摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
HTvUt*U1 hv\Dz*XTs0 任务
x.] tGS • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
&%t&[Se_~ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
Nv6 "c<(L= MHye!T6fO\ ReA-. j_2@ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
ha 2=O 连接建模技术：衍射光束分束器
e6jA4 X+a 'V &Uh]> 
-%^'x&e 通过配置助手和IFTA进行相位设计
Z|ZB6gP>h1 S'hUh'P Z K,%CE
]. 将传输函数转化为结构
8]R{5RGy ^M; #x$Y? BfVh\ lkH 衍射光束分束器表面
Qh-:P`CN BHZhdm@), +"=ydF.9 衍射光束求解器 - TEA & FMM
HiH<'m"\. w&Gc#- B {>~9?Xwh 光栅级数 & 可编程光栅分析器
CgYX^h?Y9 k6RVP: V J.M&Vj: 设计与评估结果：
woBx609Aak • 相位函数设计
t4/ye>P & • 结构设计
mw;4/
/R • TEA 评估
T&b_*)=S • FMM 评估
K :~tZ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
=adHP|S (j?? 仅相位传输设计
(}.MB3`#C %d(= > C"_ Roir? 结构设计
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\5(b )7o? }"I 使用TEA进行性能评估
3 2%Fdz1S tpO '< b } *xjO/Ey 使用FMM进行性能评估
+`g&hO\W @7C.0>W_A !jSgpIp 进一步的分析（优化后，容差分析）
1# z@D ( zp<B,Ls 
ctLNzJes% 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
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yxI 0H_uxkB~ -GHd]7n 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
ih^FH>@ ,$> l[G;Bm Ro"'f7(v. 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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