摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
. N~qpynY S!J.$Y<Ko 任务
H8 yc< • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Bm%. f!` • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
I\ V33Nd Mi'Q5m K]dqK' 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
wP3PI.g-g 连接建模技术：衍射光束分束器
Zrfp4SlZZ g3{)AX[Uy 
]*a)'k_@[ 通过配置助手和IFTA进行相位设计
2D-ogSIo N]cGJU>$ A?Jm59{w 将传输函数转化为结构
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oQ!} @CaN| 衍射光束分束器表面
6$w S7Cu R = HN>(U @t`| w.]ml 衍射光束求解器 - TEA & FMM
X?$Eb Lc^nNUzPo QQ@, v @j5 光栅级数 & 可编程光栅分析器
s<0yQ-=.?N js Tb0 #V-qS/ q" 设计与评估结果：
IDBhhv3ak • 相位函数设计
k 1 >%wR • 结构设计
|
(P%< • TEA 评估
ZTd_EY0 q • FMM 评估
q p|T,D% • 高度缩放检查（用于优化/容限）
;}K1c+m!5V ] d| -r:4 仅相位传输设计
`(aU_r= [a;lYsOsJ eG # (9 结构设计
Sw#Ez-X &nn!{S^ dv4)fG]W;_ 使用TEA进行性能评估
IC[SJVH; P>euUVMPz4 do*`-SDy 使用FMM进行性能评估
l> "gO9j eFXxkWR) 7|zt'.56[ 进一步的分析（优化后，容差分析）
_wM[U`H}s a[s%2>e 
Cd#*Wp )s 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
vJ GxD\h i#lvt#2J0 [gzU / : 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
f]$ g9H ?-<t-3%hyV @babgP, 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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