输入框函数 370 92<+ug = 18.15.4 自定义对话框 371 `+n#CWZ"Y 18.15.5 对话框编辑器 371 C78g|n{ 18.15.6 控制对话框 377 sPvs}}Z]P 18.15.7 更高级的对话框 380 ;7:} iKU 18.16 Types语句 384 AYfOETz 18.17 打开文件 385 :5%98V>02 18.18 Bags 387 L{%L*z9J 18.13 进一步研究 388 }={@_g# 19 vStack 389 '2lzMc>wvP 19.1 vStack基本原理 389 6GunEYK!N8 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ?DUim1KG 19.3 五棱镜 393 +\Jo^\ 19.4 光束距离 396 0q"4\#4l 19.5 误差 399 MSS[-} 19.6 二向分色棱镜 399 m_/Ut 19.7 偏振泄漏 404 Tty'ysH 19.8 波前误差—相位 405 Wn@oG@}~ 19.9 其它计算参数 405 $J4\jIipL 20 报表生成器 406 /'jX_
V_$| 20.1 入门 406 $\J5l$tU 20.2 指令(Instructions) 406 &!X<F, 20.3 页面布局指令 406 _D{A`z 20.4 常见的参数图和三维图 407 Gkuqe3 20.5 表格中的常见参数 408 >o1dc* 20.6 迭代指令 408 u.X]K:Yow 20.7 报表模版 408 Hvk~BP'
m
20.8 开始设计一个报表模版 409 1cOR?=G~ 21 一个新的project 413 .4%z$(+6 21.1 创建一个新Job 414 D}y W:Pi' 21.2 默认设计 415 gxVr1DIkN 21.3 薄膜设计 416 >B0AJW/u 21.4 误差的灵敏度计算 420 (2H
GV+Dg 21.5 显色指数计算 422 lg-_[!4Z 21.6 电场分布 424 Nq`;\E.M 后记 426 $8eiifj 有兴趣可以扫码加微联系 K{DC{yLu
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