摘要
vMX6Bg8 9^QYuf3O 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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U 'CfP9= f >)Tq' 设计任务
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1<W 4>~,wj :m* !?QGdL 关于光栅周期选择的考虑
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固定周期二维参数优化
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FJsK5- 二维参数优化——设计#1
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}B I~am_ Gur8.A;Y 二维参数优化——设计#2
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{D_++^ / h}P Eu3y 制造
公差分析
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;cv.f>Cm :3KO6/+ 变光栅周期
三维参数优化
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==%`e/~Y AMbKN2h1f VirtualLab Fusion 技术
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