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b#XS.e/uf 内容简介 #Q$4EQB Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 .3HC*E.e 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ~*2PmD"+: 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 h+*
Box,N5AA 讯技科技股份有限公司 =#+Z KD
'0o`<xW 目录 F48`1+ Preface 1 Ap97 Zcw 内容简介 2 :fj}J)9'xW 目录 i
?T4%"0 1 引言 1 (bBetX 2 光学薄膜基础 2 }xdI{E1 q) 2.1 一般规则 2 h_A}i2/{ 2.2 正交入射规则 3 }]n&" =Zk- 2.3 斜入射规则 6 t*D[Q$v 2.4 精确计算 7 C ch1"j<k$ 2.5 相干性 8 -<s?`Rnk 2.6 参考文献 10 *#2`b%qh\M 3 Essential Macleod的快速预览 10 WVo%'DtF` 4 Essential Macleod的特点 32 '2.F-~ 4.1 容量和局限性 33 :+R||qi 4.2 程序在哪里? 33 \!YPht 4.3 数据文件 35 .upcUS8 4.4 设计规则 35 {) .=G 4.5 材料数据库和资料库 37 J'7){C"G$ 4.5.1材料损失 38 ' !_44 4.5.1材料数据库和导入材料 39 WV&BZ:H 4.5.2 材料库 41 L50`,,WF 4.5.3导出材料数据 43 FS@SC`~( 4.6 常用单位 43 uvmNQg
4.7 插值和外推法 46 H}}t)H 4.8 材料数据的平滑 50 Cu|n?Uk 4.9 更多光学常数模型 54 )FHaJ*&d 4.10 文档的一般编辑规则 55 IH:Hfv 4.11 撤销和重做 56 ".@SQgyb0 4.12 设计文档 57 }7C{:H2d 4.10.1 公式 58 z2dM*NMK 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 UW>~C 4.10.3 沉积密度 59 zBoU;d%p> 4.10.4 平行和楔形介质 60 I &m~ cBj< 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 n"MFC 4.10.4 性能 61 F]ALZxwkz 4.10.5 保存设计和性能 64 5w1=j\oq 4.10.6 默认设计 64 "1[N;|xa 4.11 图表 64 ~ R* 6w($ 4.11.1 合并曲线图 67 Y@r#:BH) 4.11.2 自适应绘制 68 TVjY8L9'h 4.11.3 动态绘图 68 <"\K|2Sg 4.11.4 3D绘图 69 `i.f4]r 4.12 导入和导出 73 fIBLJ53 4.12.1 剪贴板 73 -|3U0:'m 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 7)a=B! 8M 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 UIu'x_qc 4.13 背景 77 KlrKGmy,) 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Mv9s 4.15 生成Rugate 84 |RpC0I 4.16 参考文献 91 Y&&Y:+
V 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 fB:M'A' 5.1 Jobs 92 P, Vq/Tt 5.2 创建一个新Job(工作) 93 @E==~ b 5.3 输入材料 94 I5bi^!i 5.4 设计数据文件夹 95 fO:*85%}7 5.5 默认设计 95 hwXp=not( 6 细化和合成 97 <&x_e-;b' 6.1 优化介绍 97 F.\]Hqq 6.2 细化 (Refinement) 98 nTHP~] 6.3 合成 (Synthesis) 100 4$|G$h 6.4 目标和评价函数 101 ;=n7 Z 6.4.1 目标输入 102 iF
67 6.4.2 目标 103 wo_FM
`@ 6.4.3 特殊的评价函数 104 ,:v}gS?Uq 6.5 层锁定和连接 104 Us%VBq 6.6 细化技术 104 >Ek`PVPD 6.6.1 单纯形 105 prm 6.6.1.1 单纯形参数 106 =_wgKXBFa 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 )pvZM? 6.6.2.1 Optimac参数 108 s0`uSQ2X 6.6.3 模拟退火算法 109 r@!~l1$s` 6.6.3.1 模拟退火参数 109 7"QcvV@p 6.6.4 共轭梯度 111 BShZ)t 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 B"EMir' 6.6.5 拟牛顿法 112 cX&c% ~ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 =-:o?&64 6.6.6 针合成 113 v |i(peA# 6.6.6.1 针合成参数 114 iD]!PaFD` 6.6.7 差分进化 114 }U(^ QB 6.6.8非局部细化 115 <<`."RY#0 6.6.8.1非局部细化参数 115 \u)(+t{ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 i
9b^\&& 6.7.1 细化 116 ,{oANqP 6.7.2 合成 117 hm5<_(F! 6.8 参考文献 117 sVC5<?OW!p 7 导纳图及其他工具 118 @vv`86bm 7.1 简介 118 z^oi15D|{ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 LD6fi 7.2.1 四分之一波长规则 119 Z@h]dU5%a 7.2.2 导纳图 120 gr2zt&Z4 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 J]~3{Mi 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ooD/QZUE 7.5 斜入射导纳图 141 SEuj=Vie# 7.6 对称周期 141 <bid 6Q0| 7.7 参考文献 142 epwXv|aSZ 8 典型的镀膜实例 143 =uvv|@Z 8.1 单层抗反射薄膜 145 r!zNcN(%cs 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 o2.!
G 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 t=pG6U 8.4 W-膜层 148 yrIT4y 8.5 V-膜层 149 =]^*-f}J9 8.6 V-膜层高折射基底 150 i'57| ;? 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 *&U9npN 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 'shOSB 8.9 四层抗反射薄膜 153 NH?s 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 x##Iv|$ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 p1&d@PF&& 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 I{2e0 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ud.S,
8Sy 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 %"z W] 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ypsCyDQK` 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 r|P4|_No 8.17 1/4波长堆栈 162 X%gJ,c(4 8.18 陷波滤波器 163 @9L%`=]b^ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Npu;f>g0_ 8.20 褶皱 165 ` n_ Z 8.21 消偏振分光器1 169 q3I,3?_ 8.22 消偏振分光器2 171 H(g&+Wcu= 8.23 消偏振立体分光器 172 CHLMY}O0 8.24 消偏振截止滤光片 173 INkrG.=u 8.25 立体偏振分束器1 174 Ii
K&v<(] 8.26 立方偏振分束器2 177
s$]I@;_ 8.27 相位延迟器 178 T@z$g 8.28 红外截止器 179 [oYe/<3 8.29 21层长波带通滤波器 180 w
S;(u[W 8.30 49层长波带通滤波器 181 qS7*.E~j|] 8.31 55层短波带通滤波器 182 sX=!o})0 8.32 47 红外截止器 183 crmnh4- 8.33 宽带通滤波器 184 !k[zUti 8.34 诱导透射滤波器 186 rkzhN59; 8.35 诱导透射滤波器2 188 8CYJR/ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 4RzG3CJdS 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 n =v %}@f2 8.35 增益平坦滤波器 193 \t1vYIY]T 8.38 啁啾反射镜 1 196 P(Lwpa,S
8.39 啁啾反射镜2 198 3NJ-.c@(p 8.40 啁啾反射镜3 199 (_W[~df4 8.41 带保护层的铝膜层 200 HPgMVp' 8.42 增加铝反射率膜 201 i? a]v 5 8.43 参考文献 202 p@^2.O+ 9 多层膜 204 W]R5\G* 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 [s2%t"H-y 9.2 内部透过率 204 Dg]i}; 9.3 内部透射率数据 205 IMrB!bor 9.4 实例 206 69L s"e 9.5 实例2 210 6Qo6T][ 9.6 圆锥和带宽计算 212 .a^/r'? 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 rDSt
~l 10 光学薄膜的颜色 216 L,:U _\HQ 10.1 导言 216 w}E?FEe. 10.2 色彩 216 [Z[)hUXE? 10.3 主波长和纯度 220 k20H|@g2 10.4 色相和纯度 221 sG}9 l1 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 m+!%+S1 10.6 色差 226 bM!`C|,[s 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 1E-$f 10.8 颜色渲染指数 234 7>4t{aRf_8 10.9 色差计算 235 ?e ~* ,6 10.10 参考文献 236 "5e]-u' 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 TLkkB09fvk 11.1 短脉冲 238 J5\> 8I,a 11.2 群速度 239 h&Sl8$jVp 11.3 群速度色散 241 tF;aB* 11.4 啁啾(chirped) 245
bhgh
]{ 11.5 光学薄膜—相变 245 ;Joo!CXHO 11.6 群延迟和延迟色散 246 D2hvf^g'* 11.7 色度色散 246 @.gCeMlOf 11.8 色散补偿 249 "q%)we 11.9 空间光线偏移 256 H11Wb(6Wu 11.10 参考文献 258 Kzmgy14o 12 公差与误差 260 -Wig k['v 12.1 蒙特卡罗模型 260 $M><K 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 %Wc-.ER 12.2.1 误差工具 267 xNONf4I:6J 12.2.2 灵敏度工具 271 ar{e<&Bny 12.2.2.1 独立灵敏度 271 mEqV&M1;7l 12.2.2.2 灵敏度分布 275 D~{)\;w^! 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 H1@"Yg8 12.3 参考文献 276 A/.cNen 13 Runsheet 与Simulator 277 G
cbal:q 13.1 原理介绍 277 $~2Ao[ 13.2 截止滤光片设计 277 vD*KJ3(c 14 光学常数提取 289 D QRt\! 14.1 介绍 289 l==T3u
r 14.2 电介质薄膜 289 Hnaq+ _] 14.3 n 和k 的提取工具 295 Ne4A 14.4 基底的参数提取 302 6$zUFIk 14.5 金属的参数提取 306 $~j]/ U 14.6 不正确的模型 306 Wl,yznT 14.7 参考文献 311 K[9 <a>D` 15 反演工程 313 `?>OY&( 15.1 随机性和系统性 313 'dg OE 15.2 常见的系统性问题 314 II2oV}7? 15.3 单层膜 314 6?`py}: 15.4 多层膜 314 /q^( uWu 15.5 含义 319 6ZM<M7(V 15.6 反演工程实例 319 9fV 57 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 zL{KK9Or 15.6.2 反演工程提取折射率 327 fpqKa r 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 N$3F4b%+ 16.1 光学性质的热致偏移 329 FkS{Z s 16.2 应力工具 335 )Y:CV,` 16.3 均匀性误差 339 eD/?$@y 16.3.1 圆锥工具 339 b
:+
X3 16.3.2 波前问题 341 "#OmmU<U 16.4 参考文献 343 Rw7Q[I5z% 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 .d*v fE$ 17.1 引言 345 QOO BCNe 17.2 操作数 345 2{%BQq>C 18 如何在Function中编写脚本 351
#8(@a
Y 18.1 简介 351 1wq6E 18.2 什么是脚本? 351 yb]a p 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 `zvYuKQ.} 18.4 基础 352
xE}q(.] 18.4.1 Classes(类别) 352 "kL5HD]TC 18.4.2 对象 352 Lh0<A% 18.4.3 信息(Messages) 352 :jhJpm1Xq 18.4.4 属性 352 7_|zMk.J* 18.4.5 方法 353 <vAg\Tv:S 18.4.6 变量声明 353 4iw+3 Q| 18.5 创建对象 354 ?$gEX@5h 18.5.1 创建对象函数 355 KUp
lN1Sy 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 "B\qp "N 18.5.3 丢弃对象 356 18`?t_8g 18.5.4 总结 356 ;+5eE`]a/L 18.6 脚本中的表格 357 )QKZI))G0 18.6.1 方法1 357 >y az 18.6.2 方法2 357 yNqrL?i 18.7 2D Plots in Scripts 358 1M+mH#? 18.8 3D Plots in Scripts 359 Ltu;sw 18.9 注释 360 a([cuh. 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 5bAy@n 18.11 一个更高级的脚本 362 _E1:3N| 18.12 <esc>键 364 x;C\G`9N 18.13 包含文件 365 i#eb %9Mn 18.14 脚本被优化调用 366 VfQSfNsi 18.15 脚本中的对话框 368 _[.`QW~ 18.15.1 介绍 368 i
JQS@2=A 18.15.2 消息框-MsgBox 368 f6z[k_lLN 18.15.3 输入框函数 370 Mbi)mybM 18.15.4 自定义对话框 371 JU~l 18.15.5 对话框编辑器 371 Xf.SJ8G 18.15.6 控制对话框 377 $V@IRBm 18.15.7 更高级的对话框 380 PB`94W 18.16 Types语句 384 z,^baU 18.17 打开文件 385
a|OX4 18.18 Bags 387 YUc&X |