摘要
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`^x 9(i/NE a $}NW. 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
g8RPHj vZ h48YDWwy 任务
\%Tyr Y+`K • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
ya.n'X14 • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
d*2u}1Jo8 V#L'7">VP Lc|{aN 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
5rloK " 连接建模技术：衍射光束分束器
0elxA8Z~e P\ AqpQv 
&<Zdyf?[Ou 通过配置助手和IFTA进行相位设计
_w>uI57U p?JQ[K7i dw9T f ^V 将传输函数转化为结构
<bP#H doR4nRl9 !zR)D|w& 衍射光束分束器表面
-uj3'g (;w
DkdL#sV \J3 /keL 衍射光束求解器 - TEA & FMM
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光栅级数 & 可编程光栅分析器
Us=eq "eu kAo.C Nj7 JNi=` X&A 设计与评估结果：
RgZOt[!. • 相位函数设计
^_W40/c3 • 结构设计
i%F<AY\O) • TEA 评估
R/~ ,i;d> • FMM 评估
:$ %>4+l • 高度缩放检查（用于优化/容限）
)R &,'`\ e <"/'Ql!k 仅相位传输设计
t, HFz6 <cj{Qk jn =:G+0 结构设计
'3Q3lM'lh cG_Vc [ #]Y*0Wzpfn 使用TEA进行性能评估
snC/H G 7 i\ Wdo/c-H "@yyXS
r 使用FMM进行性能评估
24B<[lSK h/m6)m.D `]<`$71w 进一步的分析（优化后，容差分析）
B<,YPS8w FFvCi@oT 
[Y/:@t "2y 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
T1bd:mC}n g7n " x?sI;kUw8 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
!20X sO q-_' W, n >FY? 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
bRsTBp;R`I "#4dW 7E
