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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 HY*l4QK  
    e-nWD  
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    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 fs]#/*RR  
    =YS!soO  
    任务 >VpP/Qf  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 rU/-Wq`B  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 E#yCcC!wMY  
    MsN2A6|33  
    O JZ!|J8?  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览  9OrA9r  
    连接建模技术:衍射光束分束器 @t{{Q1  
       AlPL;^Y_l  
    f 3nnXE"  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 ~EM#Hc,  
    4<=eK7;XR  
    v*vub#wP  
    将传输函数转化为结构 N[|by}@n  
    C=xo&I7  
    bAA'=z<  
    衍射光束分束器表面  e B9m4  
    ZwY`x')  
    ,*9#c*'S  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM Yke<Wy1  
    e8WPV  
    |THkS@Br  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 R47I\{  
    -y7l?N5F>  
    E-*>f"<h  
    设计与评估结果: UgOGBj,&5W  
    • 相位函数设计 'ugR!o1  
    • 结构设计 brp N >\  
    • TEA 评估 &;uGIk>s  
    • FMM 评估 $S"zxEJJ Y  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) 'tq\<y  
    Zp% ""  
    仅相位传输设计 (o6A?37i  
    .{-iq(3  
    #=)?s 8T  
    结构设计 Z.cG`Km*  
    Z(Ls#hp  
    N@%xLJF=N>  
    使用TEA进行性能评估 DcFV^8O&  
    {4V:[*3  
    %>x0*T$$  
    使用FMM进行性能评估 !'6J;Fb#  
    2_ZHJ,r   
    V.E.~<7D\  
    进一步的分析(优化后,容差分析) ^YB\\a9  
    D%5 {A=  
    q(${jz4w  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 [8om9 Z3  
    Q>+_W2~]  
    $)i"[  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 SbQ{ >  
    CO6XIgTe  
    st1M.}  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ":ws~Zep  
    :jN;l  
     
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