摘要
GvB;o^Wd ^$>Q6.x?*) 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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r )c6t`SBwi 设计任务
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Xh5&J9pw 4LY$;J ;2 光栅光学装置
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@ 4lp9 0sa 偏振分析器
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D/`b ~ Yl QUb#84 固定周期二维参数优化
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8V)1N 二维参数优化——设计#1
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$=ua$R4Z+ @tfatq+q 二维参数优化——设计#2
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3;er.SFu{ ,AuejMd 制造
公差分析
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cS;O]>/5 Dy|DQ> ?} 变光栅周期
三维参数优化
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&?0hj@kd~ c]3^2Ag, VirtualLab Fusion 技术
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