5,<:|/r 内容简介
T@ecWRro Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
CkJ\v%JAW 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
GcL:plz 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
5@xl/ bq<DW/ yj48GQP]
*j0kb"# 目录
LgX"Qk&Ca Preface 1
3LaqEj 内容简介 2
$stBB 目录 i
iEJY[P1 1 引言 1
tL!R^Tf 2 光学薄膜基础 2
gADEjr*H 2.1 一般规则 2
2X t$KF,? 2.2 正交入射规则 3
n
7Bua 2.3 斜入射规则 6
s}pn5zMp:8 2.4 精确计算 7
!VJ5(b 2.5 相干性 8
k}yUD 0Y 2.6 参考文献 10
*mgK^9< 3 Essential Macleod的快速预览 10
Alsr6uLT1 4 Essential Macleod的特点 32
?xbPdG":R 4.1 容量和局限性 33
LK'|sO>|
4.2 程序在哪里? 33
7fg +WZ 4.3 数据文件 35
;P{HePs=) 4.4 设计规则 35
] hxE^/8 7 4.5 材料数据库和
资料库 37
^Cs5A0xo#s 4.5.1材料损失 38
]^63n/Twj 4.5.1材料数据库和导入材料 39
*Q@%<R 4.5.2 材料库 41
}LaRa.3 4.5.3导出材料数据 43
%0z&k!P 4.6 常用单位 43
>%~%O`+ 4.7 插值和外推法 46
?1z." & 4.8 材料数据的平滑 50
xgi/,Nk ' 4.9 更多光学常数模型 54
N!fTt, 4.10 文档的一般编辑规则 55
zMUifMiAj 4.11 撤销和重做 56
%S<0l@=5`l 4.12 设计文档 57
1Ue;hu'q: 4.10.1 公式 58
PV*U4aP 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
)9L:^i6 4.10.3 沉积密度 59
)K4A-9pC 4.10.4 平行和楔形介质 60
BmRk|b 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
\Ami-<T 4.10.4 性能 61
i5>]$j1/ 4.10.5 保存设计和性能 64
AC$:.KLI 4.10.6 默认设计 64
Myj 68_wf 4.11 图表 64
GJL lMi 4.11.1 合并曲线图 67
ib4 shaN` 4.11.2 自适应绘制 68
/idQfff 4.11.3 动态绘图 68
[_&\wHX 4.11.4 3D绘图 69
Q)7iu 4.12 导入和导出 73
ng-g\&- 4.12.1 剪贴板 73
<4gT8kQ$x 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
V0,%g+.^ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
wX_s./#JJ 4.13 背景 77
_7AR2 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
~"E@do(" 4.15 生成Rugate 84
oCBZ9PGkK 4.16 参考文献 91
6d RxfbL 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
O43emL3 5.1 Jobs 92
'\$2+* 5.2 创建一个新Job(工作) 93
qjsS2,wM 5.3 输入材料 94
*20$u% z2 5.4 设计数据文件夹 95
&ggS!y'n 5.5 默认设计 95
6iiH+Nc 6 细化和合成 97
,~@Nhd~k 6.1 优化介绍 97
.kl _F7 6.2 细化 (Refinement) 98
DA5kox&cU 6.3 合成 (Synthesis) 100
jXBAo 6.4 目标和评价函数 101
#|\NG 6.4.1 目标输入 102
H5f>Q0jq
6.4.2 目标 103
kvzGI>H: 6.4.3 特殊的评价函数 104
%"2;i@ 6.5 层锁定和连接 104
i )Hjmf3 6.6 细化技术 104
f\W1u#;u) 6.6.1 单纯形 105
0]C~CvO 6.6.1.1 单纯形
参数 106
pq 4/>WzE 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
Pa.D+ 6.6.2.1 Optimac参数 108
8y-Sd\0g 6.6.3 模拟退火算法 109
+ht -Bl 6.6.3.1
模拟退火参数 109
##gq{hgjb$ 6.6.4 共轭梯度 111
hrpql_9. 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
Tl.dr 6.6.5 拟牛顿法 112
,4bqjkX5q 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
qRXb9c 6.6.6 针合成 113
6]=$c<.& 6.6.6.1 针合成参数 114
Gz]p2KBg 6.6.7 差分进化 114
f?_UT}n 6.6.8非局部细化 115
3d qj:4[f 6.6.8.1非局部细化参数 115
iRo/ ~( 6.7 我应该使用哪种技术? 116
nATEv2:G 6.7.1 细化 116
wHSa s[4k 6.7.2 合成 117
- J9K 6.8 参考文献 117
bk@F/KqL 7 导纳图及其他工具 118
EkV
LSur 7.1 简介 118
i1qhe?5 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
1gEeZ\B-& 7.2.1 四分之一
波长规则 119
Y)kO" 7.2.2 导纳图 120
;VY0DAp{ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
0XCtw6 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
]]
R*sd* 7.5 斜入射导纳图 141
9? xMsu-H 7.6 对称周期 141
3cuVyf<v 7.7 参考文献 142
F;5S2:a@Z 8 典型的镀膜实例 143
A.aUWh 8.1 单层抗反射薄膜 145
K5O8G 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
{5tb.{ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
I:4m]q b 8.4 W-膜层 148
_e%jM[ 8.5 V-膜层 149
yQA6w% 8.6 V-膜层高折射基底 150
`uz15])1< 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
Mqu>#lL 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
=2[5g!qX 8.9 四层抗反射薄膜 153
39jnoT 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
"*E#4e[ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
Y`5(F>/RQG 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
D -Goi-4 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
')kn 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
j]uL9\> 8.15十五层宽带抗反射膜 159
W\V'o Vt 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
O s*B%,} 8.17 1/4波长堆栈 162
K:PPZ| 8.18 陷波滤波器 163
Z5 lE*z 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
;Kq/[$~0 8.20 褶皱 165
C-Q]f 8.21 消偏振分光器1 169
"pdq_35 8.22 消偏振分光器2 171
M_-LI4> 8.23 消偏振立体分光器 172
!a"RHg:HO 8.24 消偏振截止滤光片 173
Xr54/.{&@ 8.25 立体偏振分束器1 174
DYS|"tSk 8.26 立方偏振分束器2 177
Bvke@|]kW 8.27 相位延迟器 178
yi7m!+D3 8.28 红外截止器 179
%E\&9, 8.29 21层长波带通滤波器 180
2&st/y(hs 8.30 49层长波带通滤波器 181
Q;m:o8Q5 8.31 55层短波带通滤波器 182
y:6&P6`dx 8.32 47 红外截止器 183
[D[&aA 8.33 宽带通滤波器 184
9C?;' 8.34 诱导透射滤波器 186
^T):\x( 8.35 诱导透射滤波器2 188
`mN*"1p- 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
[yzDa:% 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
k 7 !{p 8.35 增益平坦滤波器 193
+8tdAw 8.38 啁啾反射镜 1 196
PP\nR
@ 8.39 啁啾反射镜2 198
Y7QIFY's~ 8.40 啁啾反射镜3 199
8Vcg30_+ 8.41 带保护层的铝膜层 200
6$"gm$3O] 8.42 增加铝反射率膜 201
5(@P1Bi 8.43 参考文献 202
,L iX 9 多层膜 204
Ep/kb-~- 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
9$-V/7@) 9.2 内部透过率 204
8*sZ/N. 9.3 内部透射率数据 205
w Phs1rL 9.4 实例 206
h?f)Bt}ry 9.5 实例2 210
3B }Oy$p 9.6 圆锥和带宽计算 212
ES~ykE 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
EAVB:gE 10 光学薄膜的颜色 216
![ &
go 10.1 导言 216
r^<W$-# 10.2 色彩 216
EZ+_*_9 10.3 主波长和纯度 220
yQkj4v{ 10.4 色相和纯度 221
2yYq/J 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
pNY+ E5 10.6 色差 226
yqdhLX|Mk 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
4~<
:Pj 10.8 颜色渲染指数 234
F8(6P1}E 10.9 色差计算 235
Ol8ma`}Nq3 10.10 参考文献 236
.Rq|F 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
[cSoo+Mlx 11.1 短脉冲 238
2Z3c` /k 11.2 群速度 239
X{SD3j=G# 11.3 群速度色散 241
Isa]5> 11.4 啁啾(chirped) 245
DL&\iR 11.5 光学薄膜—相变 245
`mU'{ 11.6 群延迟和延迟色散 246
^j1?L B 11.7 色度色散 246
n@9*>DU 11.8 色散补偿 249
S`yY<1[O 11.9 空间
光线偏移 256
MV"aO@ 11.10 参考文献 258
B dHLow 12 公差与误差 260
MjIp~?* 12.1 蒙特卡罗模型 260
bAIo5lr 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
VH&6Tm1 12.2.1 误差工具 267
Vj^<V|= 12.2.2 灵敏度工具 271
,U_p6TV5 12.2.2.1 独立灵敏度 271
pgK) 12.2.2.2 灵敏度分布 275
qq0bIfF\4 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
)*[3Imq/ 12.3 参考文献 276
@pueM+(L& 13 Runsheet 与Simulator 277
k(>hboR5n 13.1 原理介绍 277
`@MY}/
o. 13.2 截止滤光片设计 277
vas
14 光学常数提取 289
4%#C _pE9 14.1 介绍 289
b<UZDy N~ 14.2 电介质薄膜 289
~`Q8)(y<#$ 14.3 n 和k 的提取工具 295
$xT'cl/IH 14.4 基底的参数提取 302
&M$s@FUY 14.5 金属的参数提取 306
Q<$I,C] 14.6 不正确的模型 306
ADoxma@ 14.7 参考文献 311
qV57P6< 15 反演工程 313
9OYsI 15.1 随机性和
系统性 313
T7eo_Mn 15.2 常见的系统性问题 314
]HoQ6R\E b 15.3 单层膜 314
KD]8n]c 15.4 多层膜 314
Yc+0OBH[ 15.5 含义 319
#8.%YG 15.6 反演工程实例 319
0(fN 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
ZRYs7 4< 15.6.2 反演工程提取折射率 327
,@2d<d] 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
0*?~I;.2m$ 16.1 光学性质的热致偏移 329
^hOnLy2 16.2 应力工具 335
zItf>j7|Z 16.3 均匀性误差 339
a}l^+ 16.3.1 圆锥工具 339
OA#AiQUR 16.3.2 波前问题 341
3RpDIl`0 16.4 参考文献 343
p;av63i 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
?`?"j<4e 17.1 引言 345
;5tSXgGw7 17.2 操作数 345
/M>8ad 18 如何在Function中编写脚本 351
o ~"?K2@T 18.1 简介 351
6yZfV7I 18.2 什么是脚本? 351
%H\i}}PTe 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
qv<[f=X9| 18.4 基础 352
X^4HYm 18.4.1 Classes(类别) 352
0tVZvXgTu 18.4.2 对象 352
A@^e4\ 18.4.3 信息(Messages) 352
BR5r K 18.4.4 属性 352
F-%wOn / 18.4.5 方法 353
HpI[Af}l 18.4.6 变量声明 353
(hTe53d<S? 18.5 创建对象 354
fk%r?K 6K 18.5.1 创建对象函数 355
<F!On5=W* 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
aNgaV$|2a 18.5.3 丢弃对象 356
aL@myq. 18.5.4 总结 356
F0
WM&{v 18.6 脚本中的表格 357
)+2GF0% 18.6.1 方法1 357
9j458Yd4* 18.6.2 方法2 357
l v]TE" 18.7 2D Plots in Scripts 358
X-Y:)UT 18.8 3D Plots in Scripts 359
`mV&[`NZ 18.9 注释 360
6Zwrk-,A 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
lb3: #? 18.11 一个更高级的脚本 362
|<&9_Aq_ 18.12 <esc>键 364
" SkTVqm 18.13 包含文件 365
yLFc?{~7 18.14 脚本被
优化调用 366
|- 39ZZOX 18.15 脚本中的对话框 368
>pjmVlw? 18.15.1 介绍 368
7r#U^d( 18.15.2 消息框-MsgBox 368
^`NU:" 18.15.3 输入框函数 370
Y9fktg. 18.15.4 自定义对话框 371
]c,ttS_ 18.15.5 对话框编辑器 371
L 1=HD 18.15.6 控制对话框 377
CqQ>"Y 18.15.7 更高级的对话框 380
.XR`iXY 18.16 Types语句 384
#|76dU 18.17 打开文件 385
4R-Y9:^t 18.18 Bags 387
e
W&;r&26 18.13 进一步研究 388
B'\^[ 19 vStack 389
4PUSFZK? 19.1 vStack基本原理 389
>$h *1/ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
Ld>y Fb(` 19.3 五棱镜 393
:lQl;Q -e 19.4 光束距离 396
D. !m*oq 19.5 误差 399
kxU<?0 19.6 二向分色棱镜 399
+u;f]p 19.7 偏振泄漏 404
*Iv.W7 [ 19.8 波前误差—相位 405
=E@wi? 19.9 其它计算参数 405
VR/7CI4= 20 报表生成器 406
lquY_lrri 20.1 入门 406
i{zg{$ U 20.2 指令(Instructions) 406
*x3";%o 20.3 页面布局指令 406
G+?@4?`z 20.4 常见的参数图和三维图 407
L<bZVocOb_ 20.5 表格中的常见参数 408
x]|8 20.6 迭代指令 408
p.,o@GcL~ 20.7 报表模版 408
|5|^[v 20.8 开始设计一个报表模版 409
Eyu]0+ 21 一个新的project 413
p#HbN#^Hy 21.1 创建一个新Job 414
"5*n(S{ks 21.2 默认设计 415
Nx>WOb98
21.3 薄膜设计 416
>}{'{
Z
& 21.4 误差的灵敏度计算 420
%/!n]g- 21.5 显色指数计算 422
#@xSR:m 21.6 电场分布 424
)%'Lm 后记 426
b6%T[B B 对此书有兴趣可以扫码加微联系
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