[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 vU,V[1^a  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 TdU'L:<4l  
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任务 n1!}d%:  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 "|Ke/0rGB  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 "L0Q"t:
 
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 $+k|\+iJ  
连接建模技术：衍射光束分束器 vh$If0  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 l`bl^~xRo  
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将传输函数转化为结构 HUFm@?  
0$qK: z
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衍射光束分束器表面 -k?K|w*X  
SHc?C&^S  
lt{Df~c  
衍射光束求解器 - TEA & FMM )krBjF.$  
XtZeT~/7RT  
q)l1tC72  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 *|9
:  
hS 9^Bi  
MpVZL29)  
设计与评估结果： %p(X*mVX  
• 相位函数设计 */APe#  
• 结构设计 uv&4 A,h  
• TEA 评估 SIZ&0V  
• FMM 评估 4Uk\hgT0  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） kt#t-N;}x  
HEk{!Y  
仅相位传输设计 R0#'t+7^  

]IclA6  
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结构设计 y&W3CW\:  
+gyGA/5:d$  
=E$B0^_2RC  
使用TEA进行性能评估 2M>`W5  
*=}\cw\A  
@iU(4eX  
使用FMM进行性能评估 C"0vMUZ  
RhWW61!"  
/,yRn31[  
进一步的分析（优化后，容差分析） c :2w(BVi  

Lng@'Yr  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 C)mR~Ey  
`< 82"cAT{  
sE])EwZ  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 O'{g{  
d}2(G2z^  
^&lkh@Y1q  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 6IJH%qUx'  
z?t75#u9.