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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-05
    摘要 ]3*w3Y!XK  
    v}t{*P  
       13v`rK`7o  
    傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 F1$XUos9  
    DKMkCPX%  
    任务 .@nfqv7{  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 ,.*D f)+  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 YzZj=]\`b  
    ,{q#U3  
    V*te8HIe  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 'G % ]/'_U  
    连接建模技术:衍射光束分束器 k&t.(r\  
       2oahQ: }B  
    ZR3,dW6S  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 a9NuYYr,h  
    ivl %%nY'  
    &4WA/'>R  
    将传输函数转化为结构 $X)|`$#pL#  
    _)Txg2?=  
    P(8Yz W  
    衍射光束分束器表面 ~s'}_5;VY  
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    _$IWr)8f  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM `fEzE\\!*  
    Q!IqvmO  
    yxpv;v:)=  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 dT7f yn  
    MNe/H\  
    xV14Y9  
    设计与评估结果: r]\[G6mE%  
    • 相位函数设计 "u~` ZV(  
    • 结构设计 _UkBOJ:G$H  
    • TEA 评估 N@<-R<s^  
    • FMM 评估 #| g h  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) mGDc,C=5:  
    Kzq^f=p  
    仅相位传输设计 !WlL RkwO  
    R{A$|Ipaq  
    &${| o@  
    结构设计 RfvvX$  
    'Bt!X^  
    4j'rbbs/  
    使用TEA进行性能评估 [Pp#r&4H  
    M8 Bp-_  
    hTv*4J&@|  
    使用FMM进行性能评估 (HeSL),1  
    m!<FlEkN  
    ?rt[ aK  
    进一步的分析(优化后,容差分析) v4rO 0y=C  
    '*`n"cC:  
    o(54 A['  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 NqKeQezX  
    yG~Vvpv  
    %K\B )HR  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 o M@%2M_O(  
    \A\?7#9\  
    y[jp)&N`  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 "X?Zw$gRud  
    "Zn nb*pOM  
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