[求助]更换完修正板后材料参数异常 [复制链接]

请教哪位大佬知道，新科隆机台右枪更换完修正板后与模拟曲线有差异（实线是模拟曲线，虚线是实测曲线，H4镀了5000，伞差可以，就是与模拟不拟合，是修正板太宽的原因吗） <Dq7^,}#  
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图片:搜狗截图20231212181033.png

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请各位大佬赐教！

为啥要换修正板？换了离子源栅网？ t^5xq8w8  
感觉像是栅网的问题，离子源能量不够

路过看看了 =PAsyj  

ouyuu:为啥要换修正板？换了离子源栅网？ Jm[_X  
感觉像是栅网的问题，离子源能量不够 (2023-12-16 00:32)  -W.bOr  

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原修正板固定孔变大了，又重新做了一个，比原来的板稍微宽一点，没用离子源，镀的AR膜

材料折射率和软件的有差异

wflney:材料折射率和软件的有差异 (2023-12-19 14:28) q+{yv  

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是的，看结果应该是实际镀出来的曲线有问题，曲线谷值应该都在一条线上，但实际镀出来的不是在一条线上 cf%aOHYI*  

修正板宽会有影响的，相当于速率降了，折射率也会降

嘤击长空:修正板宽会有影响的，相当于速率降了，折射率也会降 (2023-12-21 13:37)  Awe'MGp%  

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请教大佬，怎样找到一个合适的板宽度

照理来讲只要是原板描的应该问题不大，稍微宽一点也没多大影响的。 vH@$?b3VP  
速率控制是水晶在控制，水晶不受修正板影响，所以修正板宽度只影响实际的膜厚， o3HS|  
（如果你TOOLING不改的话），不会影响膜的物理参数。 !L)yI#i4C  
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如果没有发生漏气之类的问题的话，我怀疑你修正板挡到水晶了。 i}@5<&J  
是不是修正板做的很长？

ouyuu:照理来讲只要是原板描的应该问题不大，稍微宽一点也没多大影响的。 Job&qW9W`  
速率控制是水晶在控制，水晶不受修正板影响，所以修正板宽度只影响实际的膜厚， `;&=m, W'  
（如果你TOOLING不改的话），不会影响膜的物理参数。
如果没有发生漏气之类的问题的话，我怀疑你修正板挡到水晶了。 I2C1mV  
....... (2023-12-22 09:36)  #M92=IH  

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受教，我们又试了一炉，用的两槽H4,其中一槽充氧异常，把参数改后，正常了，应该是这个原因，充氧异常