摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
8rwkux > lb ol+O65 任务
sE@t$'= • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
tgK$}#.* • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
j@1cllJkh q+f]E&': n_\VG[f 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
R}njFQvS) 连接建模技术:衍射光束分束器
}VxbO8\b( J/S 47J~
T`KH7y|bv 通过配置助手和IFTA进行相位设计
FVM:%S
JjT 2-5AKm@K P/snzm|@ 将传输函数转化为结构
FJKW=1=, 7|LJwXQ- h1@|UxaE# 衍射光束分束器表面
9 X}F{!p~1 #mwV66'H l0AgW_T 衍射光束求解器 - TEA & FMM
zJJ
KLr; |P7c { {vYmK#} 光栅级数 & 可编程光栅分析器
#A<|hh LW6&^S?4{ Y)^qF)v,d 设计与评估结果:
CY;ML6c@ • 相位函数设计
rB|Mp!g%@ • 结构设计
{;0j9rr • TEA 评估
Xr\|U89P • FMM 评估
le*mr0a • 高度缩放检查(用于优化/容限)
\hN\px U">J$M@ 仅相位传输设计
RK?b/9y 54~`8f ModwJ
w 结构设计
N1$lG?
)+ YVt#( jl Q!K@ 使用TEA进行性能评估
dA>=#/" wuE] ju< LX),oR 使用FMM进行性能评估
f1MKYM%^x l'=H,8LfA JwWW w1 进一步的分析(优化后,容差分析)
*Wk y# (7BG~T
}Kc[pp|9< 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
MMCac6;Aea owL>w ULc oti=, 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
jn vJ`7zFP v#*9rNEj0 ]-"~? 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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