摘要
U_c9T> = >sE{c>R% fNaS?tV) 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
ul3._Q T#sKld 任务
/7<l`RSr • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
'Sjcm@ILm • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
Cy##+u,C pVm'XP /\M3O 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
9y"*H2$# 连接建模技术:衍射光束分束器
"S@%d(lg Li_ a|dI
kC)ye"r 通过配置助手和IFTA进行相位设计
:X;'37o#q ,.<l^sj5 ,;yiV<AD 将传输函数转化为结构
E7qk>~Dg cUz7F f#UT~/~bL2 衍射光束分束器表面
jDO[u!J6.% k:0HsN!F9 n-n{+Dl! 衍射光束求解器 - TEA & FMM
Ju#t^P $k|k 5cP8x 7Z/KXc[b 光栅级数 & 可编程光栅分析器
>;.'$- H`;q@ Jtxwt[ 设计与评估结果:
QvH=<$ • 相位函数设计
fWywegh • 结构设计
"?GA}e"R • TEA 评估
zviEk/:zm • FMM 评估
D"m]`H • 高度缩放检查(用于优化/容限)
BV X6 +Q3i&"QB. 仅相位传输设计
h$EH|9HAb |A#pG^ @exeHcW61 结构设计
pAo5c4y!4 /MB3w m x_vaYUl) 使用TEA进行性能评估
-Fe))Y'= I=)u:l c Re{vO&. 使用FMM进行性能评估
`r:n[N=Y& CD'.bFO^+T =r=YV-D. 进一步的分析(优化后,容差分析)
f\}fUg2 c-L1 Bkw
)Fh+6 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
V(|@6ww B'OUT2cgB Pwn3/+"%K 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
mjDaus59 xn'&TQo0 b Z0mK$B 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
RG9YA&1ce VL5GX(