摘要
U/.w;DI Q?*
n u E /;(<fh<bY 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
8s QQK.N( D-Bv(/Pz]$ 任务
-/M9 vS • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
J Z %`%rA • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
PzIy">plm ijvNmn1k |9 +bSH9 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
, ] f) ,;= 连接建模技术：衍射光束分束器
Z -pyF K\ jv*Dg ( 
f|X[gL,B 通过配置助手和IFTA进行相位设计
D",A$(lG i Bi7| F`fGz)Mk 将传输函数转化为结构
2#'rk'X,K @b]VCv0*f% hA@zoIoe 衍射光束分束器表面
X"kXNKV/n `ajx h p p9/bzT34. 衍射光束求解器 - TEA & FMM
IKvd!,0xf n)tU9@4Np :0B
|<~lX 光栅级数 & 可编程光栅分析器
La\Q' 0 Mx^y>\X)v U! x0,sr 设计与评估结果：
nARxn#<+ • 相位函数设计
'n>K^rA • 结构设计
v B Sm=M • TEA 评估
~q{\; • FMM 评估
%'$f ?y • 高度缩放检查（用于优化/容限）
\^yXc*C o(:{InpV%A 仅相位传输设计
y= 2=DU
T :c7@^= ]t* 33 结构设计
y^9bfMA 1JIG+ZN md Pl_^n Fm0 使用TEA进行性能评估
1d`cTaQ- kl| g 5xhM0 ( 使用FMM进行性能评估
KCE=|*6::| 2 >g^4( TS1pR"6l 进一步的分析（优化后，容差分析）
mi wf& b Kr S 
iA]DE`S 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
VXiui'/( [9LxhPi Ih; aBS 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
nZ~kZ |VS [@ILc*2O SBC~QD>L+ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
l@xWQj9 Pv~: gP
