[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 :SSe0ZZ_6b  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 ^MUtmzh  
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任务 ,g{`M]Ov  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 B4GgR,P@S  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 zp"sM z]  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 L]kSj$A  
连接建模技术：衍射光束分束器 ,jbj-b(  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 vgHMVzxj  
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DBgW},  
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将传输函数转化为结构 UL(R/yc  
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F^&_O*"  
衍射光束分束器表面 d~O\zLQ;  
EdE,K1gD
 
MaXgy|yB1  
衍射光束求解器 - TEA & FMM ,#UaWq@7  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器  MI!C%  
p-y,OG  
5X nA.?F^  
设计与评估结果： tH2y:o72  
• 相位函数设计 6N:fq  
• 结构设计 -JaC~v(0  
• TEA 评估 QgC  
• FMM 评估 ; @-7'%(C  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） 8"LvkN/v^  
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仅相位传输设计 4rc4}Yu,JI  
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结构设计 i(2s"Uww,  
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O]~cv^  
使用TEA进行性能评估 w=s:eM@  
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使用FMM进行性能评估 siZw-.  
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进一步的分析（优化后，容差分析） Jp!Q2}  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 weU'3nNN  
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^9%G7J:vGO  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 R^<li;Km  
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=[FNZ:3  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 PzWhB* iBR  
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