摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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g 任务
t O;W?g • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
!9OgA • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
) f&]H} .Sw'Bo!Ee +>({pHZ<S 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
>&z+i h 连接建模技术：衍射光束分束器
|H@p^.; C^O^Jj5X% 
p[:%Ck"$7 通过配置助手和IFTA进行相位设计
{-q TU6 %*}f<k{6 aBLb i 将传输函数转化为结构
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T}i' 2 ZXF_ o d'D\#+%> = 衍射光束分束器表面
@b({QM| iP_Xr~w E.9k%%X] 衍射光束求解器 - TEA & FMM
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p$ v +L c17==S 光栅级数 & 可编程光栅分析器
6%1o<{(%f 6G vnyJ{[ L@GD$F=<0 设计与评估结果：
7?#32B
Gr • 相位函数设计
VHNiTp • 结构设计
1k i "UF/ • TEA 评估
Okc*)crw • FMM 评估
9x,+G['Zt • 高度缩放检查（用于优化/容限）
k JF HUR !%9I%Ak^ 仅相位传输设计
zf u78 ~Wv?p4 yK3z3"1M? 结构设计
5,Zn$zosJC r U5'hK
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z 使用TEA进行性能评估
px@\b]/ E 3.s8}} {*Pp^ r 使用FMM进行性能评估
R0'EoX cIjsUqKa g7i 6Y j1 进一步的分析（优化后，容差分析）
U 7?ez ;_\P;s 
3}Qh`+Yj] 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
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@R 6p+ :B~c >: RGmpkQEp 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
O!tD1^O!1} :DJ@HY +6atbbe} 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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