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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 U_c9T>=  
    >sE{c>R%  
       fNaS?tV)  
    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 ul3._Q   
    T#sKld  
    任务 /7<l`RSr  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 'Sjcm@ILm  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 Cy##+u,C  
    pVm'XP  
    /\M3O  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 9y"*H2$#  
    连接建模技术:衍射光束分束器 "S@%d(lg  
       Li_ a|dI  
    kC)ye"r  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 :X;' 37o#q  
    ,.<l^sj5  
    ,;yiV<AD  
    将传输函数转化为结构 E7qk>~Dg  
     cUz7F  
    f#UT~/~bL2  
    衍射光束分束器表面 jDO[u!J6.%  
    k:0HsN!F9  
    n-n{+ Dl!  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM  Ju#t^P  
    $k|k5cP8x  
    7Z/KXc[b  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 >;.'$-  
    H`;q@  
    Jtxwt[  
    设计与评估结果: QvH=<$  
    • 相位函数设计 fWywegh  
    • 结构设计 "?GA}e"R  
    • TEA 评估 zviEk/:zm  
    • FMM 评估 D"m]`H  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) BVX6  
    +Q3i&"QB.  
    仅相位传输设计 h$EH|9HAb  
    |A#pG^  
    @exeHcW61  
    结构设计 pAo5c4y!4  
    /MB3w m  
    x_vaYUl)  
    使用TEA进行性能评估 -Fe) )Y'=  
    I=)u:l c  
    Re{vO&.  
    使用FMM进行性能评估 `r:n[N=Y&  
    CD'.bFO^+T  
    =r=YV-D.  
    进一步的分析(优化后,容差分析) f\}fUg 2  
    c-L1 Bkw  
    )Fh+6  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 V(|@6ww  
    B'OUT2cgB  
    Pwn3/+"%K  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 mjDaus59  
    xn'&TQo0  
    bZ0mK$B  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 RG9YA&1ce  
    VL5GX (  
     
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