摘要
ta> g: 4HVZ;,q 众所周知,
光栅,尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
XrYMv
WT
02Ur'|
T3[\;ib} ~cz]Rhq 设计任务
^b~&}uU @b=tjQO_
t LdBnf Cc0`Y lx~( 光栅光学装置
6`]R)i] df
nmUE
jj0@ez{3 r42[pi]F 偏振分析器
|VB}Kv
6TbDno/!'
u6'vzLmM Ms<^_\iPN 优化
95_?F7}9 9r
fR
V2ypmkn8& jZ7/p ^c5R 参数运行
#StD]d GD}3r:wDs
$|C%G6!s?@ s24-X1d(9 关于光栅周期选择的考虑
|b;}'
* 79~,KFct
Y:^~KS=Uz ;wbQTp2 偏振相关衍射特性
~=Z&l 0Tp?ED_
HPCzh )?%FU?2jrn 偏振相关衍射特性
"z69jxXo xp7,0'(;
aj20, w A]Zp1XEG 偏振相关衍射特性
/R''R:j
@\i6m]\X
"monuErg& +%>s\W+?] 固定周期二维参数优化
si/F\NDT j$Vv'on
P~#!-9? 二维参数优化——设计#1
{dg3 qg~ a{L`C"rJ
Fh?;,Z //JF$o=)D 二维参数优化——设计#2
DvG. G+mo# +#6WORH0S
Vvm6T@b M8 6ApW+/ 制造
公差分析
e=%7tK* `V w9j,G
$&qB,>5=X j+*VP 变光栅周期
三维参数优化
V(L~t=k$ 8!TbJVR
BgA\l+ ba%[! 制造公差分析
29Kuq ;6 =oluw|TCe7
itm;, Sbg LOX[h$ VirtualLab Fusion 技术
Bo`fy/x#
E,xCfS)