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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 pcy<2UV  
    Zk=*7?!!  
       X(k{-|9]  
    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 ^kn ^CI6  
    OJP5k/U$  
    任务 46bl>yk9<  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 7v_i>_m]  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 D<U 9m3  
    D XV@DQ  
    N0Efw$u  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 VEj$^bpp5s  
    连接建模技术:衍射光束分束器 ?;|@T ty%  
       +Edzjf~Tt  
    +T0op4  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 ba uA}3  
    j8GY`f#  
    Kt W6AZJ  
    将传输函数转化为结构 MpO RGd  
    1 -ZJT  
    i:o}!RZ>  
    衍射光束分束器表面 Al7<s  
    $. %L  
    I-b_h5ZD6  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM 'K@-Z]  
    Hm%g_Mt  
    HA6G)x  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 KRYcCn  
    &E bI Op  
    ~U6" ?  
    设计与评估结果: CjZZm^O  
    • 相位函数设计 n*Q`g@`  
    • 结构设计 P|e`^Frxt  
    • TEA 评估 bGv* -;*  
    • FMM 评估 o=pt_!i/  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) ?c!:81+\  
     gH %y  
    仅相位传输设计 q-3]jHChh  
    /XcDYMKgh  
    A\K,_&x1Z  
    结构设计 [oV{83f  
    Q1Ux!$_  
    gQ37>  
    使用TEA进行性能评估 0n3D~Xzd  
    '>@4(=I  
    (}Sr08m  
    使用FMM进行性能评估 6*u,c^a  
    N{8"s&  
    4qhWm"&CM  
    进一步的分析(优化后,容差分析) _\.{6""  
    V!4a*,Pz  
    hd B |#t  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 AoYaVlKG8  
    !@G)$g=<  
    7J UbVa%  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 < f(?T`  
    ak;6z]f8[  
    62[8xn=(%  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 y4@gGC=  
    8eluO ?p  
     
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