摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
^kn ^CI6 OJP5k/U$ 任务
46bl>yk9< • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
7v_i>_m] • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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9m 3 D XV@DQ N0 Efw$u 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
VEj$^bpp5s 连接建模技术：衍射光束分束器
?;|@T ty% +Edzjf~Tt 
+T0 op4 通过配置助手和IFTA进行相位设计
ba uA}3 j8GY`f# Kt
W6AZJ 将传输函数转化为结构
MpO R G d 1 -ZJT i:o}!RZ> 衍射光束分束器表面
Al7<s $. % L I-b_h5 ZD6 衍射光束求解器 - TEA & FMM
'K@-Z] Hm %g_Mt HA6G )x 光栅级数 & 可编程光栅分析器
K RYcCn &E
bI Op ~U6" ? 设计与评估结果：
CjZZm^O • 相位函数设计
n*Q`g@` • 结构设计
P|e`^Frxt • TEA 评估
bGv* -;* • FMM 评估
o=pt_ !i/ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
?c!:81+\ gH %y 仅相位传输设计
q-3]jHChh /XcDYMKgh A\K,_&x1Z 结构设计
[oV{8 3f Q1Ux!$_ g Q37> 使用TEA进行性能评估
0n3D~Xzd '>@4(=I
(}Sr08m 使用FMM进行性能评估
6*u,c^a N{8" s& 4q hWm"&CM 进一步的分析（优化后，容差分析）
_\.{6" " V!4a*,Pz 
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|#t 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
AoYaVlKG8 !@G)$g=< 7J Ub Va% 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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