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]!v:xjzT 内容简介 3&'u7e Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 'a}<|Et. 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 y.pwj~s 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ENmfbJ4d~ Wmm'j&hI 讯技科技股份有限公司 2swHJ.d\
JjD'2"z 目录 nhbCk6Y5LZ Preface 1 ZS@ Gt 内容简介 2 SHc<`M'+ 目录 i U$-;^=; 1 引言 1 SCXH{8SS 2 光学薄膜基础 2 G;^}, %< 2.1 一般规则 2 f{m,?[1C, 2.2 正交入射规则 3 WAzYnl'p 2.3 斜入射规则 6 ]\ fXy?2 2.4 精确计算 7 C`p)S`d 2.5 相干性 8 '+@q 2.6 参考文献 10 @W{VT7w 3 Essential Macleod的快速预览 10 L<GF1I) 4 Essential Macleod的特点 32 .V4w+:i 4.1 容量和局限性 33 0`{3|g 4.2 程序在哪里? 33 #u<^ 4.3 数据文件 35 fR:BF47 4.4 设计规则 35 eM3-S=R?<g 4.5 材料数据库和资料库 37 88K=jo))b 4.5.1材料损失 38 \wyn 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ]8Eci^i 4.5.2 材料库 41 ^oL43#Nlo 4.5.3导出材料数据 43 R{GT?
wl 4.6 常用单位 43 9;fyC= 4.7 插值和外推法 46 m!Iax]D{ 4.8 材料数据的平滑 50 ~+JEl% 4.9 更多光学常数模型 54 |^uU &O;. 4.10 文档的一般编辑规则 55 [<2#C#P:6 4.11 撤销和重做 56 Awip qDAu 4.12 设计文档 57 H[cHF 4.10.1 公式 58 M;14s*g 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 mKsTA; 4.10.3 沉积密度 59 a!_vd B 4.10.4 平行和楔形介质 60 FuA8vTV{ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 y<53xZi 4.10.4 性能 61 t *8k3" 4.10.5 保存设计和性能 64 @[:JQ'R= 4.10.6 默认设计 64 c@+ ;4Iz 4.11 图表 64 DE0gd
ux8 4.11.1 合并曲线图 67 ~If{`zWoC 4.11.2 自适应绘制 68 %lr<; 4.11.3 动态绘图 68 BW`)q/ 4.11.4 3D绘图 69 vP_V%5~yN 4.12 导入和导出 73 J?Ed^B- 4.12.1 剪贴板 73 Sxj _gn 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 rO_|_nV[ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 B/iRR2h 4.13 背景 77 %XpYiW#AK 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 (Wj2%*NT 4.15 生成Rugate 84 N@o Ng}D&: 4.16 参考文献 91 8Wa&&YTB 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 3?}W0dZ$d 5.1 Jobs 92 {3jV ,S 5.2 创建一个新Job(工作) 93 #Cwzk{p( 5.3 输入材料 94 RR%[]M#_T 5.4 设计数据文件夹 95 &TpzJcd" 5.5 默认设计 95 h-^7cHI} 6 细化和合成 97 B\/"$" 6.1 优化介绍 97 d%"?^e 6.2 细化 (Refinement) 98 8-A *Jc 6.3 合成 (Synthesis) 100 ndsu}:my 6.4 目标和评价函数 101 rvdhfM!-A 6.4.1 目标输入 102 k:+Bex$g 6.4.2 目标 103 C*S%aR 6.4.3 特殊的评价函数 104 Ws+Zmpk% 6.5 层锁定和连接 104 K*ZH<@o4 6.6 细化技术 104 BUuU#e5 6.6.1 单纯形 105 w&M)ws;$ 6.6.1.1 单纯形参数 106 WWO@ULGY 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 SO}$96 6.6.2.1 Optimac参数 108 ?89ZnH2/ 6.6.3 模拟退火算法 109 ?q68{!{bi 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Qp~W|zi( 6.6.4 共轭梯度 111 !k=>Wb8n2 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 33R_JM{ 6.6.5 拟牛顿法 112 G)I lkA@ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 <2\4eusk 6.6.6 针合成 113 A[,[j?wC 6.6.6.1 针合成参数 114 }]qx " 6.6.7 差分进化 114 5y}kI 6.6.8非局部细化 115 m &U
$V 6.6.8.1非局部细化参数 115 vd4}b> 6.7 我应该使用哪种技术? 116 g{`r WKj 6.7.1 细化 116 `kx+ Kc 6.7.2 合成 117 jh3LD6|s} 6.8 参考文献 117 `=]I-5#.W 7 导纳图及其他工具 118 a]-.@^:_i 7.1 简介 118 `OY_v=} 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 vFKt=o$ g 7.2.1 四分之一波长规则 119 uq}>5 7.2.2 导纳图 120 \Z +O9T% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 9$9Pv%F:j 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ;'o:1{Y 7.5 斜入射导纳图 141 C,+Sv- 7.6 对称周期 141 aZe[Nos 7.7 参考文献 142 kUl:Yj=& 8 典型的镀膜实例 143 -PHVM=: 8.1 单层抗反射薄膜 145 #>SvYP 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 o'W[v0>
L- 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ` "Gd/ 8.4 W-膜层 148 JsOu
*9R 8.5 V-膜层 149 c8o$WyO 8.6 V-膜层高折射基底 150 SI:+I4i 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 =Vgj=19X( 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 0FDfB; 8.9 四层抗反射薄膜 153 OVsZUmSG 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ] M"l-A 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ]}g;q*!J 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 (_}w4N# 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 '`$US;5 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 GC{)3)_ t 8.15十五层宽带抗反射膜 159 5"f')MKUV9 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ,j4 ;:F 8.17 1/4波长堆栈 162 py,B6UB5 8.18 陷波滤波器 163 uT5sLpA|6 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 @wWro?s'p 8.20 褶皱 165 yDt3)fP# 8.21 消偏振分光器1 169 [Z3B~c 8.22 消偏振分光器2 171 zc QFIP 8.23 消偏振立体分光器 172 \O"EK~x}/ 8.24 消偏振截止滤光片 173 4{d`-reHg 8.25 立体偏振分束器1 174 B}=
WxG|) 8.26 立方偏振分束器2 177 H3=U|wr| 8.27 相位延迟器 178 |%F[.9Dp 8.28 红外截止器 179 p;S<WJv k 8.29 21层长波带通滤波器 180 oG! S(95 8.30 49层长波带通滤波器 181 #+2|ZfCn% 8.31 55层短波带通滤波器 182 N'L3Oa\% 8.32 47 红外截止器 183 1/t}>>,M 8.33 宽带通滤波器 184 u`l1
zMk 8.34 诱导透射滤波器 186 V 0<>Xo% 8.35 诱导透射滤波器2 188 4uUG0o 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 giy4< 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 +LwE=unS 8.35 增益平坦滤波器 193 mdu5aL 8.38 啁啾反射镜 1 196 Z/ "jLfP 8.39 啁啾反射镜2 198 mWUo:(U 8.40 啁啾反射镜3 199 &j@i>(7 8.41 带保护层的铝膜层 200 SwESDo) 8.42 增加铝反射率膜 201 <r*A(}Y 8.43 参考文献 202 q%u;+/|l 9 多层膜 204 iJg3`1@j 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 tUXq!r<'dT 9.2 内部透过率 204 ~!c~jcq]lZ 9.3 内部透射率数据 205 d%$'Y| 9.4 实例 206 6?U2Et 9.5 实例2 210 nw3CI&Y` 9.6 圆锥和带宽计算 212 Z5/g\G[ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 pKrol]cth8 10 光学薄膜的颜色 216 DkP%1Crdr 10.1 导言 216 z}'*zB> 10.2 色彩 216 dm60O8 10.3 主波长和纯度 220 ~eH+*U|\|M 10.4 色相和纯度 221 Re <G#*^ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 zWxKp;. 10.6 色差 226 I|=$.i 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ?XVJ$nzW 10.8 颜色渲染指数 234 L0{ehpvM 10.9 色差计算 235 Ly?yWS-x 10.10 参考文献 236 JFx=X=C 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 &xF 2!t` 11.1 短脉冲 238 A&i
11.2 群速度 239 *
%p6+D-C 11.3 群速度色散 241 !=(~e':Gv 11.4 啁啾(chirped) 245 |okS7.|IX 11.5 光学薄膜—相变 245 pIh%5ZU 11.6 群延迟和延迟色散 246 j|f$:j 11.7 色度色散 246 v4}kmH1 11.8 色散补偿 249 3IqYp K(s 11.9 空间光线偏移 256 > m GO08X 11.10 参考文献 258 ?@
ei_<A{ 12 公差与误差 260 zT|]!', 12.1 蒙特卡罗模型 260 h(hb?f@1: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Y?Yix 12.2.1 误差工具 267 p&=F:- 12.2.2 灵敏度工具 271 dKcHj<'E/ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 CtwMMZXX3 12.2.2.2 灵敏度分布 275 /#?lG`'1 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 +%%FT#ce 12.3 参考文献 276 zmI?p4, 13 Runsheet 与Simulator 277 LEMgRI`rf 13.1 原理介绍 277 Xidt\08s 13.2 截止滤光片设计 277 yi3@-
14 光学常数提取 289 3\6UH 14.1 介绍 289 9
|Iq&S 14.2 电介质薄膜 289 2RDos# 14.3 n 和k 的提取工具 295 9V&%_.Z 14.4 基底的参数提取 302 JcxhI]E 14.5 金属的参数提取 306 ,[IN9W 14.6 不正确的模型 306 5fS89?/? 14.7 参考文献 311 p8F5b8]* 15 反演工程 313 yKEE @@}\ 15.1 随机性和系统性 313 `Nnqdc2 15.2 常见的系统性问题 314 =:(8F*Q 15.3 单层膜 314 /ve8);cH\ 15.4 多层膜 314 IEV3(qzt 15.5 含义 319 b'fj 15.6 反演工程实例 319 >\b=bT@iM 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 5Bw 15.6.2 反演工程提取折射率 327 F|X-|Co 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 XA{tVh 16.1 光学性质的热致偏移 329 !8]W"@qb 16.2 应力工具 335 z#b31;A@$ 16.3 均匀性误差 339 Zs!)w9y&V 16.3.1 圆锥工具 339 Y3jb'S4( 16.3.2 波前问题 341 F7^d@hSV 16.4 参考文献 343 Qh-k[w0 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 s% `o 17.1 引言 345 +0;n t 17.2 操作数 345 Y[x9c0 18 如何在Function中编写脚本 351 pDD0 QO 18.1 简介 351 4f~hd-z 18.2 什么是脚本? 351 1tG,V%iCp 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 }9e4?7 18.4 基础 352 o
Wg5-pMWZ 18.4.1 Classes(类别) 352 bU1UNm`{C 18.4.2 对象 352 67 >*AL 18.4.3 信息(Messages) 352 )RlaVAtM 18.4.4 属性 352 Gk2\B]{ 18.4.5 方法 353 u D_|/ ( 18.4.6 变量声明 353 ,dKcxp~[ 18.5 创建对象 354 uYiM~^0 18.5.1 创建对象函数 355 f+Nq?GvwBQ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 FLY# 18.5.3 丢弃对象 356 ' -[ 18.5.4 总结 356 o9~ Z! &p 18.6 脚本中的表格 357 N. 3
x[%: 18.6.1 方法1 357 n@w$5y1@ 18.6.2 方法2 357 ~q#UH'=% 18.7 2D Plots in Scripts 358 J\XYUs 18.8 3D Plots in Scripts 359 mY2Ubn* 18.9 注释 360
Mi.xay% 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 pm O }m> 18.11 一个更高级的脚本 362 <T:u&Ic 18.12 <esc>键 364 +Ck<tx3h& 18.13 包含文件 365 oT$w14b 18.14 脚本被优化调用 366 F?e_$\M 18.15 脚本中的对话框 368 ]1rr$f9 18.15.1 介绍 368 1p>5ZkHb 18.15.2 消息框-MsgBox 368 71nXROB 18.15.3 输入框函数 370 Lm"l*j4 18.15.4 自定义对话框 371 *nU7v3D 18.15.5 对话框编辑器 371 V3K
18.15.6 控制对话框 377 o6 18.15.7 更高级的对话框 380 $d?<(n 18.16 Types语句 384 i;`rzsRb 18.17 打开文件 385 JC}y{R8 18.18 Bags 387 fZH:&EP 18.13 进一步研究 388 gO4`e(W 19 vStack 389 (F~i 19.1 vStack基本原理 389 5YMjvhr?W 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 '>_'gR0O 19.3 五棱镜 393 W"YFx*W 19.4 光束距离 396 Gr&5 mniu 19.5 误差 399 |i7|QLUT 19.6 二向分色棱镜 399 XKLkJZN 19.7 偏振泄漏 404 JadXd K=gE 19.8 波前误差—相位 405 rgdDkWLXC 19.9 其它计算参数 405 #-1 ; 20 报表生成器 406 wz31e!/ 20.1 入门 406 i[@*b/A 20.2 指令(Instructions) 406 3J~Q pw0< 20.3 页面布局指令 406 &,2XrXiFu 20.4 常见的参数图和三维图 407 IIUoB!` 20.5 表格中的常见参数 408 {LVii}< 20.6 迭代指令 408 C4&yC81Gm 20.7 报表模版 408 #g\O*oYaw 20.8 开始设计一个报表模版 409 3|-)]^1O 21 一个新的project 413 Eic/#j{4 21.1 创建一个新Job 414 o X )r4H? 21.2 默认设计 415 <H`&Zqqk 21.3 薄膜设计 416 }Zc.rk 21.4 误差的灵敏度计算 420 Ly/"da 21.5 显色指数计算 422 XLz>h(w= 21.6 电场分布 424 |7 ]v&?y 后记 426 ir-srVoXy 有兴趣可以扫码加微联系 b;`gxXeL
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