摘要
)705V|v b 1c y$I 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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IW5, 7. GblA9F7 设计任务
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Zpt\p7WQ +w`2kv 光栅光学装置
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6jbt: 偏振分析器
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2k~l$p>CN! #~]zh HI 关于光栅周期选择的考虑
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`7E;VL^Y1 , >a&"V^k 偏振相关衍射特性
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[\e eDa ;+R&}[9,A) 固定周期二维参数优化
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gx/,)> E. 二维参数优化——设计#1
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eS^7A}*wd- lN)C2 2 二维参数优化——设计#2
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}0*@fO J1U/.`Oy 制造
公差分析
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O `kl\K*R7 e2Pcm_Ahv* 变光栅周期
三维参数优化
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?zMHP#i %\#8{g 制造公差分析
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eKgBy8tNS0 -);Wfs VirtualLab Fusion 技术
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