[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 @ 2!C^}d3F  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 *!g 2
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任务 Zn@W7c,_I  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 T3Frc ]6,4  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 \T`["<  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 x" 'KW (  
连接建模技术：衍射光束分束器 k]?z~p  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 Ys-Keyg  
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将传输函数转化为结构 fokwW}>B[f  
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衍射光束分束器表面 "7Eo>g  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM W*k`  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 RC
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设计与评估结果： < CDA"  
• 相位函数设计 <}d/v_+pnh  
• 结构设计 sltk@  
• TEA 评估
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• FMM 评估 hp*<x4%*a"  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） yz?q(]  
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仅相位传输设计 !2z!8kI  
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结构设计 X(]Zr  
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使用TEA进行性能评估 .]P2}w)x?  
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使用FMM进行性能评估 MAnp{  
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进一步的分析（优化后，容差分析） dx@QWTNE  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 $w)~xE5;  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 rQJ"&CapT  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 B[F-gq-  
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