摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
E_rI ?t^ @mCEHI{P 任务
q1x`Bj • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
(MM]N=Tw4 • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
h,:m~0gmj B`)BZ,#p Pm6p v;WK 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
NWESP U):w 连接建模技术：衍射光束分束器
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I9A~Ye
5O& 通过配置助手和IFTA进行相位设计
n` _{9R 5Pc;5
o0C mthA4sz 将传输函数转化为结构
g{)dP!} :LQYo '@yB K!% +0)A 衍射光束分束器表面
gx/,)> E. U+jOTq8 M `,(4]t lL 衍射光束求解器 - TEA & FMM
J[|y:N x;.Jw 6g d'gfQlDny 光栅级数 & 可编程光栅分析器
HVCe;eI C[AqFo "S]0 设计与评估结果：
EWhK0Vej= • 相位函数设计
HyQJXw?A: • 结构设计
e2Pcm_Ahv* • TEA 评估
NR6#g,+7 • FMM 评估
C==hox7b • 高度缩放检查（用于优化/容限）
cl3K<'D Qy<P463A(l 仅相位传输设计
?zMHP#i 7aRi 5 _.Nbt(mz 结构设计
ys^oG$lq Y] _ruDIW gs[uD5oo < 使用TEA进行性能评估
k"%~" 9 ~Ffo-Nd- W(Fv
l 使用FMM进行性能评估
+o{R _
DPxM'7 Xl{P8L 进一步的分析（优化后，容差分析）
UhWNl]Z ZQsJL\x[UK 
~W '{p 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
i# / Jr= OZF
rtc+ [b%D3-}' 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
XEp{VC@= !Pvf;rNI1T %XDc,AR[ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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