[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 KRa
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 4 ThFC  
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任务 Z[. M>|  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 EG>?>K_D  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 92DM1~ *  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 OjUPvR2 0  
连接建模技术：衍射光束分束器 X 0y$xC|<  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 >7>I1  
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将传输函数转化为结构 IO+]^nY`  
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NHGTV$T`1  
衍射光束分束器表面 L|'^P3#7`  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM [C "\]LiX  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 p>B2bv+L  
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设计与评估结果： bHwEd%f  
• 相位函数设计 /v R>.'  
• 结构设计 0*$w(*  
• TEA 评估 c2npma]DZ  
• FMM 评估 Mkz_.;3  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） 5f-b>=02  
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仅相位传输设计 Y9+_MxC"  
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结构设计 =gB5JB<}2  
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使用TEA进行性能评估 jm^.E\_  
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使用FMM进行性能评估 &R94xh%@(  
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进一步的分析（优化后，容差分析） !/zRw-q3B  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 +hxG!o?O  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 ZaFt4#  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 *%j$i_  
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