摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
|33pf7o Et@= <g 任务
>XP]NY}Po[ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
P\;lH"9 • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
F7J-@T< |RwpIe8~ P8!Vcy938 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
q /EK ]B 连接建模技术：衍射光束分束器
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AbUPJF"F 通过配置助手和IFTA进行相位设计
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%Get .$)'7 I_.(&hMn 将传输函数转化为结构
# 'G/&&< 2D` @$)KL a`(6hL3 IT 衍射光束分束器表面
@ & #df $s.:wc^ dluNA(Xc- 衍射光束求解器 - TEA & FMM
"L.)ML cv;&ff2%? ;k^wn)JE$ 光栅级数 & 可编程光栅分析器
)hK5_]"lmj }MY7<sMDOy Z `O.JE 设计与评估结果：
`,H\j ? • 相位函数设计
r<V]MwO= • 结构设计
vn 3<LQ] • TEA 评估
=[(1u|H 9 • FMM 评估
`x$d8(1J`# • 高度缩放检查（用于优化/容限）
&0SGAJlec _ z\oDd`' 仅相位传输设计
aq~hl7MTj : s+AIo6 2NAGXWE 结构设计
Tn2Z{.q$ E Hkb{Q8 E4[
|= < 使用TEA进行性能评估
ZH/ ^``[. /A}3kTp @=`Dw/13 使用FMM进行性能评估
m9Gyjr'L "o#"u[W , pl
Ii 进一步的分析（优化后，容差分析）
+oBf\!{cW b>;>*'e 
GjE/!6b 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
|vz< FR6 LSlaz LP_ d}ve 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
X'.}#R1 pez* kU+9 xr?=gY3E; 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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