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4t 0p!IxG 内容简介 <m> m"|G Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Pp.]/; 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 h\4enu9[RL 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 T%yGSk fW$1f5g" 讯技科技股份有限公司 yeLd,M/I
EUbyQL 目录 mZ g' Preface 1 Y o\%53w/ 内容简介 2 -d[Gy-
J 目录 i =vsvx{o? 1 引言 1 P} w0= 2 光学薄膜基础 2 x b!&'cw 2.1 一般规则 2 !$p E=~1C 2.2 正交入射规则 3 kBtzJ#j B 2.3 斜入射规则 6 8{ )N%r 2.4 精确计算 7 sj&1I.@,> 2.5 相干性 8 l4YTR4D 2.6 参考文献 10 Y+gNi_dE 3 Essential Macleod的快速预览 10 A#gy[.Bb 4 Essential Macleod的特点 32 6('CB|ga 4.1 容量和局限性 33 /k KVIlO 4.2 程序在哪里? 33 GQYB2{e> 4.3 数据文件 35 kR<\iT0j 4.4 设计规则 35 @[#)zO 4.5 材料数据库和资料库 37 e
3TKg 4.5.1材料损失 38 ,U>G$G^ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 zqLOwzMlLx 4.5.2 材料库 41 Bqw/\Lxwlf 4.5.3导出材料数据 43 -HRa6 4.6 常用单位 43 _$yS4= . 4.7 插值和外推法 46 'jYKfq~_cJ 4.8 材料数据的平滑 50 <m*j1|^{t 4.9 更多光学常数模型 54 M
%!O)r#Pn 4.10 文档的一般编辑规则 55 MC1&X' 4.11 撤销和重做 56 B;t{IYhq{ 4.12 设计文档 57 +A1xqOB 4.10.1 公式 58 #e[igxwi 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 #'I<q 4.10.3 沉积密度 59 2^)_XVX1 4.10.4 平行和楔形介质 60 } a!HbH 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ,7;euV5X 4.10.4 性能 61 ,uZz?7mO 4.10.5 保存设计和性能 64 S~B{G T\M 4.10.6 默认设计 64 !T.yv5ge' 4.11 图表 64 REPI>-| 4.11.1 合并曲线图 67 I.p"8I; 4.11.2 自适应绘制 68 o4,9jk$ 4.11.3 动态绘图 68 >fp_$bjd 4.11.4 3D绘图 69 I=;=;- 4.12 导入和导出 73 "5"{~3Gw^ 4.12.1 剪贴板 73 J!H)[~2/ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 eIbz`|%3 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 SKo*8r 4.13 背景 77 tdNAR| 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 TlC??# 4.15 生成Rugate 84 )!5"\eys 4.16 参考文献 91 <W/YC2b 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 AbB+<0 5.1 Jobs 92 o),@I#fM 5.2 创建一个新Job(工作) 93 0+k=gO 5.3 输入材料 94 +<3e@s& 5.4 设计数据文件夹 95 0ej*0"Mq 5.5 默认设计 95 1$ENNq#0 6 细化和合成 97 7=HpEc 6.1 优化介绍 97 S^r[%l<'n 6.2 细化 (Refinement) 98 `m\ ?gsw7 6.3 合成 (Synthesis) 100 dZAb': 6.4 目标和评价函数 101 (]$&.gE.F 6.4.1 目标输入 102 IeB^BD+j 6.4.2 目标 103 C^!~WFy 6.4.3 特殊的评价函数 104 }BiA@n, 6.5 层锁定和连接 104 uk3PoB^> 6.6 细化技术 104 a lyA#zao| 6.6.1 单纯形 105 h4c4!S 6.6.1.1 单纯形参数 106 $SU<KNMZ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 >~uKkQ_p 6.6.2.1 Optimac参数 108 *a`_,Q{x 6.6.3 模拟退火算法 109 *7C l1o 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ~uuM0POo 6.6.4 共轭梯度 111 o:@A% *jg 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]E1|^[y 6.6.5 拟牛顿法 112 J74kK#uF= 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 T/q*k)IoR 6.6.6 针合成 113 C+0BV~7J<< 6.6.6.1 针合成参数 114 #^w8Y'{? 6.6.7 差分进化 114 UbP$WIrq 6.6.8非局部细化 115 q]v{o8:U 6.6.8.1非局部细化参数 115 :-j/Y'H_ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 sM9N Hwg 6.7.1 细化 116 2`V(w[zTr 6.7.2 合成 117 B";Dj~y 6.8 参考文献 117 l'?(4N 7 导纳图及其他工具 118 la{o<||Aq 7.1 简介 118 u4Z
Accj 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ]"i^VVw 7.2.1 四分之一波长规则 119 hlHle\[ds 7.2.2 导纳图 120 SKVQ !^o 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Yz>8 Nn '_ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 $ ~/x;z: 7.5 斜入射导纳图 141 Y~UWUF%aK 7.6 对称周期 141 dbfI!4 7.7 参考文献 142 kj`h{Wc[) 8 典型的镀膜实例 143 FZfhiIf 8.1 单层抗反射薄膜 145 vcSb:(' 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 xgWVxX^) 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 K# h7{RE 8.4 W-膜层 148 cFoeyI# v 8.5 V-膜层 149 {QT:1U\. 8.6 V-膜层高折射基底 150 t#7owY$^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 UL3u2g;d 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 w=ZK=@ 8.9 四层抗反射薄膜 153 0~cbB 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 y9K'(/ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !8o;~PPVl 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 8b $e) 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 $wqi^q*) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 t8Giv89{ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 0;" >. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 K}Lu1:~ 8.17 1/4波长堆栈 162 }1YQ?:@ 8.18 陷波滤波器 163 @&2#kO~= 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 NJ(H$tB@ 8.20 褶皱 165 ]Waa7)}DM 8.21 消偏振分光器1 169 zC!Pb{IaH 8.22 消偏振分光器2 171 -aIB_ 8.23 消偏振立体分光器 172 ,h'omU7 8.24 消偏振截止滤光片 173 0y=lf+xA* 8.25 立体偏振分束器1 174 O_&Km[ 8.26 立方偏振分束器2 177 D__*?frWpW 8.27 相位延迟器 178 Xl/2-'4 8.28 红外截止器 179 tZA%^Y 8.29 21层长波带通滤波器 180 -nk0Q_7N 8.30 49层长波带通滤波器 181
-to 3I 8.31 55层短波带通滤波器 182 \PK}4<x} 8.32 47 红外截止器 183 g;!,2,De} 8.33 宽带通滤波器 184 d0-T\\U 8.34 诱导透射滤波器 186 +qmV|$rmM 8.35 诱导透射滤波器2 188 >\>!Q V1@ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 &(A'uX.>pr 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 LS4E.Xdn 8.35 增益平坦滤波器 193 TuzH'F 8.38 啁啾反射镜 1 196 jNP%BNd1f 8.39 啁啾反射镜2 198 DZV U!J 8.40 啁啾反射镜3 199 LZApz} 8.41 带保护层的铝膜层 200 xBAASy 8.42 增加铝反射率膜 201 7R>Pk9J 8.43 参考文献 202 P>ZIP*
Gr 9 多层膜 204 H)i%\7F5 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 CI@qT}Y_ 9.2 内部透过率 204 GD
}i=TK 9.3 内部透射率数据 205 )5ISkbsxD 9.4 实例 206 7)y
+QU] 9.5 实例2 210 [2nPr^ 9.6 圆锥和带宽计算 212 ;Y`k-R:E6A 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 :tBZu%N/N 10 光学薄膜的颜色 216 /w:~!3Aj0+ 10.1 导言 216 i
UW.$1l 10.2 色彩 216 JAI ;7 10.3 主波长和纯度 220 D,,
x<JG| 10.4 色相和纯度 221 R5MY\^H/A 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Z;J{&OJ3qM 10.6 色差 226 1fU~&?&-u 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ??=7pFm 10.8 颜色渲染指数 234 ZVz`-hB 10.9 色差计算 235 6#1:2ZHKG 10.10 参考文献 236 gR8vF 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 fnudu0k 11.1 短脉冲 238 nWv6I& 11.2 群速度 239 zNJ-JIo% 11.3 群速度色散 241 )n1 7}Qm`V 11.4 啁啾(chirped) 245 [USE&_RN 11.5 光学薄膜—相变 245 I07_o"3>qr 11.6 群延迟和延迟色散 246 "QCVi R 11.7 色度色散 246 \UBQ:+3 11.8 色散补偿 249 =j
S 11.9 空间光线偏移 256 Zcxj.F(, 11.10 参考文献 258 C\;
$RH 12 公差与误差 260 nAW`G'V# 12.1 蒙特卡罗模型 260 |iB
svI: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 'Mm=<Bh 12.2.1 误差工具 267 ;n=A245W\ 12.2.2 灵敏度工具 271 f)!7/+9> 12.2.2.1 独立灵敏度 271 W1p5F\ wt 12.2.2.2 灵敏度分布 275 {Aq:Kh`& 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ?FwjbG< 12.3 参考文献 276 ^ l9NF 13 Runsheet 与Simulator 277 PU^@BZ_m 13.1 原理介绍 277 @2)ImgK[ 13.2 截止滤光片设计 277 ^ ]CQd
14 光学常数提取 289 UJ6zgsD1b? 14.1 介绍 289 5mB'\xGO2 14.2 电介质薄膜 289 z+6%Ya&ls 14.3 n 和k 的提取工具 295 TGu]6NzyZ 14.4 基底的参数提取 302 2K$#U|Qi 14.5 金属的参数提取 306 0@dN$e 14.6 不正确的模型 306 `d.4L.], 14.7 参考文献 311 k;?E,!{ 15 反演工程 313 K44j-Ypb 15.1 随机性和系统性 313 keL!;q|r-) 15.2 常见的系统性问题 314 Ld3!2g2y7& 15.3 单层膜 314 B5fF\N^ 15.4 多层膜 314 mL[Y{t#N 15.5 含义 319 \Yd
0oe82 15.6 反演工程实例 319 TkSeDP 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Ug,23 15.6.2 反演工程提取折射率 327 %t<ba[9F 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 )NCkq~M 16.1 光学性质的热致偏移 329 &u7oa 16.2 应力工具 335 dt|f4XWF 16.3 均匀性误差 339 >@c~ M 16.3.1 圆锥工具 339 cWNWgdk,`V 16.3.2 波前问题 341 ;f)o_:(JJ 16.4 参考文献 343 >gLLr1L\ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ;IX*4E'4s 17.1 引言 345 B!zqvShF 17.2 操作数 345 O)Mf/P' 18 如何在Function中编写脚本 351 ^NPbD<~Lb 18.1 简介 351 @%sr#YqY 18.2 什么是脚本? 351 KK4"H]!. 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 7JHS8C<] 18.4 基础 352 VPqMbr"L[ 18.4.1 Classes(类别) 352 ?\$\YX%/p 18.4.2 对象 352 A/#Xr 18.4.3 信息(Messages) 352 #8[iqvE 18.4.4 属性 352 S|?Ht61k 18.4.5 方法 353 mtn+bV
R% 18.4.6 变量声明 353 gaXKP1m^ 18.5 创建对象 354 JDy ;Jb 18.5.1 创建对象函数 355 &33.mdBH 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 {-?8r> 18.5.3 丢弃对象 356 /)E'%/"A 18.5.4 总结 356 ~M4@hG! 18.6 脚本中的表格 357 bxA1fA; 18.6.1 方法1 357 ,Y3wXmG 18.6.2 方法2 357
?Ok@1 18.7 2D Plots in Scripts 358 XU19+mW=P 18.8 3D Plots in Scripts 359 |U4t 8 18.9 注释 360 wu2C!gyBo 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 bR;Zc 18.11 一个更高级的脚本 362 Hz6yy* 18.12 <esc>键 364 qTl/bFD 18.13 包含文件 365 Pqm)OZE? 18.14 脚本被优化调用 366 3!V$fl0 18.15 脚本中的对话框 368 q"Z!}^{ 18.15.1 介绍 368 OnKPD=< 18.15.2 消息框-MsgBox 368 q4rDAQyPO 18.15.3 输入框函数 370 5Si\hk:o 18.15.4 自定义对话框 371 &G"r>,HU 18.15.5 对话框编辑器 371 [Ifhh2 18.15.6 控制对话框 377 f!"Y"g:@E 18.15.7 更高级的对话框 380 Y4B<]C4 18.16 Types语句 384 :<$IGzw}. 18.17 打开文件 385 ttK`*Ng 18.18 Bags 387 66+y@l1 18.13 进一步研究 388 >`@yh-'r 19 vStack 389 5@{+V!o, 19.1 vStack基本原理 389 l6S6Y 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 n_Ka+Y< 19.3 五棱镜 393 BOQeP/> 19.4 光束距离 396 N3`W%ws`~ 19.5 误差 399 ,t]qe 19.6 二向分色棱镜 399 -MqWcB9& 19.7 偏振泄漏 404 Kx;DmwX- 19.8 波前误差—相位 405 M:~/e8Xv 19.9 其它计算参数 405 d$G<g78D 20 报表生成器 406 (3=(g 20.1 入门 406 o,sw[ 20.2 指令(Instructions) 406 s;0eD5b>x 20.3 页面布局指令 406 g}-Ch# 20.4 常见的参数图和三维图 407 OZ$"P<X_" 20.5 表格中的常见参数 408 ab=s+[r1 20.6 迭代指令 408 <9s=K\- 20.7 报表模版 408 iZy`5 20.8 开始设计一个报表模版 409 Pj!{j)-tS 21 一个新的project 413 0KF)+`CC> 21.1 创建一个新Job 414 w$5N6 21.2 默认设计 415 H<SL=mb; 21.3 薄膜设计 416 '1}rQq Z 21.4 误差的灵敏度计算 420 YW}1iT/H 21.5 显色指数计算 422 Qw$"W/&X 21.6 电场分布 424 Z`?<A da 后记 426 &E{5k{Y 有兴趣可以扫码加微联系 l}DCK
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