摘要
>`u/#mrd /F7X"_(H
%E`=c]! F@u>5e^6 在
VirtualLab Fusion中,用户可以在
光学表面定义任意区域。
光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个
角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。
bx=9XZ9g v.Zr,Z=eV 建模任务
TC^fyxq f,QBj{M,
H=(Zx =>,X)+O 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“
mUjM5ceAXO ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。
xr).ZswQ ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。
V{yk =X}s^KbI{
示例
0rj50$~$] i+eDBg6
>XK |jPK ( t59SY 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。
GP;UuQz ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。
Xwt}WSdF`k ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。
ZIikDih1 ─ 我们还将在远离光栅的
探测器平面中显示
衍射阶数,以给出光栅方向。
d0 qc%.s 1]]#HTwX 关于z轴旋转的图示
'NDDj0Y JWo).
P1A5Qq X8212[7 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。
+N:=|u.g 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。
"=vH,_"Ql kli)6R< 指向(关于z轴旋转):0°
^P}c0}^ 1@{qPmf^
>}'WL($5U gzeTBlXg 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。
66%4p%#b4 iK3gw<g 指向(关于z轴旋转): 30°
U<jAZU[L qjI.Sr70
&n-)Alx ^F4h: 注意:方向角度的定义为:
gL}x|Q2` ─ 关于界面坐标轴。
#AUV&pI[ ─ 逆时针方向。
~5sH`w~vQ ]B>g~t5J 指向(关于z轴旋转): -90°
5;_&C=[ HlC[Nu^6U
$KMxq= KG9FR*" 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。
L+J) K6M_b?XekA 关于y轴旋转180°示例
vD'YLn%Q n06Jg+
6qH^&O][ odNHyJS0 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。
I4\
c+f9 Xw_6SR9C 关于y轴旋转180°(未选中)
)h,-zAnZ F
uJ=]T
Y4)v>&H cLyed3uU 注意:
wS}Rl}#Oh? 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。
bc(b1u? 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中:
NQ qq\h ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。
tX7TP( ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的
材料相反。
'e5,%"5(c v7@O ,% 关于y轴旋转180(选中)
Sxg&73;ZV %y_AT2A
PuoN<9 # 6 Z7J<0 注意:
vQhi2J' 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2.
TB(!*t m0_B[dw 例1和例2的附加信息
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fw+ VR.#2H