[求助]更换完修正板后材料参数异常 [复制链接]

请教哪位大佬知道，新科隆机台右枪更换完修正板后与模拟曲线有差异（实线是模拟曲线，虚线是实测曲线，H4镀了5000，伞差可以，就是与模拟不拟合，是修正板太宽的原因吗） BKe~y  
Ub
T7  

图片:搜狗截图20231212181033.png

]Ow A>fb  
n%? bMDS  
请各位大佬赐教！

为啥要换修正板？换了离子源栅网？ B$"CoLC7+  
感觉像是栅网的问题，离子源能量不够

路过看看了 )J#7:s]eo  

bilong:请教大佬，怎样找到一个合适的板宽度 (2023-12-21 17:58)  #)hc^gIO&<  

Kv3cKNvu~  
调好单层之后用膜系去试，用膜系判断不同材料的均匀性

度魔银:是不是充氧过大又吸收了 (2023-12-22 12:51)  Y|%s =0M  

#6w\r&R6  
应该是的，有一槽充氧有点大

是不是充氧过大又吸收了

bilong:受教，我们又试了一炉，用的两槽H4,其中一槽充氧异常，把参数改后，正常了，应该是这个原因，充氧异常 (2023-12-22 11:41)  S9cAw5E(yN  

|+-D@22y  
用手电在坩埚处打上去，没有遮挡晶控

ouyuu:照理来讲只要是原板描的应该问题不大，稍微宽一点也没多大影响的。 m-wK8]t9  
速率控制是水晶在控制，水晶不受修正板影响，所以修正板宽度只影响实际的膜厚， zJMm=Mw^  
（如果你TOOLING不改的话），不会影响膜的物理参数。
如果没有发生漏气之类的问题的话，我怀疑你修正板挡到水晶了。 "/#=8_f  
....... (2023-12-22 09:36)  A.8[FkiNmD  

$sfDtnRy  
受教，我们又试了一炉，用的两槽H4,其中一槽充氧异常，把参数改后，正常了，应该是这个原因，充氧异常

照理来讲只要是原板描的应该问题不大，稍微宽一点也没多大影响的。 E3~Wyfd7  
速率控制是水晶在控制，水晶不受修正板影响，所以修正板宽度只影响实际的膜厚， ==ZL0 ][  
（如果你TOOLING不改的话），不会影响膜的物理参数。 BYKONZu  
Y9w^F_relL  
如果没有发生漏气之类的问题的话，我怀疑你修正板挡到水晶了。 UG,<\k&  
是不是修正板做的很长？

嘤击长空:修正板宽会有影响的，相当于速率降了，折射率也会降 (2023-12-21 13:37)  DRy,n)U&  

e:T8={LU2W  
请教大佬，怎样找到一个合适的板宽度