摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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9Z.X!h 任务
G6zFCgFJ^y • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
mmXLGLMd • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
C61KY7iyR BEM+FG icF - `m 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
T[=XGAJ 连接建模技术：衍射光束分束器
DU7kZ J ,fXXi)J 
<ZJ>jZV0* 通过配置助手和IFTA进行相位设计
Osb"$8im
1;ulqO t%Z_*mIfmE 将传输函数转化为结构
eb:mp/ 4];Qpln i\B >J?Q\ 衍射光束分束器表面
4yC{BRbi HLAYmXX"w jow^~ 衍射光束求解器 - TEA & FMM
fp9ksxb@m ~Xnq(}?ok P _t8=d 光栅级数 & 可编程光栅分析器
J%xp1/= 2 9 il!w
g? U<eVLfSij 设计与评估结果：
hX=+%^c%_A • 相位函数设计
O#7 fkL • 结构设计
K +H?,I • TEA 评估
?M7nbfy[A@ • FMM 评估
eF"7[_+D • 高度缩放检查（用于优化/容限）
kT UQ8U (@M=W.M# 仅相位传输设计
+= MO6}5T "G| Gyc y]?%2ud/ = 结构设计
?4q6>ipx V/|Ln*rm p&_a kQj 使用TEA进行性能评估
S 'Q$N-Dy tF&%7(EU3 9XS+W
w7 使用FMM进行性能评估
iTbmD AUoi$DF(@ kOR%<#:J 进一步的分析（优化后，容差分析）
ms
;RJT2O' Q%QpG)E 
G`mC=*M a; 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
nH % / h&yaug,. TDY }oGmNn 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
e7/J:n$ 1WcT>_$ 3 %dbfT j 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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