摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
})!d4EcZf 4b=hFwr[? 任务
hO(8v&ns3 • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Hy5_iYP5 • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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vVw2HH ,X(P/x{B 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
-Bbg'=QZa 连接建模技术：衍射光束分束器
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Os^ sOOSY 通过配置助手和IFTA进行相位设计
: Q X~bq Nv "R'Pps `l@[8H% aw 将传输函数转化为结构
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xXSB7$ 衍射光束分束器表面
}uo5rB5D D5fJuT-bp *@ o@> 衍射光束求解器 - TEA & FMM
26JP<&%L R~8gw^w![ >JwdVy^ 光栅级数 & 可编程光栅分析器
~ ui/Qf2| C-d|;R}Ww _6" vPN 设计与评估结果：
~R/w~Kc!/A • 相位函数设计
3 Yf%M66t • 结构设计
T:o!H
Xdj^ • TEA 评估
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hNX$ t • FMM 评估
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.)}| • 高度缩放检查（用于优化/容限）
]#R'hL%f qJ|ByZ.N+ 仅相位传输设计
5x?eu n =Xze ).g &[,g `S0 结构设计
IF~i* L;/#D> U ( 6cz%>@ 使用TEA进行性能评估
-
{<`Z Onb*nm u\=gps/Z 使用FMM进行性能评估
_d6mf4M]5 FP<RoA? W ms'&.u&< 进一步的分析（优化后，容差分析）
{Uxa h ov : h4 
y _J~n 9R 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
#<f}.P.Uc -v?,{?$0 MV6 %~T 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
^@l_K +T rubqk4 XSt5s06TM 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
ya5a7 A[J9v{bD
