[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 4(bV#   
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 ~AS2$  
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任务 %R7Q`!@8  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 p%]*I?  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 HJ !)D~M{  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 nyw,Fu  
连接建模技术：衍射光束分束器 \#m;L/D  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 "5synfO  
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将传输函数转化为结构 -EF(J  
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衍射光束分束器表面 -l`@pklQ  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM x +q"%9.c  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 HvKueTQ  
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设计与评估结果： m{JiF-=u  
• 相位函数设计 _-o*3gmbQ  
• 结构设计 wf=#w}f  
• TEA 评估 v@XQ)95]F  
• FMM 评估 >tr_Ypfv,c  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） r{YyKSL1*K  
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仅相位传输设计 OV7vwj/-  
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结构设计 0s
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使用TEA进行性能评估 d#ya"e>  
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使用FMM进行性能评估 C: kl/9M@  
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进一步的分析（优化后，容差分析） UciW
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 D8m?`^Zz  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 %f6l"~y  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 Yo| H`m,  
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