摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
n& -496H /.V0ag'G 任务
8cm@a*2% • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
]M,06P>? • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
?m RE '# 59rY[&| \k .vN@K# 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
ad n|N 连接建模技术：衍射光束分束器
>O]s&34 z, *:x4}F 
uD>z@J-v 通过配置助手和IFTA进行相位设计
beZ(o ?uK oP,9#FC|( zPZF|%| 将传输函数转化为结构
0y %L-:/c| 8Ni mZ( Xt,X_o2m|] 衍射光束分束器表面
?RD *1 (paf2F`~# V!|e#}1 / 衍射光束求解器 - TEA & FMM
0,FC
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8m;>R _zC (J 光栅级数 & 可编程光栅分析器
s&*yk p ~%y\@x7I `1p 8C% 设计与评估结果：
Eych R/ s • 相位函数设计
.
%(^mK)zQ • 结构设计
2HOe__Ns • TEA 评估
cfoY nM • FMM 评估
}++5_Z_ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
[{F%LRCo- 6Dm+ 'y]l 仅相位传输设计
l+
T, 2sd {^&@g kYY ]TK=>;& 结构设计
)&Z>@S^ T!(
4QRh[ Q5E:|)G 使用TEA进行性能评估
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<** UR>_)* V
4qtaHf 使用FMM进行性能评估
mf*Nr0L;J L :U4N* ] XrE 进一步的分析（优化后，容差分析）
P"4M m,
C ;9rTE|n 
*q" G } 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
!Q[}s #g tSw>@F M #)i&DJ^Y 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
)|T`17- \j:gr>4 +G!v!(Ob+ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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