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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 #\KSv Z  
    8 7P{vf#  
       ps=jGh[  
    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 8rwkux >  
    lb ol+O65  
    任务 sE@t$'=  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 tgK$}#.*  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 j@1cllJkh  
    q+f]E&':  
    n_\V G[f  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 R}njFQvS)  
    连接建模技术:衍射光束分束器 }VxbO8\b(  
       J/S 47J~  
    T`KH7y|bv  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 FVM:%S JjT  
    2-5AKm@K  
    P/snzm|@  
    将传输函数转化为结构 FJKW=1 =,  
    7|LJwXQ-  
    h1@|UxaE#  
    衍射光束分束器表面 9 X}F{!p~1  
    #mwV66'H  
    l0AgW_T  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM zJJ KLr;  
    |P7c {  
    {vYmK#}  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 #A<|&#hh  
    LW6&^S?4{  
    Y)^qF)v,d  
    设计与评估结果: CY;ML6c@  
    • 相位函数设计 rB|Mp!g%@  
    • 结构设计 {;0j9rr  
    • TEA 评估 Xr\|U89P  
    • FMM 评估 le*mr0a  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) \hN\px  
    U">J$M@  
    仅相位传输设计 RK?b/9y  
    54~`8f  
    ModwJ w  
    结构设计 N1$lG? )+  
    YVt#( jl  
    Q!K@  
    使用TEA进行性能评估 dA >=#/"  
    wuE]ju<  
    LX),oR  
    使用FMM进行性能评估 f1MKYM%^x  
    l'=H,8LfA  
    JwWW w1  
    进一步的分析(优化后,容差分析) *Wk y#  
    (7BG~T  
    }Kc[pp|9<  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 MMCac6;Aea  
    owL>w  
    ULc oti=,  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 jn vJ`7zFP  
    v#*9rNEj0  
    ] -"~?  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 W^; wr#  
    RM\it"g  
     
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