摘要
BW+qp3 k\ X9p+a, 3`mC"ab / 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
i%#th'C!P E
`?S!*jm 任务
39'X$! • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
ADuZ}] • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
bEBZ!ghU ?*B;514 l6r%nHP@ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
H&"_} 连接建模技术:衍射光束分束器
:7zI3Ml@7 9aW8wYL~b
(!^N~ =e; 通过配置助手和IFTA进行相位设计
0Og/47dO.2 S(q4OQB{ C.DoXE7 将传输函数转化为结构
G <} 7vF 7lnM|nD C.B8 J"T- 衍射光束分束器表面
rd f85%%7 Y9lbf_51 K6PC&+x 衍射光束求解器 - TEA & FMM
X.r!q1_c [U+<uZzOC l,~ N~? 光栅级数 & 可编程光栅分析器
4cv|ok8P E!O(:/* $)WH^Ir~ 设计与评估结果:
\Ho#[k=y*/ • 相位函数设计
*o2_EqXL* • 结构设计
l.Lc]ZpB • TEA 评估
[{Klv&>_/ • FMM 评估
*1;L,*J"| • 高度缩放检查(用于优化/容限)
t}* qs {BwN4r46 仅相位传输设计
:W1tIB 07E".T%Ts d,E/9y\e 结构设计
@b(gjOE $;g%S0:3) xf3/<x!B 使用TEA进行性能评估
\ &|w; DrYoC7 T<_1|eH 使用FMM进行性能评估
z8rh*Rfxd
=z7Ay 1QdB`8in 进一步的分析(优化后,容差分析)
9dhFQWz" 3hpz.ISk
[&k& $04_ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
R;I-IZS: aABE= 9Y ~O3uje_ 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
6T
aT_29 d%|#m) ;Z<*.f'^fc 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
rD)v%vvr&` mf_9O