摘要
U}c[oA h6!o,qw" @J[l^o9 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
[+=h[DC *`}4]OGv. 任务
: +1S+w • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Ek!$Ary • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
NW}kvZ ' O#,;n ` ,B&oV> 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
$EH nlaG8r 连接建模技术：衍射光束分束器
UOWOOdWS B bLx70$ 
.Yxx
通过配置助手和IFTA进行相位设计
{H$F!}a l)PEg PSRV kN X(@f 将传输函数转化为结构
=4RBHe 8` B3
mD0 mp_(ke 衍射光束分束器表面
~YxLDo'. t _IAvFJI M2[ywab 衍射光束求解器 - TEA & FMM
<{ C oM Z%*_kk D`r^2(WW 光栅级数 & 可编程光栅分析器
oR.KtS$uh AHws5#;$6* I,{9vew 设计与评估结果：
NT~L=x sY • 相位函数设计
F, ^< • 结构设计
9 R XT • TEA 评估
AT^?PD_ • FMM 评估
DzLm~
aF • 高度缩放检查（用于优化/容限）
7y",%WYSD 'bP-p gc 仅相位传输设计
`sZ /'R6 >w:px$g4 jWb;Xk4 结构设计
!<"H73?fl ArBgg[i YoD1\ a| 使用TEA进行性能评估
D7%`hU W,zlR5+Jk >6X GF(G
使用FMM进行性能评估
+p =n- A"S{W^iL Sqw .p# 进一步的分析（优化后，容差分析）
UzVnC: clz6; P 
~4th;#' 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
B7qm;(?X& rj"oz" H*_:IfI! 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
w K@k}d XW6>;:4k .bbl-a/
3 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
wU_e/+0h H"4^
