[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 O"\4[HE^  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 B>u`%Ry&  
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任务 tB;PGk_6  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 h7]+#U]mi
 
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 ,2AulX1  
-Mo4`bN  
+Xg:*b9So  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 TOiLv.Dor  
连接建模技术：衍射光束分束器 yzEyOz@Q  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 ^!tX+`,6^  
aZf/WiR2  
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将传输函数转化为结构 d.}65{F,x  
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-zECxHjx  
衍射光束分束器表面 \J:+Wl.9A  
Rk9n,"xpv  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM mx
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 kR+}7G+  
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设计与评估结果： %:
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• 相位函数设计 KXMf2)pa  
• 结构设计 **P P  
• TEA 评估 L#`X ]E  
• FMM 评估 @<DRFP  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） vU *: M8k  
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仅相位传输设计 .i\FK@2  
cLyf[z)W  
km>ZhsqD  
结构设计 FqyxvL.  
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使用TEA进行性能评估 (6c/)MH  
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使用FMM进行性能评估 \=({T_j4  
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o4: e1  
进一步的分析（优化后，容差分析） _"*vj-{-y  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 [cDkmRV  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 5XT^K)'  
7j|CWurvq  
AQ FnS&Y  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 0x*1I1(c  
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