摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
YU!s;h jSRi 任务
5uOz #hN • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
0 \s&;@xKk • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
-M _>]ubG F2ISg' #!%zf{(C+ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
k#7A@ Vb 连接建模技术：衍射光束分束器
SU6Aq?`@ 1L!jI2~x} 
zSu,S4m_; 通过配置助手和IFTA进行相位设计
? STO#<a ~jmI`X/ Mn<s9ITS- 将传输函数转化为结构
}T AG7U* tmM; Z(9t jA[")RVG 衍射光束分束器表面
Zm7, O8 g5u4|+70 lC ,~_Yb 衍射光束求解器 - TEA & FMM
45$aq~%as %+<1X?;,Fq '
I !/I 光栅级数 & 可编程光栅分析器
eT ]*c?" ^tI&5S]nE UO!} 0' 设计与评估结果：
@A(jo 32 • 相位函数设计
zK{ } • 结构设计
o;#8=q • TEA 评估
uJeJ=7,EO • FMM 评估
zjSl; ru • 高度缩放检查（用于优化/容限）
-5|el3%) Q<ia 仅相位传输设计
U@{> +G[ @LDs$"f9= ; Ru[^p.{ 结构设计
m/(/!MVy hY !>> Jn IG;/ 使用TEA进行性能评估
:XPat9 3w V@TA~'$| Y6d~hL C 使用FMM进行性能评估
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&{N| C3~~h|: G ;ZN>8NB 进一步的分析（优化后，容差分析）
2 tCw{Om* rc~)%M<[2 
-1`}|t; 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
51H6
W/$ ^tWSu?9 TXS`ey 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
ZM <UiN }d iE' pGy k61 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
bFlI:R&< ,:MUf]Ky
