摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
%w`d &V].,12 x 任务
c_J9CKqc • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
$O"ss>8Se • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
){^J8]b7# ++cS^ Lo R~vGaxZ$ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
*dl hRa 连接建模技术：衍射光束分束器
"+HJ/8Dd1 0SQ!lr 
h4Crq Yxa_ 通过配置助手和IFTA进行相位设计
&f*o rM: [Vd$FDki ,06Sm]4L, 将传输函数转化为结构
VYk:c`E $7x2TiAL E~!$&9\ 衍射光束分束器表面
E C#0-,z 8z=#
0+0 t {md&k4 衍射光束求解器 - TEA & FMM
f ,F X# _4 Ak'= l; XT7m3M 光栅级数 & 可编程光栅分析器
vFPY|V zh MIMC(< Ge^`f<f 设计与评估结果：
1I Xtu • 相位函数设计
%OQdUH4x • 结构设计
J EUU~L; • TEA 评估
|iM,bs • FMM 评估
H$![]Ujq • 高度缩放检查（用于优化/容限）
9&+]YY CS- sSM"~_y\ 仅相位传输设计
&:&'70Ya `fv5U% O1c%XwMn^ 结构设计
Ailq, c gZ @ +62 D|uvgu2 使用TEA进行性能评估
V_7\VKR vDjH $ U lY%I("2= 使用FMM进行性能评估
ddHl&+G I)rnF YWZ;@,W 进一步的分析（优化后，容差分析）
n0(Q / > 0^<<=m 
1@]&iZ ] 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
SNj-h>&Mha uwwR$
(\7 q BEp |V 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
w~ Tg?RH: QiK>]xJ' t"=5MaQk- 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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