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Cl'3I%$8K 内容简介 TptXH? Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 \
0aa0= 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 v@;!fBUt 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 mFeoeI,Jv <|c[
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讯技科技股份有限公司 -?PXj)<
[;qZu`n> 目录 %N0cp@Vz Preface 1 g@B,0JRh 内容简介 2 #`b5kqQm 目录 i Q(7M_2e7 1 引言 1 M,/{ 53 2 光学薄膜基础 2 7) e#b 2.1 一般规则 2 A Z& ]@Ao 2.2 正交入射规则 3 ?R\:6x< 2.3 斜入射规则 6 ey! { 2.4 精确计算 7 ~@N0$S 2.5 相干性 8 }5a$Ka- 2.6 参考文献 10 c&u~M=EW 3 Essential Macleod的快速预览 10 UJ1Ecob 4 Essential Macleod的特点 32 /%5X:*:H 4.1 容量和局限性 33 z{ydP Ra 4.2 程序在哪里? 33 G2e0\}q 4.3 数据文件 35 bsgr g 4.4 设计规则 35 P},d`4Ty@ 4.5 材料数据库和资料库 37 H_+F~P5RC 4.5.1材料损失 38 q'4qSu
4.5.1材料数据库和导入材料 39 ? bnhx 4.5.2 材料库 41 7l|D!`BS 4.5.3导出材料数据 43 >5+]~[S 4.6 常用单位 43 U2)y fhI 4.7 插值和外推法 46 [t}$W*hY
4.8 材料数据的平滑 50 a<ztA:xt|1 4.9 更多光学常数模型 54 7n*[r*$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 7d"gRM; 4.11 撤销和重做 56 ~Y /55uC 4.12 设计文档 57 E#A}J: 4.10.1 公式 58 ^lCQHz 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 %?~`'vYoi 4.10.3 沉积密度 59 r%^J3 4.10.4 平行和楔形介质 60 6m!%X GZT 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 (XJ0?;js= 4.10.4 性能 61 *cnxp-)ub 4.10.5 保存设计和性能 64 <4QOjW 4.10.6 默认设计 64 :KL5A1{ 4.11 图表 64 ^lYa9k 4.11.1 合并曲线图 67 f*Dy>sw 4.11.2 自适应绘制 68 ^J_rb;m43 4.11.3 动态绘图 68 56Gc[<nR 4.11.4 3D绘图 69 &*r'Sx)V 4.12 导入和导出 73 ZQQ0} 4.12.1 剪贴板 73 FELTmQUV 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 sHi *\ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 }xE}I<M 4.13 背景 77 8>y!=+9_ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 69>N xr~k 4.15 生成Rugate 84 =fZMute 4.16 参考文献 91 uY'77,G_J 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 3(/J(8 5.1 Jobs 92 !1s^TB>N 5.2 创建一个新Job(工作) 93 XK7$Xbd 5.3 输入材料 94 07:N)y, 5.4 设计数据文件夹 95 hB:}0@l6p= 5.5 默认设计 95 ;[>g(W+ 6 细化和合成 97 1__Mf.A 6.1 优化介绍 97 pg;y\} 6.2 细化 (Refinement) 98 |KQkmc 6.3 合成 (Synthesis) 100 L&s|<<L 6.4 目标和评价函数 101 PWw2;3`-6w 6.4.1 目标输入 102 @<W^/D1#L 6.4.2 目标 103 {~RS$ | 6.4.3 特殊的评价函数 104 WFBVAD 6.5 层锁定和连接 104 *U69rbYI 6.6 细化技术 104 KL}o%wfLy 6.6.1 单纯形 105 %m5&U6 6.6.1.1 单纯形参数 106 c7fQ{"f 3B 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 "o
^cv 6.6.2.1 Optimac参数 108 #^FDFl 6.6.3 模拟退火算法 109 ao(lj 6.6.3.1 模拟退火参数 109 hn@T ]k 6.6.4 共轭梯度 111 u^!c:RfE? 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ZXR#t?D 6.6.5 拟牛顿法 112 M
XX:i 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 @h&crI[c 6.6.6 针合成 113 R^*h|7)E 6.6.6.1 针合成参数 114 ueM[&:g&MU 6.6.7 差分进化 114 />,Tq!i\4} 6.6.8非局部细化 115 +g6t)Gl 6.6.8.1非局部细化参数 115 #~Z55D_ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Bh\>2]~@a 6.7.1 细化 116 =gjq@N]lAW 6.7.2 合成 117 m.K@g1 G 6.8 参考文献 117
=]auP{AlE 7 导纳图及其他工具 118 J"&jR7-9 7.1 简介 118 ojA i2uz 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ief~*:5 7.2.1 四分之一波长规则 119 V?*\ISB`} 7.2.2 导纳图 120 RTgR>qI&) 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 }>|M6.n " 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8.'[>VzBL 7.5 斜入射导纳图 141 ! 9U 7.6 对称周期 141 RrPo89o 7.7 参考文献 142 3i c6!T#t" 8 典型的镀膜实例 143 pRAdo=" 8.1 单层抗反射薄膜 145 @@O=a 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 m<DiYxK 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 L`M.Htm8 8.4 W-膜层 148 *yx&4)Or 8.5 V-膜层 149 PU6Sa-fQ2, 8.6 V-膜层高折射基底 150 L:(>ON 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 7 q%|-`# 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 *61+Fzr 8.9 四层抗反射薄膜 153 d\R]> 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 r[TTG0| 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 \VTNXEw*G 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 G q" [5r" 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 .=nx5yz 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 SREe,
e\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 D]s8w 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 %L\buwjy$ 8.17 1/4波长堆栈 162 BJdH2qREN 8.18 陷波滤波器 163 c)HHc0KD 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ;0R>D g 8.20 褶皱 165 9<9 c^2 8.21 消偏振分光器1 169 I\BcG(hlJ 8.22 消偏振分光器2 171 NiCH$+c\ 8.23 消偏振立体分光器 172 Gxtb@`f 8.24 消偏振截止滤光片 173 hSO(s 8.25 立体偏振分束器1 174
UA{tmIC\ 8.26 立方偏振分束器2 177 @Y~R*^n"} 8.27 相位延迟器 178 H.D1|sU 8.28 红外截止器 179 (L{Kg U&{$ 8.29 21层长波带通滤波器 180 &@c?5Ie5 8.30 49层长波带通滤波器 181 7q' _]$ 8.31 55层短波带通滤波器 182 '>}dqp{Wr 8.32 47 红外截止器 183 33{(IzL0 8.33 宽带通滤波器 184 _m
*8f\ 8.34 诱导透射滤波器 186 Qe&K 8.35 诱导透射滤波器2 188 Aj9Onz,Lg 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ~1NK@=7T 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 lR^OS*v 8.35 增益平坦滤波器 193 Zewx*Y| 8.38 啁啾反射镜 1 196 `v1Xywg9P 8.39 啁啾反射镜2 198 +0,{gDd+
8.40 啁啾反射镜3 199 vBMuV pzO 8.41 带保护层的铝膜层 200 nj (/It 8.42 增加铝反射率膜 201 `+4>NT6cu9 8.43 参考文献 202 Hyw T 9 多层膜 204 wc3OOyP@0 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 -7^A_!. 9.2 内部透过率 204 3c"$@W:> 9.3 内部透射率数据 205 b)SU8z!NV& 9.4 实例 206 $/*6tsR 9.5 实例2 210 |r]f2Mrm 9.6 圆锥和带宽计算 212 h "7:&=e 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 `sS\8~A 10 光学薄膜的颜色 216 %7X<:f|N8x 10.1 导言 216 SG&VZY 10.2 色彩 216 6N%fJ 10.3 主波长和纯度 220 QW5S=7 10.4 色相和纯度 221 !s>AVV$;0 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 YpAJ7E|7 10.6 色差 226 ]vyu! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 9(9+h]h+3 10.8 颜色渲染指数 234
g1je': 10.9 色差计算 235 qfO=_z ES 10.10 参考文献 236 l1_Tr2A}7/ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 MWsjkI` 11.1 短脉冲 238 `m~x*)L# 11.2 群速度 239 GTj=R$%09 11.3 群速度色散 241 ECO4ut.d 11.4 啁啾(chirped) 245 $=x1_ 11.5 光学薄膜—相变 245 ')d&:K*M 11.6 群延迟和延迟色散 246 `]Uu` b 11.7 色度色散 246 LqH<HGMFD 11.8 色散补偿 249 73-*|@6 11.9 空间光线偏移 256 z/JoUje 11.10 参考文献 258 Q^&oXM'x/i 12 公差与误差 260 ~*3obZ2>2 12.1 蒙特卡罗模型 260 }~?B>vZS 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 #Ub"Ii 12.2.1 误差工具 267 uhyw?#f 12.2.2 灵敏度工具 271 4(VVEe 12.2.2.1 独立灵敏度 271 h>'9-j6B 12.2.2.2 灵敏度分布 275 v^Eg ,&( 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ;XJK*QDN 12.3 参考文献 276 WjyuaAWY 13 Runsheet 与Simulator 277 W+A-<Rh\ 13.1 原理介绍 277 sr0.4VU1 13.2 截止滤光片设计 277 -_m>C2$6x 14 光学常数提取 289 p.r \| 14.1 介绍 289 S$CO T)7 14.2 电介质薄膜 289 7x/S4Gs'4 14.3 n 和k 的提取工具 295 +d[A'&" 14.4 基底的参数提取 302 y_^w| 14.5 金属的参数提取 306 ?_\t7f 14.6 不正确的模型 306 }{! #`'s 14.7 参考文献 311 )KZ1Z$< 15 反演工程 313 `y&d 15.1 随机性和系统性 313 9Tgl/}q) 15.2 常见的系统性问题 314 O*hd@2hd 15.3 单层膜 314 3)F9:Tzw1 15.4 多层膜 314 hEO#uAR^Z 15.5 含义 319 Wq bfZx 15.6 反演工程实例 319 QHt;c 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 :$bp4+3> 15.6.2 反演工程提取折射率 327 u!k]Q#2ZR 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 %X)i-^T 16.1 光学性质的热致偏移 329 "6T: &> 16.2 应力工具 335 IrAc&Eh |