摘要
Z, ^`R] 9 26.),a ijEMS1$=7 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
U a\]]<hj" gHpA@ jdC* 任务
2a|9D \ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
thy)J.<J • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
{4J:t_<nKO M{cF14cQ 8 [\F*H 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
p2 V8{k 连接建模技术：衍射光束分束器
@iwVU]j <E/4/
ANN 
(KtuikJ32^ 通过配置助手和IFTA进行相位设计
NF8'O vik A
Fk=Sx<TX 将传输函数转化为结构
`2-6Qv a9]F.Jm sQUJ]h 衍射光束分束器表面
{9:[nqX $c"byQ[3S +a1 Or 衍射光束求解器 - TEA & FMM
6a6;]lsG g@0<`g <LL+\kfTZO 光栅级数 & 可编程光栅分析器
ko<u0SjF)u KmS$CFsGL f y9mS 设计与评估结果：
7[z^0?Pygf • 相位函数设计
0<tce • 结构设计
7QV@lR<C2R • TEA 评估
&CBW>*B • FMM 评估
(=&z:-52V • 高度缩放检查（用于优化/容限）
&U*MLf83` <L'!EcHm%] 仅相位传输设计
BNi6I\wa dpAj9CX( p G|-<6WY 结构设计
*rKj%Me QFe kj@ D)shWJRlvW 使用TEA进行性能评估
(<GBh Nj=c c{.y9P6 cft/;A u{ 使用FMM进行性能评估
D+4oV6}~ +"J2k9E + vf~s ^ 进一步的分析（优化后，容差分析）
kXW5bR Pgug!
wFbw3>'a9 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
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6C BjX*Gm6l 2/ o_,k 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
`L~gERW# 6&oaxAp<s \B/!}Tn; 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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