摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
fERO(o KyyVO" 任务
x NjQ"'i8 • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
shw"TF>?zG • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
$8xb|S[ jJ-C\
v PR]b]= 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
)$1>6C\ 连接建模技术:衍射光束分束器
C<3<,~gI k}p8"'O
s2<[@@@q 通过配置助手和IFTA进行相位设计
6M.|W; !\[JWN@v kiyc^s 将传输函数转化为结构
-- FzRO{D gnjhy1o s5rD+g]E` 衍射光束分束器表面
wMj#.Jh s'oNW M2N8?Ycv3 衍射光束求解器 - TEA & FMM
~!!\#IX TYb$+uY \hZ%NLj 光栅级数 & 可编程光栅分析器
3F@P$4!#l o{! :N>( vy*-"=J 设计与评估结果:
I8j:{*h • 相位函数设计
-F[@)$L • 结构设计
DJ@n$G`^^ • TEA 评估
[!yA#{xl, • FMM 评估
* 70ZAo4 • 高度缩放检查(用于优化/容限)
*<!q@r<d nvT@'y+ 仅相位传输设计
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4^ 结构设计
WA"~6U* XWnP(C9? <y] 67:"<v 使用TEA进行性能评估
UUlz3"` vM6W64S d_M+W@{ 使用FMM进行性能评估
CpmT* z&tC5]# a
\1QnCy 进一步的分析(优化后,容差分析)
;_)~h$1%= +IWH7qRtp
U`i5B;k}- 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
twq~.:<o MCmb/.&wu B(++*#T!^m 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
ZQ_6I}i") T5."3i L|T?,^ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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