摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
'5|h)Q5 #Q`dku%V: 任务
O|M{-) • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
SrK) t.oK • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
iB& 4>+N+ vsl]92xI 9^G/8<^^> 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
u!W0P6 连接建模技术：衍射光束分束器
{ >)#HD !_cg\K U# LpqO{#ZG
通过配置助手和IFTA进行相位设计
lH6OcD:kj %Va!\# 7w6cwHrL@ 将传输函数转化为结构
L|}lccpI L=sYLC6d 0p!>JQ]m 衍射光束分束器表面
f__cn^1 pv Gf\pu T
r1?620 衍射光束求解器 - TEA & FMM
,^ . 88< ZG Ku>yM W|g4z7Pb 光栅级数 & 可编程光栅分析器
RpD=]y!5_ mh{1*T$fP J.xPv)1' 设计与评估结果：
428>BQA • 相位函数设计
gh8F 2V;< • 结构设计
cLsV`@J(k • TEA 评估
M 4?ig}kh • FMM 评估
+w{*Xk) 4 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
ZWKg9 %y7 W1|0Yd ;P 仅相位传输设计
Dw<bn<e- I
,z3xU ne_TIwf w- 结构设计
9E"vN qfMo7e@6* G#u6Am)T 使用TEA进行性能评估
+>{Y.`a;Jo h1 B16) A N/;)wc 使用FMM进行性能评估
c_' OPJ D)m5 q$B>|y U 进一步的分析（优化后，容差分析）
uYs5f.! ` =pS5uR~ )\J+Kiy)
进一步优化 - 调整设计#1的零阶
\1fN0e iiS-9>]/ }:KEj_~. 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
q #,f 4P H?&Mbw
d AK*LyR? 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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