[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 hz@bW2S.  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 S.NPZ39}ZE  

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任务 /82b S|  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 +cN8Y}V  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 )+DmOsH  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 UP,c|  
连接建模技术：衍射光束分束器 DB}eA N/  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 U>N1Od4vTO  
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将传输函数转化为结构 6j}9V L77  
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衍射光束分束器表面 ( a#BV}=  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM ^ [@,  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 ZJiG!+-j  
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设计与评估结果： Cw&KVw*  
• 相位函数设计 pEA:L$&  
• 结构设计 )Pv%#P-<  
• TEA 评估 0</);g}  
• FMM 评估 Y.p;1"  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） $IpccZpA  
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仅相位传输设计 sFRQe]zCcP  
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结构设计 cw <l{A  
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使用TEA进行性能评估 tQ#n${a@f  
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使用FMM进行性能评估 rYk0 ak  
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进一步的分析（优化后，容差分析） =Dj#gV  
4CTi]E=H{  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 VUuE T  
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w,D+j74e$  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 Zv{'MIv&v  
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P.DK0VgY  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ;$Jo+#  
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