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txj wZ_p 内容简介 $*YC7f Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 }Q!h ov 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 1P+Mv^%I 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 RP,A!pa@ D8)O4bh 讯技科技股份有限公司 :0WkxEY9
\s.1R/TyD 目录 !'Pk
jP Preface 1 z\e>DdS 内容简介 2 +8Of-ZUx 目录 i )?F$-~7 1 引言 1
o G(0i 2 光学薄膜基础 2 J"/JRn 2.1 一般规则 2 #DQX<:u 2.2 正交入射规则 3 Fl B, (Cm 2.3 斜入射规则 6 =Dh$yC-Zr 2.4 精确计算 7 ]|Ow_z8
O 2.5 相干性 8 u(8 _[/_B 2.6 参考文献 10 Oyi;bb<# 3 Essential Macleod的快速预览 10 Sg/:n,68 4 Essential Macleod的特点 32 }l,T~Pjb 4.1 容量和局限性 33 <P+G7!KZ& 4.2 程序在哪里? 33 Z[a O_6L 4.3 数据文件 35 ;[;)P tFz\ 4.4 设计规则 35 ,Adus M 4.5 材料数据库和资料库 37 u^}7Vs
. 4.5.1材料损失 38 fn1 ?Qp| 4.5.1材料数据库和导入材料 39 L{cK^ , 4.5.2 材料库 41 8W19#?7>B 4.5.3导出材料数据 43 !T<z'zZU 4.6 常用单位 43 x?%rx}h 4.7 插值和外推法 46 \?bwm&6+r 4.8 材料数据的平滑 50 WpXODkQL 4.9 更多光学常数模型 54 2q`)GCES~ 4.10 文档的一般编辑规则 55 bHhC56[M 4.11 撤销和重做 56 aeG#:
Ln+{ 4.12 设计文档 57 2>!_B\%) H 4.10.1 公式 58 ExNj|* 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 l84h%, 4.10.3 沉积密度 59 "WF(
6z# 4.10.4 平行和楔形介质 60 skk-.9 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 n%83jep9 4.10.4 性能 61 @?<N +qdH> 4.10.5 保存设计和性能 64 4?9soc 4.10.6 默认设计 64 *4(/t$)pEl 4.11 图表 64 ^/_\etV 4.11.1 合并曲线图 67 r!{w93rPX 4.11.2 自适应绘制 68 9F2w.(m 4.11.3 动态绘图 68 PWf{aHsr 4.11.4 3D绘图 69 :N^@a- 4.12 导入和导出 73 hKk\Y{wv' 4.12.1 剪贴板 73 Fy}MXe"f 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 [<#<:h&\ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 B6tcKh9d, 4.13 背景 77 E[ )7tr 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 (P
E#
Y( 4.15 生成Rugate 84 [47K7~9p 4.16 参考文献 91 8CHb~m@^$ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Bg+<*z-?e 5.1 Jobs 92 xFsB?d 5.2 创建一个新Job(工作) 93 l%sp[uqcg 5.3 输入材料 94 ,^MW)Gf< 5.4 设计数据文件夹 95 *=-__|t 5.5 默认设计 95 rK(x4]I
l" 6 细化和合成 97 2+T 8Y,g 6.1 优化介绍 97 s,UN'~e1 6.2 细化 (Refinement) 98 &+E'1h10 6.3 合成 (Synthesis) 100 GW>7R6i 6.4 目标和评价函数 101 |QAeQWP+1 6.4.1 目标输入 102 4
|:Q1 6.4.2 目标 103 "!%w9 6.4.3 特殊的评价函数 104 veYsctK~ 6.5 层锁定和连接 104 m
wRLzN 6.6 细化技术 104 l5\B2 +}7 6.6.1 单纯形 105 CX&yjT6` 6.6.1.1 单纯形参数 106 ch5`fm 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 br34Eh 6.6.2.1 Optimac参数 108 &xGfkCP.] 6.6.3 模拟退火算法 109 "oE^R?m 6.6.3.1 模拟退火参数 109 !7IT~pO` 6.6.4 共轭梯度 111 q
G :jnl 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 / K_e;(Y_ 6.6.5 拟牛顿法 112 E6k?+i
w 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Se^/VVm 6.6.6 针合成 113 :/yr(V{ 6.6.6.1 针合成参数 114 $L<_uqSk 6.6.7 差分进化 114 fG8}= xH_& 6.6.8非局部细化 115 4pfix1F g 6.6.8.1非局部细化参数 115 5C Y@R 6.7 我应该使用哪种技术? 116 X%4uShM 6.7.1 细化 116 c:?#zX 6.7.2 合成 117 \J,- <wF 6.8 参考文献 117 |"Xi%CQ2 7 导纳图及其他工具 118 c{m
;"ZCFS 7.1 简介 118 Z!]U&Ax`Z 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 0_,3/EWa 7.2.1 四分之一波长规则 119 s%L"
c 7.2.2 导纳图 120 xu%!
b0 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 )5GdvqA 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 >?G|Yz*kEJ 7.5 斜入射导纳图 141 }Ll3AR7\ 7.6 对称周期 141 Z!*8JaMT 7.7 参考文献 142 DSDl[;3O{s 8 典型的镀膜实例 143 %|D\j-~ 8.1 单层抗反射薄膜 145 c5B_WqjJ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 T}w*K[z
$ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 CD8JY iJ 8.4 W-膜层 148 JL.ydH79 8.5 V-膜层 149 r'9=kx 8.6 V-膜层高折射基底 150 @R'g@+{I 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 9h3~;Q 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 VeN&rjc 8.9 四层抗反射薄膜 153 ."!8B9s 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 9aF.. 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 uhw5O9 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ~7ATt8T 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 /SPAJHh 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 \[IdR^<YM 8.15十五层宽带抗反射膜 159 .kB3jfw0, 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 XZep7d} 8.17 1/4波长堆栈 162 _ntW}})K 8.18 陷波滤波器 163 *xv/b= 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 9?}rpA`P 8.20 褶皱 165 *0&i'0> 8.21 消偏振分光器1 169 #)PGQ)( 8.22 消偏振分光器2 171 /SqFP
L] 8.23 消偏振立体分光器 172 +}(B856+ 8.24 消偏振截止滤光片 173 2W"cTm
8.25 立体偏振分束器1 174 uZ0 $s$ 8.26 立方偏振分束器2 177 \6`%NhkM_ 8.27 相位延迟器 178 {o5K?Pb 8.28 红外截止器 179 tRUsZl 8.29 21层长波带通滤波器 180 hBfzU\*0H 8.30 49层长波带通滤波器 181 8Snq75Q< 8.31 55层短波带通滤波器 182 LKf5r,C 8.32 47 红外截止器 183 :|m~<'g 8.33 宽带通滤波器 184 B yy-Cc 8.34 诱导透射滤波器 186 ~U7\ LBF 8.35 诱导透射滤波器2 188 hyvV%z Z 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 }*}`)rj, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 YW$x: 8.35 增益平坦滤波器 193 od5w9E. 8.38 啁啾反射镜 1 196 UB&S 2g 8.39 啁啾反射镜2 198 J%Z)# 8.40 啁啾反射镜3 199 SbPjU50 8.41 带保护层的铝膜层 200 YAC zznN 8.42 增加铝反射率膜 201 qs
c-e,rl 8.43 参考文献 202 >h!.Gj 9 多层膜 204 #Rm=Em}d 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 '9p5UC 9.2 内部透过率 204 S^Wqa:; 9.3 内部透射率数据 205 Ji}IV 9.4 实例 206 bF Y)o Z 9.5 实例2 210 [q>i 9.6 圆锥和带宽计算 212 <R~~yW:H 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 AXU!-er$ 10 光学薄膜的颜色 216 S~a:1
_Wl 10.1 导言 216 Etr8lm E 10.2 色彩 216 ZvnZ}t>? 10.3 主波长和纯度 220 ZnhuIAAG 10.4 色相和纯度 221 [;CqvD<S 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Lx:9@3'7' 10.6 色差 226 f\F_?s)_y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ik:)-GV;s 10.8 颜色渲染指数 234 Q!+{MsZ
10.9 色差计算 235 w`#0
Y9O 10.10 参考文献 236 9y|&T 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 #L4Kwy 11.1 短脉冲 238 9uq+Ve> 11.2 群速度 239 /DG`Hg 11.3 群速度色散 241 Tk#&Ux{ZJ 11.4 啁啾(chirped) 245 '3_B1iAv 11.5 光学薄膜—相变 245 `1d`9AS2g 11.6 群延迟和延迟色散 246 WPp\sIP 11.7 色度色散 246 I`$I0 11.8 色散补偿 249 iQ}sp64 11.9 空间光线偏移 256 7@y!R
11.10 参考文献 258 b5 C}K 12 公差与误差 260 uuK]<h* 12.1 蒙特卡罗模型 260 zm3MOH^a 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 #2vG_B<M) 12.2.1 误差工具 267 Oi%~8J> 12.2.2 灵敏度工具 271 q(PT'z 12.2.2.1 独立灵敏度 271 qT>&
v_< 12.2.2.2 灵敏度分布 275 _:=OHURc 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 dR, NC-* 12.3 参考文献 276 +i_f.Ipp 13 Runsheet 与Simulator 277 L+ETMk0 13.1 原理介绍 277 UE`4$^qs 13.2 截止滤光片设计 277 l0_E9qh-i 14 光学常数提取 289 @61N[ 14.1 介绍 289 aj'8;E+ 14.2 电介质薄膜 289 &Cpxo9- 14.3 n 和k 的提取工具 295 [[r3fEr$!p 14.4 基底的参数提取 302 |9"^s x 14.5 金属的参数提取 306 yb.|7U?/x 14.6 不正确的模型 306 D*r Zaqy 14.7 参考文献 311 [BR}4(7 15 反演工程 313 [#rdfN'?U
15.1 随机性和系统性 313 b=
ec?n #7 15.2 常见的系统性问题 314 rKs WS~U 15.3 单层膜 314 : )"jh` 15.4 多层膜 314 $No>-^) 15.5 含义 319 *2C79hi1 15.6 反演工程实例 319 GGQ(|?w 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 `::'UfHc 15.6.2 反演工程提取折射率 327 {ugKv?e; 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 @P5@&G 16.1 光学性质的热致偏移 329 7(USp#" 16.2 应力工具 335 {2*l :' 16.3 均匀性误差 339 Eno2<< 16.3.1 圆锥工具 339 Q2pboZ86 16.3.2 波前问题 341 QDT{Xg*I 16.4 参考文献 343 n6UU6t{ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 QRh4f\fY 17.1 引言 345 #~-&&S4a.J 17.2 操作数 345 Wu;|(2I 18 如何在Function中编写脚本 351 j{-7Pf8A 18.1 简介 351 L.%~?T[F 18.2 什么是脚本? 351 -j=& |