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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 .cHkh^EDY  
    I)yF!E &  
       b kc*it  
    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 fERO(o  
    K yyVO"  
    任务 x NjQ"'i8  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 shw"TF>?zG  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 $8xb|S[  
    jJ-C\ v  
    PR]b ]=  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 )$1>6C\  
    连接建模技术:衍射光束分束器 C<3<,~gI  
       k}p8"'O  
    s2<[@@@q  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 6M. |W;  
    !\[JWN@v  
    kiyc^s  
    将传输函数转化为结构 -- FzRO{D  
    gnjhy1o  
    s5rD+g]E`  
    衍射光束分束器表面 wMj #.Jh  
    s'oNW  
    M2N8?Ycv3  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM ~ !!\#IX  
    TYb$+uY  
    \hZ%NL j  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 3F@P$4!#l  
    o{! :N>(  
    vy *-"=J  
    设计与评估结果: I8j:{*h  
    • 相位函数设计 -F[@)$L  
    • 结构设计 DJ@n$G`^^  
    • TEA 评估 [!yA#{xl,  
    • FMM 评估 * 70 ZAo4  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) *<!q@r<d  
    nvT@ 'y+  
    仅相位传输设计 .1jiANY  
    ON){d!]uJ  
    P3: t 4^  
    结构设计 WA"~6U*  
    XWnP(C9?  
    <y] 67:"<v  
    使用TEA进行性能评估 UUlz3"`  
    vM6W64S  
    d_M+W@{  
    使用FMM进行性能评估 Cp mT *  
    z&tC5]#  
    a \1QnCy  
    进一步的分析(优化后,容差分析) ;_)~h$1%=  
    +IWH7qRtp  
    U`i5B;k}-  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 twq~.:<o  
    MCmb/.&wu  
    B(++*#T!^m  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 ZQ_6I}i")  
    T5."3i  
    L|T?,^  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 e))L&s  
    p8_^6wfg  
     
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