6~-,.{Y 内容简介
K: |-s4= Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
M0$_x~ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
DB+oCE<.# 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
l<;~sag q+BG P]O=K
kEp{L 目录
@A|#/]S1 Preface 1
g`w46X 内容简介 2
<1#hX(Q 目录 i
)O2IEwPd. 1 引言 1
_C)\X(; 2 光学薄膜基础 2
N9s+Tm 2.1 一般规则 2
0DFVB%JdI 2.2 正交入射规则 3
Q- 7L,2TL 2.3 斜入射规则 6
HQNpf1=D 2.4 精确计算 7
8#w%qij 2.5 相干性 8
BV6B:=E0 2.6 参考文献 10
CQPq5/@Y4 3 Essential Macleod的快速预览 10
"A> _U<Y 4 Essential Macleod的特点 32
e{H( 4.1 容量和局限性 33
8F&Y; 4.2 程序在哪里? 33
Z]w?RL 4.3 数据文件 35
fB 0X9iV6j 4.4 设计规则 35
DYoGtks( 4.5 材料数据库和
资料库 37
xf{ZwS%X 4.5.1材料损失 38
kA> e*6 4.5.1材料数据库和导入材料 39
,M~> t7+ 4.5.2 材料库 41
v o4U% 4.5.3导出材料数据 43
,pY:kQ 4.6 常用单位 43
kE :{#>[Uz 4.7 插值和外推法 46
ExM VGe 4.8 材料数据的平滑 50
}>EWFE` 4.9 更多光学常数模型 54
3~{0X- 4.10 文档的一般编辑规则 55
]V)*WP#a 4.11 撤销和重做 56
^wD`sj<Qg 4.12 设计文档 57
Omi/sKFMi 4.10.1 公式 58
p:)=i"uL 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
Ss0I{0 4.10.3 沉积密度 59
GKKDO+A=! 4.10.4 平行和楔形介质 60
fwiP3*j+Nn 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
d tE"1nR 4.10.4 性能 61
a;v4R[lQ 4.10.5 保存设计和性能 64
06M?ecN 4.10.6 默认设计 64
"%b Gwv 4.11 图表 64
O~v~s
'c& 4.11.1 合并曲线图 67
-L<FVB 4.11.2 自适应绘制 68
p I~;3T:! 4.11.3 动态绘图 68
` Z/ MQ 4.11.4 3D绘图 69
>FKwFwT4D 4.12 导入和导出 73
7#c4.9b? 4.12.1 剪贴板 73
4*D"*kR; 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
'c_K[p$ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
T|0+o+i 4.13 背景 77
~ivOSr7s} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
CB
X}_]9X 4.15 生成Rugate 84
vt nT 4.16 参考文献 91
o@7U4#E 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
0OQ*V~>f 5.1 Jobs 92
n @,. 5.2 创建一个新Job(工作) 93
cRuN; 5.3 输入材料 94
w0+X;aId 5.4 设计数据文件夹 95
B=$O4nW_b 5.5 默认设计 95
A2;6Vz=z 6 细化和合成 97
-SfU.XlZl 6.1 优化介绍 97
b dLi_k 6.2 细化 (Refinement) 98
L`e19I$ 6.3 合成 (Synthesis) 100
[[w | 6.4 目标和评价函数 101
NuOxEyC 6.4.1 目标输入 102
@OGG]0
J 6.4.2 目标 103
P-nhG 6.4.3 特殊的评价函数 104
Dx`-h# 6.5 层锁定和连接 104
Nd+1r|e' 6.6 细化技术 104
89;@#9 6.6.1 单纯形 105
[3I|MZ 6.6.1.1 单纯形
参数 106
x(xi%?G 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
X:I2wJDs\ 6.6.2.1 Optimac参数 108
PEm2w#X%L 6.6.3 模拟退火算法 109
3!osQ1 6.6.3.1
模拟退火参数 109
~%C F3?e6 6.6.4 共轭梯度 111
Yb4ku7} 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
dgIH`<U$ 6.6.5 拟牛顿法 112
Aq*?Q/pV 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
,i??}Wm5G 6.6.6 针合成 113
096Yd=3h 6.6.6.1 针合成参数 114
z#ki# o 6.6.7 差分进化 114
E>f{j:M 6.6.8非局部细化 115
}]PHE(}7 6.6.8.1非局部细化参数 115
_ilitwRN3 6.7 我应该使用哪种技术? 116
P"l'? ` 6.7.1 细化 116
P.5l9Ns(O 6.7.2 合成 117
=4co$oD} 6.8 参考文献 117
1kw*Q: 7 导纳图及其他工具 118
Q$:Q6/5. 7.1 简介 118
aK95&Jyw& 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
w$AR 7.2.1 四分之一
波长规则 119
xVbRCu#Z 7.2.2 导纳图 120
'vZIAnB8 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
1}c'UEr%) 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
z<mN-1PM7& 7.5 斜入射导纳图 141
ZQ+DAX*MS
7.6 对称周期 141
7=9>yba)^ 7.7 参考文献 142
T'vI@i9 8 典型的镀膜实例 143
}8#Ed;%K 8.1 单层抗反射薄膜 145
L!zdrCM 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
l>b'b e9 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
%),u0:go 8.4 W-膜层 148
Vub6wb<G[ 8.5 V-膜层 149
9\<q=p~ 8.6 V-膜层高折射基底 150
}O>1tauI 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
<j>;5!4!} 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
&
]]l0B 8.9 四层抗反射薄膜 153
P1T{5u!T 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
Wm`*IBWA 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
T|wz%P<J 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
h=gtuaR4 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
*bf 5A9 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
GRbbU#/=G 8.15十五层宽带抗反射膜 159
hN6wp_ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
qbfX(`nS 8.17 1/4波长堆栈 162
QfAmGDaYQ 8.18 陷波滤波器 163
1' U 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
;Vat\,45pg 8.20 褶皱 165
vm_]X{80; 8.21 消偏振分光器1 169
1xd6p 8.22 消偏振分光器2 171
a-Y6ghs 8.23 消偏振立体分光器 172
U364'O8_ 8.24 消偏振截止滤光片 173
*c[w9(fU 8.25 立体偏振分束器1 174
<tFq^qB 8.26 立方偏振分束器2 177
?x&}ammid 8.27 相位延迟器 178
x@Z{5w_a 8.28 红外截止器 179
)Bn
}|6` 8.29 21层长波带通滤波器 180
c{I]!y^! 8.30 49层长波带通滤波器 181
#eOHe4Vt 8.31 55层短波带通滤波器 182
{qi# 8.32 47 红外截止器 183
GZu12\0nZ 8.33 宽带通滤波器 184
O5-GrR^yt 8.34 诱导透射滤波器 186
]zaTX?F: 8.35 诱导透射滤波器2 188
)MF@'zRK 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
||QK)$" 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
XZARy:+bc 8.35 增益平坦滤波器 193
xm1di@ 8.38 啁啾反射镜 1 196
YR-G:-(#b 8.39 啁啾反射镜2 198
C 8wGbU6` 8.40 啁啾反射镜3 199
d=qVIpZ 8.41 带保护层的铝膜层 200
|~
fI=1;;x 8.42 增加铝反射率膜 201
ZH;4e<gg 8.43 参考文献 202
!>> A@3 9 多层膜 204
FsJk"$} 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
mI,lW|/l, 9.2 内部透过率 204
RVttk )Ny 9.3 内部透射率数据 205
(KyOo,a 9.4 实例 206
AZc=Bbh 9.5 实例2 210
*cXq=/s 9.6 圆锥和带宽计算 212
5H
XF3 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
c.Sd~k:3 10 光学薄膜的颜色 216
Vf pT5W< 10.1 导言 216
c.Hw
K\IU 10.2 色彩 216
j AOy3c 10.3 主波长和纯度 220
~k"b"+2 10.4 色相和纯度 221
hQ<7k'V 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
tUxH6IS 10.6 色差 226
j}//e%$a 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
">.k 6Q 10.8 颜色渲染指数 234
]b%U9hmL^f 10.9 色差计算 235
0l[52eZ/ 10.10 参考文献 236
A1+:y,wXs 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
IxCesh 11.1 短脉冲 238
jOzXy Dq 11.2 群速度 239
Yft [)id 11.3 群速度色散 241
u'#/vT#l 11.4 啁啾(chirped) 245
02t({>` 11.5 光学薄膜—相变 245
["Ts7;q9[ 11.6 群延迟和延迟色散 246
>4luZnWMI 11.7 色度色散 246
SXqB<j$.; 11.8 色散补偿 249
E7iAN\vo 11.9 空间
光线偏移 256
C_Q3^mLx 11.10 参考文献 258
CdRJ@Lf 12 公差与误差 260
Jk(V ] 12.1 蒙特卡罗模型 260
T(x@gwc 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
ca7Y+9<
; 12.2.1 误差工具 267
mW'3yM 12.2.2 灵敏度工具 271
<DR|r 12.2.2.1 独立灵敏度 271
MZQDFuvDxZ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
G7" (,L` 5 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
pZ|{p{_j 12.3 参考文献 276
*w4#D:g 13 Runsheet 与Simulator 277
46D`h!7L 13.1 原理介绍 277
) dk|S\ 13.2 截止滤光片设计 277
vO2WZ7E! 14 光学常数提取 289
<`pNdy4 14.1 介绍 289
.
KLEx]f. 14.2 电介质薄膜 289
|3e+ K. 14.3 n 和k 的提取工具 295
]?1_.Wjtt 14.4 基底的参数提取 302
bKsjbYuo 14.5 金属的参数提取 306
3f^Pr 14.6 不正确的模型 306
?ld&}|W~ 14.7 参考文献 311
d~~, 5E 15 反演工程 313
D#1R$4M= 15.1 随机性和
系统性 313
N`efLOMl]
15.2 常见的系统性问题 314
:5CyR3P 15.3 单层膜 314
njxLeDe- 15.4 多层膜 314
YdO*5Gb6 15.5 含义 319
e7"T37 15.6 反演工程实例 319
[G$ #jUt/O 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
G1jj:]1 15.6.2 反演工程提取折射率 327
Wx]Xa]- 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
g?"QahHG 16.1 光学性质的热致偏移 329
o 7kg.w| 16.2 应力工具 335
TSewq4`K 16.3 均匀性误差 339
7d%x 7!E 16.3.1 圆锥工具 339
rz_W]/G-P 16.3.2 波前问题 341
:2nsi4 16.4 参考文献 343
1Mp-)-e 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
Sk7R;A 17.1 引言 345
H@@ 4n%MK 17.2 操作数 345
1-E6ACq 18 如何在Function中编写脚本 351
_:Xmq&<W 18.1 简介 351
b/a\{ 18.2 什么是脚本? 351
*tj(,:! 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
n?cC]k;P~ 18.4 基础 352
Ed u(dZbKg 18.4.1 Classes(类别) 352
_N|%i J5 18.4.2 对象 352
ZS=H1 18.4.3 信息(Messages) 352
b]z_2h~` 18.4.4 属性 352
^,I2@OS 18.4.5 方法 353
d*s*AV 18.4.6 变量声明 353
34!.5^T 18.5 创建对象 354
WcqR; Nm 18.5.1 创建对象函数 355
(4 ZeyG@ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
Vxap+<m 18.5.3 丢弃对象 356
&J2UAmB 18.5.4 总结 356
WT,I~'r=S 18.6 脚本中的表格 357
o%~fJx:]y 18.6.1 方法1 357
?SgFD4<~P 18.6.2 方法2 357
&6OY^6< 18.7 2D Plots in Scripts 358
:a/rwZ[r 18.8 3D Plots in Scripts 359
QGfwvFm 18.9 注释 360
Ty&1R? 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
G(wK(P0j 18.11 一个更高级的脚本 362
9R8q+2
18.12 <esc>键 364
~xxq.rL" 18.13 包含文件 365
5&Yt=)c\ 18.14 脚本被
优化调用 366
2fr%_GNu 18.15 脚本中的对话框 368
\u`P(fI!K% 18.15.1 介绍 368
k@lJ8(i^qU 18.15.2 消息框-MsgBox 368
D%o(HS\E 18.15.3 输入框函数 370
G3TS?u8Q 18.15.4 自定义对话框 371
u]NsCHKlT 18.15.5 对话框编辑器 371
I"czo9Yspd 18.15.6 控制对话框 377
.q
MxShUU 18.15.7 更高级的对话框 380
lfM vNv 18.16 Types语句 384
1 jB0gNe 18.17 打开文件 385
u|}\Af 18.18 Bags 387
0' *{BAWx 18.13 进一步研究 388
m
uO. 19 vStack 389
#1$4<o#M 19.1 vStack基本原理 389
g^A^@~M 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
/Q@4HV 19.3 五棱镜 393
w~Q\:<x&~Z 19.4 光束距离 396
6w &<j&V 19.5 误差 399
rT4Q^t" 19.6 二向分色棱镜 399
j}.gK6Yq* 19.7 偏振泄漏 404
,H6P% 19.8 波前误差—相位 405
vaF1e:( 19.9 其它计算参数 405
" J9 20 报表生成器 406
\wz^Z{U 20.1 入门 406
E va&/o?P| 20.2 指令(Instructions) 406
gD)M7`4 20.3 页面布局指令 406
DI8I'c-P 20.4 常见的参数图和三维图 407
0o$RvxJ 20.5 表格中的常见参数 408
?@@$)2_*u 20.6 迭代指令 408
&M@ .d$<C 20.7 报表模版 408
,X_3#!y 20.8 开始设计一个报表模版 409
ru`7iqcz 21 一个新的project 413
Ux',ma1JK 21.1 创建一个新Job 414
$rj:K)P 21.2 默认设计 415
WDxcV% 21.3 薄膜设计 416
`m(ZX\W] 21.4 误差的灵敏度计算 420
7#"NKxb 21.5 显色指数计算 422
-5og)ZGVUA 21.6 电场分布 424
83vZRQw 后记 426
e}2?)B`[ 对此书有兴趣可以扫码加微联系
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