[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 PY-+Bf  
5qiI.)  
   IfB/O.;Kz  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 uS-3\$  
T<M?PlED  
任务 17i$8  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 z{M8Yf |  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 oAnigu;  
lC2?sD$  
e`AUYli"  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 HL8(lP
gS  
连接建模技术：衍射光束分束器 *:j-zrwu&  
   :A#+=O0\z  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 xx0k$Dqt2I  
cUsL6y  
s ^3[W0hL  
将传输函数转化为结构 ]?# #))RUS  
JT#7yetk'  
#B}Qt5w  
衍射光束分束器表面 :ol6%Z's  
iN`6xkY  
)7w@E$l"  
衍射光束求解器 - TEA & FMM uOFnCy 4  
K plM['uF  
RF!'K ko  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 |K)p]i+  
u?Z <n:  
FW5}oD(H  
设计与评估结果： .?Auh2nr  
• 相位函数设计 \=Nm5:  
• 结构设计 n.I2$._(b  
• TEA 评估 -nGwuEngP  
• FMM 评估 /ISLVp%H  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） 6+)x7g1PL  
X\mz+al>[  
仅相位传输设计 (M8hy4Ex  
*(p7NYf1  
!3?yG  
结构设计 *:[b'D!A  
Vq U|kv  
X?R |x[  
使用TEA进行性能评估 Hh@2m\HA  

?CFoe$M  
I8Kb{[?q  
使用FMM进行性能评估 -tMA  
"]UIz_^'`U  
DU`v J2  
进一步的分析（优化后，容差分析） >"b[r  
3u4:l  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 . wmkj  
S QSA%B$<  
)gjGG8Ee  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 D$mf5G &  
R~cIT:i  
,0h3x$l)  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 3AvcJ1  
z 7@ 'CJ