[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 9{RCh9  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 )"/.2
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任务 "oz : & #+  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 ]0p] u d&  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 84j6.\,  
连接建模技术：衍射光束分束器 3q:U0&F  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 w<#/ngI2  
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将传输函数转化为结构 $9
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衍射光束分束器表面 \NU^Jc_k7  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM !k@(}CN_*  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 iga.B  
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设计与评估结果：
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• 相位函数设计 3w!8PPl  
• 结构设计 RT`.S uN  
• TEA 评估 o]/*YaB2>  
• FMM 评估 tf[)Q:|  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） iOY: a  
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仅相位传输设计 XX&4OV,^%D  
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结构设计 xnP@h  
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使用TEA进行性能评估 5<U:Yy  
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使用FMM进行性能评估 8]h~jNku  
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进一步的分析（优化后，容差分析） &A}hx\_T  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 y'L7o V?L9  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 U45kA\[bZ  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 |P0!dt7sQ  
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