摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
RmcYa j^= nrxjN(9V%+ 任务
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Nkp • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
z:d Xc • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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q 'hxs((['\ plzE 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
6 lB{Ao?| 连接建模技术：衍射光束分束器
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!O 0ZD4/{4 通过配置助手和IFTA进行相位设计
*5ka.=Q s Yt\E/*% gubb .EY 将传输函数转化为结构
[d!Af4 17MN8SfQ H l4vLx@ 衍射光束分束器表面
=RCfibT!C {[(W4NAlH -jcrXskb&N 衍射光束求解器 - TEA & FMM
%8bF QNd 2c*VHIl; ex;Y n {4 光栅级数 & 可编程光栅分析器
LbtlcpF*~5 FvtM~[Q BP7<^`i& 设计与评估结果：
[A.eVuV;+ • 相位函数设计
[4V|UvK z • 结构设计
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9vX$Hj • TEA 评估
g/n"N>L • FMM 评估
4nVO.Ud0$X • 高度缩放检查（用于优化/容限）
;&7qw69k <uWJ>sg^ 6 仅相位传输设计
,=XS%g}l4 _z VbqRHlw 9fr&Yb=_o@ 结构设计
g:@Cg.q8 7+A -7ci S% a}ip & 使用TEA进行性能评估
{<Xo,U7 y -Y !=Iw
4 5jj5 7j" 使用FMM进行性能评估
p!rG PyGC ^YB\\a9 Vt$ $ceu 进一步的分析（优化后，容差分析）
q(${jz4w [8om9 Z3 
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶
$)i"[ 6P/9Vh j' v~W6yjp 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
fu7[8R" { S quqaX+<
:jN;l 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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# 8-P
