摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
F1$XUos9 DKMkCPX% 任务
.@nfqv7{ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
,.*Df)+ • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
YzZj=]\`b ,{q#U3 V*te8HIe 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
'G % ]/'_U 连接建模技术:衍射光束分束器
k&t.(r\ 2oahQ:
}B ZR3,dW6S
通过配置助手和IFTA进行相位设计
a9NuYYr,h ivl %%nY' &4WA/'>R 将传输函数转化为结构
$X)|`$#pL# _)Txg2?= P(8Yz W 衍射光束分束器表面
~s'}_5;VY =*ErN _$IWr)8f 衍射光束求解器 - TEA & FMM
`fEzE\\!* Q!IqvmO yxpv;v:)= 光栅级数 & 可编程光栅分析器
dT 7fyn MNe/H\ xV14Y9 设计与评估结果:
r]\[G6mE% • 相位函数设计
"u~` ZV( • 结构设计
_UkBOJ:G$H • TEA 评估
N@<-R<s^ • FMM 评估
#| gh • 高度缩放检查(用于优化/容限)
mGDc,C=5: Kzq^f=p 仅相位传输设计
!WlL RkwO R{A$|Ipaq &${| o@ 结构设计
RfvvX$
'Bt!X^ 4j'rbbs/ 使用TEA进行性能评估
[Pp#r&4H M8Bp-_ hTv*4J&@| 使用FMM进行性能评估
(HeSL),1 m !<FlEkN ?rt[
aK 进一步的分析(优化后,容差分析)
v4 rO 0y=C '*`n"cC: o(54 A['
进一步优化 - 调整设计#1的零阶
NqKeQezX yG~Vvpv %K\B)HR 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
oM@%2M_O( \A\?7#9\ y[jp)&N` 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
"X?Zw$gRud "Zn
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