摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Ji:iKkI 8Cs$NUU 任务
9N
D+w6" • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
RjGB#AK • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
7Jx-W| #H6g&)Z_ iqednk% 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
4JZHjf0M6 连接建模技术:衍射光束分束器
Kxl,]
|e> R=?po=
2vkB<[tSs 通过配置助手和IFTA进行相位设计
IiK(^:~% Az< 9hk \FoxKOTp 将传输函数转化为结构
R,+/A8[j oCKM5AVWsv uB<F.!3 衍射光束分束器表面
WTD49_px KHlIK`r TwuX-b 衍射光束求解器 - TEA & FMM
2yQ}Lxr( RzzFhU#r fcE)V#c"g 光栅级数 & 可编程光栅分析器
+~4bB$6*4) \5[D7} =`1m- 设计与评估结果:
j|&DP-@g/ • 相位函数设计
WR
a+zii, • 结构设计
mUt,Z^ l` • TEA 评估
i2:+h}o$e • FMM 评估
Sc/`=h]T • 高度缩放检查(用于优化/容限)
^V: "zzn& {b,2;w}95 仅相位传输设计
#$t}T@t> t[?a@S~6 ~n/Aq* 结构设计
G;Wkm| ?]W~ qgA fQQsb 5=i 使用TEA进行性能评估
X7H'Uk9: *"5N>F[L }. xrJ52Tz 使用FMM进行性能评估
W]O@DS zR B` *f( {xv?wenE 进一步的分析(优化后,容差分析)
sOl>5:D6 _hy{F%}
3^\?>C7 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
N0Efw$u 4^DVW*OiI .xGo\aD 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
jt{9e:2% KVB0IXZC~ sM9FE{,mx 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
7qe7Fl3 A8pj~I/*-