摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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|Ylg$?,9* 任务
a|.20w5 • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
TcZN % • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
>EBC 2WJ tR O IBq| csvO g[ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
UPO^V:.R4 连接建模技术：衍射光束分束器
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+ (=I8s/ 通过配置助手和IFTA进行相位设计
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b#g(Y( 将传输函数转化为结构
<(uTst GC?S];PL xppkLoPK 衍射光束分束器表面
r#I>_Utsy ^2 JPyyZa `oPLl0 衍射光束求解器 - TEA & FMM
-pX|U~a[ x\]z j! {g@A> 光栅级数 & 可编程光栅分析器
oek #^:pF _/ Tlqzp Wx k ; g 设计与评估结果：
X#7}c5 ^Y • 相位函数设计
3FY_A(+ • 结构设计
Z fqQ {_ • TEA 评估
|Cq8% • FMM 评估
[ yvt1:q • 高度缩放检查（用于优化/容限）
OaNc9c" 3B -NY Ja 仅相位传输设计
Kt6C43]7 jQs* (=ls O&= KlnI: 结构设计
v*Xk WH5 Nkoo fhZ ;x16shH
使用TEA进行性能评估
K+-z Y[3 {70 Ou}* n5 >B LtY 使用FMM进行性能评估
*bU% @O WN1Jm:5YV |y U3Kt 进一步的分析（优化后，容差分析）
<B=[hk! ,b4 ~!V 
n{z8Ao% 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
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{up J$#D:KaU:N >mew"0Q 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
avV mY|I B#Qpd7E+* MN\i-vAL8 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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