摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
fs]#/* RR =YS!soO 任务
>VpP/Qf • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
rU/-Wq`B • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
E#yCcC!wMY MsN2A6|33 O JZ!|J8? 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
9OrA9r 连接建模技术:衍射光束分束器
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f 3nnXE" 通过配置助手和IFTA进行相位设计
~EM#Hc, 4<=eK7;XR v*vub#wP 将传输函数转化为结构
N[|by}@n C=xo&I7 b AA'=z< 衍射光束分束器表面
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B9m4 ZwY`x') ,*9#c*'S 衍射光束求解器 - TEA & FMM
Yke<Wy1 e8WPV |THkS@Br 光栅级数 & 可编程光栅分析器
R 47I\{ -y7l?N5F> E-*>f"<h 设计与评估结果:
UgOGBj,&5W • 相位函数设计
'ugR!o1 • 结构设计
brpN>\ • TEA 评估
&;uGIk>s • FMM 评估
$S"zxEJJ Y • 高度缩放检查(用于优化/容限)
'tq\<y Zp% "" 仅相位传输设计
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8T 结构设计
Z.cG`Km* Z(Ls#hp N@%xLJF=N> 使用TEA进行性能评估
DcFV^8O& {4V:[*3 %>x0*T$$ 使用FMM进行性能评估
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2_ZHJ,r V.E.~<7D\ 进一步的分析(优化后,容差分析)
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q(${jz4w 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
[8om9 Z3 Q>+_W2~] $)i"[ 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
SbQ{ > CO6XIgTe st1M.} 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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