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    [求助]更换完修正板后材料参数异常 [复制链接]

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    在线bilong
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-12-12
    此帖悬赏结束
    最佳答案:5 光币,最佳答案获得者:ouyuu
    请教哪位大佬知道,新科隆机台右枪更换完修正板后与模拟曲线有差异(实线是模拟曲线,虚线是实测曲线,H4镀了5000,伞差可以,就是与模拟不拟合,是修正板太宽的原因吗) bW3e*O$V  
    m {_\@'q  
    iIcO_ZyA  
    d|j3E  
    请各位大佬赐教!
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 13楼 发表于: 2023-12-16
    最佳答案奖励:+5 光币
    为啥要换修正板?换了离子源栅网? tE3!;  
    感觉像是栅网的问题,离子源能量不够
    在线谭健
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    只看该作者 12楼 发表于: 2023-12-17
    热心助人奖励:+1 光币
    路过看看了 %^2LTK(P  
    离线嘤击长空
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    只看该作者 11楼 发表于: 2024-02-29
    回 bilong 的帖子
    bilong:请教大佬,怎样找到一个合适的板宽度 (2023-12-21 17:58)  ]e$mTRi*  
    IX$dDwY|O>  
    调好单层之后用膜系去试,用膜系判断不同材料的均匀性
    在线bilong
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    只看该作者 10楼 发表于: 2023-12-22
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    度魔银:是不是充氧过大又吸收了 (2023-12-22 12:51)  _1Iy/T@1  
    \UA\0p  
    应该是的,有一槽充氧有点大
    离线度魔银
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    只看该作者 9楼 发表于: 2023-12-22
    是不是充氧过大又吸收了
    在线bilong
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    只看该作者 8楼 发表于: 2023-12-22
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    bilong:受教,我们又试了一炉,用的两槽H4,其中一槽充氧异常,把参数改后,正常了,应该是这个原因,充氧异常 (2023-12-22 11:41)  L hp  
    5(wmy-x\  
    用手电在坩埚处打上去,没有遮挡晶控
    在线bilong
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    只看该作者 7楼 发表于: 2023-12-22
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:照理来讲只要是原板描的应该问题不大,稍微宽一点也没多大影响的。 _<E.?K$gbU  
    速率控制是水晶在控制,水晶不受修正板影响,所以修正板宽度只影响实际的膜厚, {|d28!8w  
    (如果你TOOLING不改的话),不会影响膜的物理参数。
    如果没有发生漏气之类的问题的话,我怀疑你修正板挡到水晶了。 z!M #   
    ....... (2023-12-22 09:36)  <4LW.q  
    tk)J E^'  
    受教,我们又试了一炉,用的两槽H4,其中一槽充氧异常,把参数改后,正常了,应该是这个原因,充氧异常
    离线ouyuu
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    只看该作者 6楼 发表于: 2023-12-22
    照理来讲只要是原板描的应该问题不大,稍微宽一点也没多大影响的。 eB&.keO  
    速率控制是水晶在控制,水晶不受修正板影响,所以修正板宽度只影响实际的膜厚, zfD@/kU  
    (如果你TOOLING不改的话),不会影响膜的物理参数。 BTzBT%mP  
    ~.tl7wKkR/  
    如果没有发生漏气之类的问题的话,我怀疑你修正板挡到水晶了。 =F2`X#x_j  
    是不是修正板做的很长?
    1条评分光币+1
    flyinlove79 光币 +1 - 2024-03-04
    在线bilong
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    只看该作者 5楼 发表于: 2023-12-21
    回 嘤击长空 的帖子
    嘤击长空:修正板宽会有影响的,相当于速率降了,折射率也会降 (2023-12-21 13:37)  #K`0b$  
    ek.@ 0c  
    请教大佬,怎样找到一个合适的板宽度