摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
+>:}req IO!1|JMr6 任务
+ :]Aqyc\ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Dyk[u g5 • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
wz* A <iU }\ 93 9Y hH c^ZA 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
8yWu{'G 连接建模技术：衍射光束分束器
TG63 uH&,%k9GVK 
Z0ncN]) 通过配置助手和IFTA进行相位设计
QI#*5zm Z&]+A, %g0z) J 将传输函数转化为结构
:#\B {)( qHR^0& ~1=.?Ho 衍射光束分束器表面
% O&m#)| U +*oI * H ZDaV&)@ 衍射光束求解器 - TEA & FMM
}(+=/$ C"# = (.mf K=c=/`E 光栅级数 & 可编程光栅分析器
d{2 y/ YBtq0c DrCWvpudd 设计与评估结果：
{ \svV
0)~ • 相位函数设计
c}IX" • 结构设计
GS GyF • TEA 评估
\,l.p_< • FMM 评估
[ZKtbPHb • 高度缩放检查（用于优化/容限）
K_AtU/ ^Y {6;FJ 仅相位传输设计
h0F0d^W. T/GgF&i3 `J>E9p< 结构设计
s% N` {=bg5I0|a jr, &=C( 使用TEA进行性能评估
{d 1N& 3?.1~ "-J X,WQ'|rC 使用FMM进行性能评估
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C#U< k0R 进一步的分析（优化后，容差分析）
5 \akI\ FJsK5- 
W;Ud<7<;Z 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
YN,y0t/cQ 0" U5oP[ i?GfY
C2q 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
oLrkOn/aY yhcNE8mkQ/ :DtZ8$I`]C 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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