摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
U*[/F)! >qAQNX 任务
8Qek![3^ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
NqlG= pu • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
sh E>gTe ix*n<lCoC >`8i=ZpCOS 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
Dgp"RUP 连接建模技术:衍射光束分束器
W}a&L C+*: lLY
Fag%#jxI 通过配置助手和IFTA进行相位设计
h ej l*b3Mg
PgxD?Oi8 将传输函数转化为结构
V= !!;KR0 (A/V(.! rFdq \BSi 衍射光束分束器表面
N1+%[Uh9) L%U-MOS= W@JmG`Sy 衍射光束求解器 - TEA & FMM
SWPr5h *|a_(bQ4@ V!a\:%#^Y 光栅级数 & 可编程光栅分析器
\ C~Y 28>gAz.# &0*j nb 设计与评估结果:
_Cj u C`7 • 相位函数设计
uiP fAPZ • 结构设计
w=e~
M • TEA 评估
u-f_,],p • FMM 评估
M(0:>G • 高度缩放检查(用于优化/容限)
}{ J<Wzw Ky|d RbK, 仅相位传输设计
q 6%jCt2' /{."*jK gp$oQh#37; 结构设计
27<~m=`}d [x
kbzJ W}50E.\# 使用TEA进行性能评估
;*{y!pgb =EA*h_"q9 XkDjA#nx` 使用FMM进行性能评估
C{`+h163\ `b=?z%LuT ps\A\aggML 进一步的分析(优化后,容差分析)
m}54yo !_3Rd S
:aS8%m 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
w+)MrB-} 9%^q?S/Rv $b,o3eC 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
rvgArFf}] $p#)xx7 ?W:YS82 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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