摘要
u* eV@KK! 9+|$$) 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
*V CXihgo w?L6!) oiz 
RbB.q p ZtNN<7 设计任务
:
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1er
TldX 1 C+13LE$U 光栅光学装置
{p2!|A&a $c!p& 
AI2)g1m MpT8" /.]A 偏振分析器
rI{; I DV hPkp;a # 
8S
TvCH"Z_ ScOK)nL" 优化
%uDi#x . [jQp~&nY 
b=C*W,Q_# aqZi:icFa 参数运行
h,:m~0gmj LBeF&sb6 
|d2SIyUc _;S- x 关于光栅周期选择的考虑
(XTG8W sN K8|r&`X0 
,Zx 0%#6 l\H=m3Bg 偏振相关衍射特性
5vQHhwO50k RMV/&85?y 
v4TQX<0s C} j "Qi` 偏振相关衍射特性
ZDJ`qJ8V P= BZ+6DS 
@D[_}JE 2QcO R4_V 偏振相关衍射特性
5DU6rks% #P9~}JB3, 
VBlYvZ;$* n+9=1Oo" 固定周期二维参数优化
NN{?z! J1U/.`Oy 
!PlEO 2at 二维参数优化——设计#1
x j)F55e? VT)oLj/A 
oCv.Ln1;Z x8B}ZIbT9 二维参数优化——设计#2
G $"h&Xy1c n38p !oS 
a5^] 20Fa ~vhE |f 制造
公差分析
H2 {+) s\(k<Ks 
qA7>vi% eKgBy8tNS0 变光栅周期
三维参数优化
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H RC T } )EuvRLo{S7 制造公差分析
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{ lDd.Fn M)+H{5bt VirtualLab Fusion 技术
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