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5P_%Vp`B2 内容简介 [AE-~+m)^ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 UKyOkuY:w 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 6b+\2-eq 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 V#jFjObTN T-|SBNFw; 讯技科技股份有限公司 P1DYjm[+D
w :2@@)pr 目录 oj*5m+:>a Preface 1 Omo1p(y 内容简介 2 NikY0=i 目录 i <(x[Qp/5P 1 引言 1 e|Iylv[3 2 光学薄膜基础 2 @2Xw17[f35 2.1 一般规则 2 >*rsR R 2.2 正交入射规则 3 TTcMIMyLT 2.3 斜入射规则 6 a>A29*q 2.4 精确计算 7 +
5 E6| 2.5 相干性 8 ")kE1D% 2.6 参考文献 10 shjbb 3 Essential Macleod的快速预览 10 eaP,MkK& 4 Essential Macleod的特点 32 @F)51$Ld 4.1 容量和局限性 33 u
)+;(Vd 4.2 程序在哪里? 33 <;\T
e4g[ 4.3 数据文件 35 6LZ(bP'd; 4.4 设计规则 35 'J~{8w,. 4.5 材料数据库和资料库 37 INrl^P* 4.5.1材料损失 38 5|YpkY 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Dg~r%F 4.5.2 材料库 41 Nzj7e 1= 4.5.3导出材料数据 43 j>XM+> 4.6 常用单位 43 OI;0dS 4.7 插值和外推法 46 "R@N}q<*v2 4.8 材料数据的平滑 50 &L}e&5 4.9 更多光学常数模型 54 dUn+? 4.10 文档的一般编辑规则 55 TS+itU62 4.11 撤销和重做 56 2= FGZa*. 4.12 设计文档 57 ]~~PD?jh 4.10.1 公式 58 HFYN(nz}[ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 CuRYtY@9 4.10.3 沉积密度 59 <+D(GH}; 4.10.4 平行和楔形介质 60 ~PYMtg=i 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 @8X)hpHf 4.10.4 性能 61
HSHY0 4.10.5 保存设计和性能 64 #JVw`=P 4.10.6 默认设计 64 X%Jq9_
4.11 图表 64 u 0KVp6` 4.11.1 合并曲线图 67 6QVdnXoG/ 4.11.2 自适应绘制 68 IB#L5yN r 4.11.3 动态绘图 68 %rVC3} 4.11.4 3D绘图 69 )s^D}I( 4.12 导入和导出 73 ("UcjB^62 4.12.1 剪贴板 73 bL\ab 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 :f (UZmV$ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 zr%2oFeX, 4.13 背景 77 E
O^j,x g 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ~i 'Ib_%h 4.15 生成Rugate 84 9[}L=n 4.16 参考文献 91 Yt79W 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 *gMo(-tN 5.1 Jobs 92 !-1UJqO 5.2 创建一个新Job(工作) 93 5X>b(` 5.3 输入材料 94 V'(yrz! 5.4 设计数据文件夹 95 rvjPm5[t 5.5 默认设计 95 K?0f)@\nx 6 细化和合成 97 L+y}hb
r 6.1 优化介绍 97 3u +A/ 6.2 细化 (Refinement) 98 %>^CD_[eO 6.3 合成 (Synthesis) 100 csP 5R3 6.4 目标和评价函数 101 vd`;(4i#X 6.4.1 目标输入 102 ${\iHg[vZ 6.4.2 目标 103 !}7FC>Cx 6.4.3 特殊的评价函数 104 *'D(
j#& 6.5 层锁定和连接 104 KSsv~!3Yf 6.6 细化技术 104 QiBo]`)% 6.6.1 单纯形 105 ^PDz"L<* 6.6.1.1 单纯形参数 106 ?K]Cs&E4 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 )U0`?kD 6.6.2.1 Optimac参数 108 O ;,BzA-n 6.6.3 模拟退火算法 109 ]hY'A>4Uq 6.6.3.1 模拟退火参数 109 l1*qDzb 6.6.4 共轭梯度 111 ]6)^+(zU 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 pC<~\RR 6.6.5 拟牛顿法 112 n[$b k_S 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 B:5\+_a! 6.6.6 针合成 113 OxGKtnAjf 6.6.6.1 针合成参数 114 !DgN@P.o 6.6.7 差分进化 114 Pi|WOE2 6.6.8非局部细化 115 +[386 6.6.8.1非局部细化参数 115 k=D_9_ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ;tK%Q~To 6.7.1 细化 116 H+Dv-*i 6.7.2 合成 117 !,8jB( 6.8 参考文献 117 t5
:4'%| 7 导纳图及其他工具 118 rH@{[~p 7.1 简介 118 XV)<Oav s 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 9K~0:c 7.2.1 四分之一波长规则 119 hgt@Mb 7.2.2 导纳图 120 _XLGXJ[B 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 fyYHwG 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 pW{Q%"W 7.5 斜入射导纳图 141 PvW {g5)S 7.6 对称周期 141 ^e*Tg& 7.7 参考文献 142 MR$R# 8 典型的镀膜实例 143 ko-| hBNv 8.1 单层抗反射薄膜 145 FKhmg&+> 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 (I(?oCQ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 1+wmR4o 8.4 W-膜层 148 e5\/:HpI 8.5 V-膜层 149 6/u]r 8.6 V-膜层高折射基底 150 }J=>nL'B 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 xi5G?r 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 bYsK|n 8.9 四层抗反射薄膜 153 gumT"x .^ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
=j,2 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 \YXzq<7 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Tp
vq5Cz 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 qUNK Dt 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 j1[Ng #. 8.15十五层宽带抗反射膜 159 .`./MRC 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 )\nKr;4MH 8.17 1/4波长堆栈 162 B49:
R> 8.18 陷波滤波器 163 }STTDq4 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 %x}iEqk U 8.20 褶皱 165 Ka\ha 8.21 消偏振分光器1 169 Dnx` ! 8.22 消偏振分光器2 171 rlUo# 8.23 消偏振立体分光器 172 l', +l{\Z 8.24 消偏振截止滤光片 173 EJAk'L+nuH 8.25 立体偏振分束器1 174 aCxF{>n
8.26 立方偏振分束器2 177 b'x26wT? 8.27 相位延迟器 178 Oy(fh%k# 8.28 红外截止器 179 3C[#_&_l 8.29 21层长波带通滤波器 180 SX/E@vYb 8.30 49层长波带通滤波器 181 244[a]
%&; 8.31 55层短波带通滤波器 182 )P13AfK 8.32 47 红外截止器 183 ,\fp.K< 8.33 宽带通滤波器 184 E; `@S 8.34 诱导透射滤波器 186 zWs("L(#s 8.35 诱导透射滤波器2 188 ~&}e8ah2 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 E`0mn7.t 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 asEk3 8.35 增益平坦滤波器 193 #)3luf3G
8.38 啁啾反射镜 1 196 ;?{[vLHDL 8.39 啁啾反射镜2 198 3@}rO~ 8.40 啁啾反射镜3 199 #BLx +mLq 8.41 带保护层的铝膜层 200 %P8*Az&]T 8.42 增加铝反射率膜 201 {[I]pm~n 8.43 参考文献 202 >O;V[H2[ 9 多层膜 204 LyR bD$m 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 QUQw/ 9.2 内部透过率 204 )~X.x"}8k 9.3 内部透射率数据 205 +,g3Xqs}X 9.4 实例 206 Lg%3M8-W~ 9.5 实例2 210 PTS
dW~3 9.6 圆锥和带宽计算 212 F<V.OFt 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 s(.H"_a 10 光学薄膜的颜色 216 DXI{ jalL 10.1 导言 216 !B*l'OJw 10.2 色彩 216 }Fq~!D
Ee 10.3 主波长和纯度 220 SH1S_EQ< 10.4 色相和纯度 221 ( IXUT6| 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 \rpXG9 10.6 色差 226 n^lr7(!6 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ,K WIuCU; 10.8 颜色渲染指数 234 <u_vL
WS 10.9 色差计算 235 BjSd\Ul 10.10 参考文献 236 .&i_~?1[N 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ;T\+TZ tI 11.1 短脉冲 238 zG*
>g 11.2 群速度 239 73p7]Uo 11.3 群速度色散 241 ]t"X~ 11.4 啁啾(chirped) 245 \{EYkk0] 11.5 光学薄膜—相变 245 UdOO+Z_K% 11.6 群延迟和延迟色散 246 ~T^,5Tz1j 11.7 色度色散 246 koojF|H> 11.8 色散补偿 249 le|Rhs%Z% 11.9 空间光线偏移 256 \1ncr4 11.10 参考文献 258 agGgj>DDd 12 公差与误差 260 ;5p;i8m 12.1 蒙特卡罗模型 260 %,UTFuM` 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 |!q,J 12.2.1 误差工具 267 1/3<u:: 12.2.2 灵敏度工具 271 hLICu[LC? 12.2.2.1 独立灵敏度 271 kXroFLrY 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Z mc" 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 HO_!/4hrU 12.3 参考文献 276 G' '9eV$ 13 Runsheet 与Simulator 277 *x-@}WY$U 13.1 原理介绍 277 z -c1,GOD 13.2 截止滤光片设计 277 Qv
WvS9] 14 光学常数提取 289 j Gp&P 14.1 介绍 289 ipe8U1Sc 14.2 电介质薄膜 289 a@S{A5j 14.3 n 和k 的提取工具 295 Bra}HjHO 14.4 基底的参数提取 302 AM0CIRX$ 14.5 金属的参数提取 306 9RPZj>ezjA 14.6 不正确的模型 306 %M,^)lRP 14.7 参考文献 311 u[E0jI 15 反演工程 313 LzQOzl@z 15.1 随机性和系统性 313 UOpSH{N 15.2 常见的系统性问题 314 ,m Nd# 15.3 单层膜 314 JT! Cb$! 15.4 多层膜 314 I {%Y0S 15.5 含义 319 60G(jO14 15.6 反演工程实例 319 \iRmGvT 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 !l-Q.=yw 15.6.2 反演工程提取折射率 327 l@0${&n 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 /K(l[M 16.1 光学性质的热致偏移 329 m}(M{^\| 16.2 应力工具 335 +bGO"* 16.3 均匀性误差 339 < V*/1{ 16.3.1 圆锥工具 339 " ?Ux\)* 16.3.2 波前问题 341 P=aYwm C 16.4 参考文献 343 SyI\ulmL 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 m
al?3*x/ 17.1 引言 345 D}`MY\H 17.2 操作数 345 ZPG~@lU 18 如何在Function中编写脚本 351 TkR#Kzv380 18.1 简介 351 QM'|k6 18.2 什么是脚本? 351 Px3I+VP 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 2fgYcQ8` 18.4 基础 352 3Rhoul[S 18.4.1 Classes(类别) 352 n/{ pQ&B 18.4.2 对象 352 ?_B'#,tI 18.4.3 信息(Messages) 352 ^-Rqlr,F; 18.4.4 属性 352 {9FL}Jrt 18.4.5 方法 353 u+O"c 18.4.6 变量声明 353 IF cre 18.5 创建对象 354 {"2Hv;x 18.5.1 创建对象函数 355 <TTBIXV 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 AyNpY_B0c 18.5.3 丢弃对象 356 >`l^
C 18.5.4 总结 356 'ka}x~EF 18.6 脚本中的表格 357 <G0Ut6J> 18.6.1 方法1 357 <iBn-EG l> 18.6.2 方法2 357 |~@yXc5a 18.7 2D Plots in Scripts 358 kC ALJRf~d 18.8 3D Plots in Scripts 359 IML.6<,(Z 18.9 注释 360 F1S0C>N?5 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 w9StW94p 18.11 一个更高级的脚本 362 $DaQM'- 18.12 <esc>键 364 _F(Np\%_ 18.13 包含文件 365 C[';B)a 18.14 脚本被优化调用 366 kxR!hA8wv4 18.15 脚本中的对话框 368 bXeJk]#y 18.15.1 介绍 368 5|7<ZL3 18.15.2 消息框-MsgBox 368 K^h9\<w 18.15.3 输入框函数 370 njaKU?6%d2 18.15.4 自定义对话框 371 XSCcumde! 18.15.5 对话框编辑器 371 ^ZIs >.' 18.15.6 控制对话框 377 ?,]eN&` 18.15.7 更高级的对话框 380 /'zXb_R,$ 18.16 Types语句 384 -Mf-8zw8G 18.17 打开文件 385 =4sx(< 18.18 Bags 387 |S~$IFN4 18.13 进一步研究 388 3<l}gB'S[ 19 vStack 389 x:Q$1&3N 19.1 vStack基本原理 389 >xA(*7 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
7|yEf 19.3 五棱镜 393 (J?_~(,`" 19.4 光束距离 396 &'`ki0Xh; 19.5 误差 399 g<ov` bF 19.6 二向分色棱镜 399 "bB0$>0, 19.7 偏振泄漏 404 5i}g$yjZ< 19.8 波前误差—相位 405 R!
n7g8I% 19.9 其它计算参数 405 =7#"}%4Q 20 报表生成器 406 $E!f@L 20.1 入门 406 N`{6<Z0 20.2 指令(Instructions) 406 UCup {pDp 20.3 页面布局指令 406 k'*vG6! 20.4 常见的参数图和三维图 407 |26[=_[q 20.5 表格中的常见参数 408 tqCwbi 20.6 迭代指令 408 4cqf= 20.7 报表模版 408 j/q&qrlL 20.8 开始设计一个报表模版 409 y>:U&P^ 21 一个新的project 413 7=NKbv] 21.1 创建一个新Job 414 >|`1aCg, 21.2 默认设计 415 L0I|V[ 21.3 薄膜设计 416 p5py3k 21.4 误差的灵敏度计算 420 (>Nwd^ 21.5 显色指数计算 422 HO_(it \ 21.6 电场分布 424 {2QP6X sJ 后记 426 ;y{(#X# 有兴趣可以扫码加微联系 @4Zkkjc4b
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