摘要
-Ep!- a %aU4,j^],o $Pxb1E 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Nt]qVwUm'Y +2RNZEc 任务
q"akrI38 • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
;+ azeW^ • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
?}}qu'N:N GIT#<+" !Xj#@e 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
i|]7(z#OyI 连接建模技术:衍射光束分束器
5t\HJ`C1Z 6<X%\[)n |;+qld[4z
通过配置助手和IFTA进行相位设计
BcQEG *N gZO&r#
_X4!xbP 将传输函数转化为结构
mdW~~-@H K R, z^9 `'i( U7? 衍射光束分束器表面
Xc*U+M>U u%3i0BajY yb2}_k.JG 衍射光束求解器 - TEA & FMM
:^i^0dC #(KDjnP[ k?*KnfVh! 光栅级数 & 可编程光栅分析器
qnChM;) Apj; +bA% 设计与评估结果:
j.m(ltGh • 相位函数设计
aJhxc<"e • 结构设计
***a2Z/( • TEA 评估
IXpc,l ` • FMM 评估
_{4^|{>Pv • 高度缩放检查(用于优化/容限)
Io n~ VwyVEZt 仅相位传输设计
29&bbfU >Lft9e s?2$ue&-f 结构设计
}!p`1]gem t~``md4 IgIYguQ 使用TEA进行性能评估
6*45Vf o]ePP, >6<q8{* 使用FMM进行性能评估
c9wfsapJ ;Hmp f0$ zmI] cD@G 进一步的分析(优化后,容差分析)
k^\pU\J k*?I>%^6#T s58C2
进一步优化 - 调整设计#1的零阶
t `kui. Qm4o7x{q */^QH@ P 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
bQ'8SCe cxIk<&i~( :9|\Z|S(I 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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