摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
VP Lf( aDlp>p^E> 任务
nt.LiM/L • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
8K%N7RL| • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
)G[byBa =BJLj0=N { U4!sJSl1 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
UwN V vo 连接建模技术：衍射光束分束器
W4^L_p>Tm^ i'tMpS3 
3%WB?k c 通过配置助手和IFTA进行相位设计
LoF/45|-< rd <m:r (vXr2Z<l 将传输函数转化为结构
EF/d7 UG| /Px ] %6K7uvTq 衍射光束分束器表面
,'L>:pF3 q0sf\|'<} P.~UU S 衍射光束求解器 - TEA & FMM
6BE,L
)p& g!qA '
jciX]g 光栅级数 & 可编程光栅分析器
_nGx[1G( 5 F72#vS
j ChBf:`e 设计与评估结果：
}F08o, `? • 相位函数设计
7iB!Uuc • 结构设计
?hoOSur+ • TEA 评估
[8V; Q • FMM 评估
Cq5.g kS< • 高度缩放检查（用于优化/容限）
ULx :2jz 'n mGHorp 仅相位传输设计
0uy'Py@2< !$I~3_c ns [/M~_r 结构设计
B-I4(w($ _"DC ) '|yx B') 使用TEA进行性能评估
Bfb~<rs[ $QbJT`,mr bpu`'Vx 使用FMM进行性能评估
d3%qYL_+a %-hSa~20 kBUkE- ~ 进一步的分析（优化后，容差分析）
A|biOz f \&X$g 
UB~K/r`.| 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
eqtZU\GI> J+D|/^ $q! A1Fgk0 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
e=]SIR()` HG"ZN)~ ]2zM ~ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
A;cA|`b '1u?-2
