[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 >NL4&MV:  
W!@*3U]2R  
   }@R*U0*E  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Qq,
w6ekr  
-u!{8S~wA  
任务 F#<$yUf%  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 >M~wFs$~  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 ",9QqgY+  
d~ m,hCTe  
G a1B&@T  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 -SF*DZ  
连接建模技术：衍射光束分束器 |2ttdc.  
   9^D5
Sl$g  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 [PRQa[_  
$7\!  
h_xHQf&#  
将传输函数转化为结构 ;|a,1#x  
Imv]V6"D=  
d z-  
衍射光束分束器表面 J
~"h&>T  
-D?-ctFYj^  
b~5Q|3P9  
衍射光束求解器 - TEA & FMM W.|r=   
,p3moD 3  
7QnQ=gu  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 @U)k~z2Hk  
=x QLf4>  
v&#=1Zb  
设计与评估结果： h3udS{9'8  
• 相位函数设计 r=S6yq}  
• 结构设计 Pl9Ky(Q`V  
• TEA 评估 ]
C
L9N  
• FMM 评估 AhNy+p{  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） 0P%,1M3d  
VK~ OL  
仅相位传输设计 `3QAXDWE  
S1`;2mAf*  
sy s6 V?  
结构设计 qad`muAd  
gPA), NrN  
-weCdTY`X  
使用TEA进行性能评估 4/Wqeq,E8  
/ }tMb  
;FI"N@z  
使用FMM进行性能评估 .=u8`,sO  
HAHLF
+k  
r\x"nS  
进一步的分析（优化后，容差分析） 3u tJlD  
|+|q`SwJ  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 cc %m0p  
gTby%6-\|  
|oL}c!0vs  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 3EHn}#+U  
jI
OrB}  
Z}E.s@w  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 T`?{Is['(  
 oRbG6Vv/