[技术]衍射级次偏振态的研究 [复制链接]

摘要 < HVl(O  
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光栅结构广泛应用于各种光学应用场景，如光谱仪、近眼显示系统、脉冲整形等。快速物理光学软件VirtualLab Fusion通过使用傅里叶模态方法(FMM，也称为RCWA)，为任意光栅结构的严格分析提供了通用和方便的工具。为此，复杂的一维或二维周期结构可以使用界面和调制介质进行配置，这允许任何类型的光栅形貌进行自由的配置。在此用例中，详细讨论了衍射级次的偏振态的研究。 3=aQG'B  
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任务说明 snobT Q  
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简要介绍衍射效率与偏振理论 g?z/2zKR  
某个衍射级次（𝑛）的效率表示有多少的辐射功率被衍射到这个特定的级次中。它是由复数值瑞利系数计算出来的，瑞利系数包含了每个衍射级次（矢量）电磁场的全部信息。瑞利系数本身是由FMM对光栅的特征值问题进行严格分析的结果。 S4Y&  
如果在TE/TM坐标系(CS)中给出瑞利系数，则可以计算衍射效率： Ya3C#=  
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其中，n_in/n_out为覆盖层和衬底层的折射率，ϑ_in/ϑ_out为所分析的阶次的入射角和衍射角。此外，𝐴表示辐射光的振幅。 K,+LG7ec  
如果瑞利系数沿𝑥、𝑦和𝑧给出瑞利系数，则必须应用以下方程： |}BLF  
\LR~r%(rM  
因此，必须考虑所给出的瑞利系数的坐标系。默认情况下，光栅坐标系中为。 3@dL/x4A  
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光栅结构参数 k_ & :24Lj  
研究了一种矩形光栅结构。 E8$20Ue  
为了简化设置，选择光栅配置，只允许零阶(R_0)反射传播。 TN+iA~kQ  
根据上述参数选择以下光栅参数： J??-j  
光栅周期：250 nm le/,R@]B9  
填充因子：0.5 HK,cJahq  
光栅高度：200 nm [>8}J"  
材料n_1：熔融石英（来自目录） Ve}(s?hU5  
材料n_2：二氧化钛（来自目录） w$zu~/qV2  
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偏振态分析 V58wU:li  
现在，用TE偏振光照射光栅，并应用圆锥入射角（𝜑）变量。 Mm.
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如前所述，瑞利系数的平方振幅将提供关于特定级次的偏振态的信息。 x@P y>f2  
为了接收瑞利系数作为检测器的结果，需要选择光栅级次分析器件中的单个级次输出，并选择所需的系数。 %b&".mN  
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模拟光栅的偏振态 e6@=wnoX u  
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瑞利系数现在提供了偏振态的信息： .7e2YI,S  
在圆锥入射角为0（𝜑=0）时，。这说明衍射光是完全偏振的。 KHe=O1 %QO  
对于𝜑=22°，。此时，67%的光是TM偏振的。 >7lx=T x  
对于𝜑>50°，系数接近为常数，因此偏振态也是常数。 [I'0,y  
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Passilly等人更深入的光栅案例。 @L<*9sLWh  
Passilly等人的工作研究并优化了亚波长光栅下衍射光谱的偏振态，以获得不同状态之间的高度转换。 {MtpkUN  
因此，他们将模拟结果与制作样品的测量数据进行了比较。 G18F&c~  
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光栅结构参数 [Y|8\Ph`&  
在本文中，研究了两种不同的制备光栅结构。 0h#lJS*  
由于加工造成的光栅的理想二元形状的一些偏差是可以预料的，而且确实可以观察到：在基板和侧壁上存在不完全平行的欠刻蚀部分。 sy:[T T!w  
由于缺少关于制作结构的细节，我们将其简化为VirtulLab Fusion中的模拟。 Oft-w)cYz,  
但是如果有可用数据，就可以详细分析光栅的复杂形状。 v\KA'PmiP  
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光栅#1——参数 lD)%s!  
假设侧壁倾斜为线性。 .L9j>iP9 *  
忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 jN{Xfjmfv  
为了实现光栅脊的梯形形状，采用了倾斜光栅介质。 f[<m<I  
光栅周期：250 nm e<3K;Q  
光栅高度：660 nm {P*pkc  
填充因子：0.75（底部） <;vbsksZeH  
侧壁角度：±6° d/PiiiFf,  
n_1：1.46
S>h;K`  
n_2：2.08 nxUJN1b!N  
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光栅#1——结果 $@z5kwx:P  
这两幅图对比之下匹配度很高，特别是图表的趋势。 l1T m`7}  
与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 Q\^O64geD  
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光栅#2——参数 }+)fMZz  
假设光栅为矩形。 vMA]j>>  
忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 -e_hrCW&9  
矩形光栅足以表示这种光栅结构。 ^N7e76VwR  
光栅周期：250 nm [b6R%  
光栅高度：490 nm -m)X]]~C  
填充因子：0.5 ~Mx!
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n_1：1.46 %SX|o-B~.o  
n_2：2.08 fKeT
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光栅#2——结果 1,6}_MA  
这两幅图对比之下再次显示出非常好的匹配度，特别是图表的趋势。 #yI mKEYX  
与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 =y [M\m  
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