摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
=eB^( !M xUw)mUn@N 任务
O"c@x:i • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
g"P!KPrf1p • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
V9 SkB3-' zF-M9f$_PY Q!&@aKl 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
K3xs=q]:@ 连接建模技术：衍射光束分束器
M<KWx'uV P+/6-C J 
6+Bccqn| 通过配置助手和IFTA进行相位设计
s${|A = +o*& JoC w<54mGMOLr 将传输函数转化为结构
S @WzvM YS|Ve*t(L= ZR"BxE0_k 衍射光束分束器表面
ML= :&M!ao oD vE0"Sz NR@n% p 衍射光束求解器 - TEA & FMM
"^3pP(8;~ 6t0-u~ + NpH k 光栅级数 & 可编程光栅分析器
^|+;~3<J )K"7= TvY Dg_ AoC 设计与评估结果：
b+DBz }L4 • 相位函数设计
}@'Zt6+tS • 结构设计
I" Gr <?r • TEA 评估
/"LcW"2;N • FMM 评估
k5X& |L/ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
D) my@W0, { :~&#D 仅相位传输设计
5[\LQtM Co%EJb"tk s<; kTReA 结构设计
N*CcJp{Q #y4+O;{ gWZzOH* 使用TEA进行性能评估
M6mJ'Q482 < `/22S" X$4MpXx 使用FMM进行性能评估
7yDWc m_y c&rS7% hD sSOpj 进一步的分析（优化后，容差分析）
LaolA qU w]ZE('3%W 
t R(Nko 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
u+
?Wm40E FWJhi$\:D] ^o@N.+`&< 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
4{Q{>S*h |_ u )rce%j7 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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