摘要
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?^MH:o 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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6e cx!uc$ 'HCR i Z< 设计任务
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+JY8"a97> iT s" R W 光栅光学装置
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;`kOFg#`)c t6kLZ 优化
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20}]b* C} mo= @Zt 参数运行
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x B?! nd 3UZ_1nY 关于光栅周期选择的考虑
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R$MR| IM[=]j. ? 偏振相关衍射特性
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5H 1x-b XRyeEwA;pp 偏振相关衍射特性
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#.Ly dr(e)eD(R> 偏振相关衍射特性
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gB,Q4acjj kjQI=:i= 固定周期二维参数优化
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@OHNz!Lj:d 二维参数优化——设计#1
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soKR*gJ, mcQ\"9 ;pY 二维参数优化——设计#2
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*t={9 h H-X5A\\5 制造
公差分析
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MU N: }S u9+)jN<Yh 变光栅周期
三维参数优化
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^1--7#H 8R;E+B{ 制造公差分析
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?/p."N:]H o` }8ZtD VirtualLab Fusion 技术
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