[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 q mJ#cmN
 
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 _wp>AJ r  
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任务 }da}vR"iL  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 }s9eRmJs  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 _*K=Z,a;\  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 L1Hk[j]X|  
连接建模技术：衍射光束分束器 dBWi1vTF  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 'P AIh*qA  
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*KMW6dg;  
将传输函数转化为结构
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衍射光束分束器表面 QIK;kjr*A3  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM z9}WP$W  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 {)CN.z:O  
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设计与评估结果： T^
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• 相位函数设计 r_"=DLx6  
• 结构设计 > w-fsL  
• TEA 评估 oCxh[U@*D  
• FMM 评估 <MQTOz oj  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） >D\jyd$wh&  
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仅相位传输设计 FQlYCb  
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结构设计 hZwbYvu  
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9K:ICXm  
使用TEA进行性能评估 >)j`Q1Qc\  
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使用FMM进行性能评估 Pb]EpyAW  
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BO%aCK&  
进一步的分析（优化后，容差分析） #dj,=^1_14  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 my}l?S[2d@  
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E4cPCQyeH  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 U)JwoO  
PKg>|]Rf.  
VprrklZ  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 khb/"VYd  
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