[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 F62V3 Xy  
I)q,kP@yY  
   )%SkJ  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 IX: 25CEI2  
mNf8kwr  
任务 yKXff1^M  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 Wk:hFHs3  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 *19ax&|*S  
Eca\fkj  
Q'+MFld  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 %8*64T")  
连接建模技术：衍射光束分束器 i |{Dd%4vK  
   a
$
"ib  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 `c/*H29  
6.5T/D*TT  
x}U8zt)yD3  
将传输函数转化为结构 *5zrZ]^  
"fg](Cp[z  
%}86D[PF  
衍射光束分束器表面 nd;fy$<J\  
SVjl~U-^  

2<&B
w2  
衍射光束求解器 - TEA & FMM < B_Vc:Q  
r'CM  
L,d LE
-L  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 7r|(}S  
^gV
T$A  
*A}cL  
设计与评估结果： {_(\`>  
• 相位函数设计 v7%X@j]ji  
• 结构设计 b
}T6v  
• TEA 评估  tvXW  
• FMM 评估 T!wo2EzE  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） UgWs{y2SE.  
:Rs^0F8)c  
仅相位传输设计 Xtwun  
%Pksv}  
)CX4kPj  
结构设计 k
{gLMl  
_k^0m
 
V\V)<BARe  
使用TEA进行性能评估 gPAX4'
 
9]t[J_YM  
-XRn~=5
 
使用FMM进行性能评估 2+Px'U\  
#fj/~[Ajv  
JFgoN,xn  
进一步的分析（优化后，容差分析） /-6S{hl9Ne  
jCTAKaq  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 T#pk]c6Q  
AxxJk"v'y  
D>
Gt]s  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 0 ugT2%  
#,{+3Y&5-+  
2<mW\$  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 +UJuB  
fYE(n8W3