4hl`~&yDf 内容简介
T:<mme3v Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
FdwlRu G 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
@m`1Vq?O 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
`8x.Mv :"G x ,ma4bqRMc
gdj,e ^ 目录
+cXdF Preface 1
TyGsSc 内容简介 2
r
&.gOC 目录 i
pnTuYT^%) 1 引言 1
(Ts#^qC 2 光学薄膜基础 2
Jxo#sV-
2.1 一般规则 2
oS0rP'V^ 2.2 正交入射规则 3
506AvD 2.3 斜入射规则 6
cXDG(.!n7B 2.4 精确计算 7
)@\Eibt2oH 2.5 相干性 8
ov xX.hO 2.6 参考文献 10
1b``y 3 Essential Macleod的快速预览 10
QKP@+E_U 4 Essential Macleod的特点 32
paYvYK-K? 4.1 容量和局限性 33
Au"7w=G`f 4.2 程序在哪里? 33
!'5t(Zw5 4.3 数据文件 35
^U;r>[T9h 4.4 设计规则 35
LX%UkfA9 4.5 材料数据库和
资料库 37
P`$Y73L 4.5.1材料损失 38
-~+Y0\%E 4.5.1材料数据库和导入材料 39
vyhxS .[9 4.5.2 材料库 41
uP.[,V0@^ 4.5.3导出材料数据 43
b^dBX 4.6 常用单位 43
Ld4Jp`Zg 4.7 插值和外推法 46
[g Y.h/ 4.8 材料数据的平滑 50
Om,M8!E 4.9 更多光学常数模型 54
<#ZDA/G( 4.10 文档的一般编辑规则 55
$T2n^yz 4.11 撤销和重做 56
S(NUuu}S 4.12 设计文档 57
Cn"L*\o 4.10.1 公式 58
y%Wbm&h 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
^v+7IFn 4.10.3 沉积密度 59
&60#y4 4.10.4 平行和楔形介质 60
7nl 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
gZ 6Hj62D 4.10.4 性能 61
n[c/L8j 4.10.5 保存设计和性能 64
.!2Ac 4.10.6 默认设计 64
,/1[(^e 4.11 图表 64
>sZ207* 4.11.1 合并曲线图 67
Xxmvg.Nl 4.11.2 自适应绘制 68
W^T6^q5;H 4.11.3 动态绘图 68
dt1,!sHn 4.11.4 3D绘图 69
<&87aDYz 4.12 导入和导出 73
IA(+}V 4.12.1 剪贴板 73
"v[?`<53^l 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
=>u9k:('9 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
DcmRb/AP* 4.13 背景 77
\EC7*a0 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
a";xG,U 4.15 生成Rugate 84
'i7!"Y6> 4.16 参考文献 91
R)u ${ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
EwuBL6kN 5.1 Jobs 92
V+MhS3VD 5.2 创建一个新Job(工作) 93
QVJvuiUh 5.3 输入材料 94
<f/wWu} 5.4 设计数据文件夹 95
*p>1s!i 5.5 默认设计 95
[*2|#KSCX 6 细化和合成 97
qE)G;Y<,1 6.1 优化介绍 97
"PtOe[Xk 6.2 细化 (Refinement) 98
f^D4aEU 6.3 合成 (Synthesis) 100
$/XR/ 6.4 目标和评价函数 101
Yv7`5b{N. 6.4.1 目标输入 102
r<XlIi 6.4.2 目标 103
;=oGg%@aP 6.4.3 特殊的评价函数 104
;d{lvKk 6.5 层锁定和连接 104
Z`97=:W 6.6 细化技术 104
oHj64fE9 6.6.1 单纯形 105
x}*Y =Xh 6.6.1.1 单纯形
参数 106
r\f|r$i 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
>x6$F*:W} 6.6.2.1 Optimac参数 108
(g
9G!I 6.6.3 模拟退火算法 109
uom~,k$| 6.6.3.1
模拟退火参数 109
,`nl";Zc 6.6.4 共轭梯度 111
`<x|<ey 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
\&)k{P>= 6.6.5 拟牛顿法 112
/c9%|<O% 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
"RG #e+ 6.6.6 针合成 113
Pln*?o 6.6.6.1 针合成参数 114
R$xk cg2( 6.6.7 差分进化 114
\y*,N^w u 6.6.8非局部细化 115
j9IeqlL 6.6.8.1非局部细化参数 115
v*.#LJEm 6.7 我应该使用哪种技术? 116
76M`{m 6.7.1 细化 116
q=|0lZ$`V_ 6.7.2 合成 117
Me|+)}'p5h 6.8 参考文献 117
DHO+JtO 7 导纳图及其他工具 118
h1uD >heGl 7.1 简介 118
ko<iG]Dv' 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
A1u|L^ 7.2.1 四分之一
波长规则 119
W2([vRT 7.2.2 导纳图 120
W=)wiRQm 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
<(<19t5 . 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
{x8UL7{ 7.5 斜入射导纳图 141
x w%'R- 7.6 对称周期 141
uY5Gn.Y 7.7 参考文献 142
;zl/ 8 典型的镀膜实例 143
$={WtR 8.1 单层抗反射薄膜 145
raPUx _$PH 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
T2$V5RyX 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
$3C$])k 8.4 W-膜层 148
D@yuldx'/ 8.5 V-膜层 149
b2vc 8.6 V-膜层高折射基底 150
:%hxg 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
EjYCOb- 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
@`X-=GCl 8.9 四层抗反射薄膜 153
.$,.w__m~ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
/`Wd+ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
dGb]`* E 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
RL;>1Q,H 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
s`$px2Gw 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
&_!g|- 8.15十五层宽带抗反射膜 159
yfD)|lK 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
.C2.j[> 8.17 1/4波长堆栈 162
tR]1c 8.18 陷波滤波器 163
&2!F:L 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
1jhGshhp 8.20 褶皱 165
q;kN+NK64 8.21 消偏振分光器1 169
^5l4D3@E 8.22 消偏振分光器2 171
>iCkvQ 8.23 消偏振立体分光器 172
bh8IF,@a 8.24 消偏振截止滤光片 173
U/JeEI%L 8.25 立体偏振分束器1 174
Z`l97$\ 8.26 立方偏振分束器2 177
"16-K%} 8.27 相位延迟器 178
?=]*r>a3 8.28 红外截止器 179
Q.Kr;64G 8.29 21层长波带通滤波器 180
:K3nJ1G& 8.30 49层长波带通滤波器 181
g8{?; 8.31 55层短波带通滤波器 182
"DFj4XKXY9 8.32 47 红外截止器 183
:q2tda 8.33 宽带通滤波器 184
V+()`>44 8.34 诱导透射滤波器 186
xwH+Q7O&l 8.35 诱导透射滤波器2 188
QrP$5H{[E 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
@
P=eu3 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
cs ?@Ri=g 8.35 增益平坦滤波器 193
'xdM>y#S 8.38 啁啾反射镜 1 196
eqSCNYN 8.39 啁啾反射镜2 198
lxRzyx 8.40 啁啾反射镜3 199
GLe(?\Ug= 8.41 带保护层的铝膜层 200
S!GjCog^J 8.42 增加铝反射率膜 201
H>-?/H 8.43 参考文献 202
sq_N!
9 多层膜 204
Bu'PDy~W, 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
N>OF
tP 9.2 内部透过率 204
H7e/6t<x 9.3 内部透射率数据 205
>8V;:(nt 9.4 实例 206
3986;>v 9.5 实例2 210
X,/@#pSOz 9.6 圆锥和带宽计算 212
n
?%3=~9 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
(WK$
)f 10 光学薄膜的颜色 216
lHpo/R: 10.1 导言 216
Q~4o{"3.' 10.2 色彩 216
[H#I:d-+\ 10.3 主波长和纯度 220
NA`3 10.4 色相和纯度 221
gFvFd:"uZ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
DU7kZ 10.6 色差 226
J,fXXi)J 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
FeS6>/ 10.8 颜色渲染指数 234
N1Y*IkW" 10.9 色差计算 235
G{ rUqo 10.10 参考文献 236
i4.s_@2Y 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
lX`)Avqa 11.1 短脉冲 238
>R?EJ;h 11.2 群速度 239
}[PbA4l.g 11.3 群速度色散 241
^sq3@*hCw 11.4 啁啾(chirped) 245
ij6M E6 11.5 光学薄膜—相变 245
>]=1~sF 11.6 群延迟和延迟色散 246
PZO 7eEt8 11.7 色度色散 246
&_&])V)<\S 11.8 色散补偿 249
`^s(r>2 11.9 空间
光线偏移 256
P_t8=d 11.10 参考文献 258
fPHv|_XM> 12 公差与误差 260
9il!w
g? 12.1 蒙特卡罗模型 260
3vOI=ar=L~ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
"HVwm>qEi 12.2.1 误差工具 267
h^$>{0" 12.2.2 灵敏度工具 271
0At??Zpy 12.2.2.1 独立灵敏度 271
4(&00#Yxg2 12.2.2.2 灵敏度分布 275
1,W%t\D 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
9U58# 12.3 参考文献 276
H(]lqvO 13 Runsheet 与Simulator 277
neQ2+W%oj 13.1 原理介绍 277
g4d5G=y 13.2 截止滤光片设计 277
7F3Hkvd[k 14 光学常数提取 289
96vv85g 14.1 介绍 289
nP?(9;3* 14.2 电介质薄膜 289
sEdWBT 8 14.3 n 和k 的提取工具 295
m0F-[k3) 14.4 基底的参数提取 302
[j}%&$ 14.5 金属的参数提取 306
.F)b9d[? 14.6 不正确的模型 306
)TM ![^d 14.7 参考文献 311
gSu+]N 15 反演工程 313
\,JRNL& 15.1 随机性和
系统性 313
{C*mn !u 15.2 常见的系统性问题 314
5cyl:1Ln 15.3 单层膜 314
.'"+CKD.N 15.4 多层膜 314
u!nt0hS 15.5 含义 319
-H.;73Kb[ 15.6 反演工程实例 319
)sB`!:~HjP 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
Ft`#]=IS 15.6.2 反演工程提取折射率 327
1&QI1fvx 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
*kL1r
w6 16.1 光学性质的热致偏移 329
O(/K@e 16.2 应力工具 335
V* fDvr0 16.3 均匀性误差 339
;'tsdsu} 16.3.1 圆锥工具 339
I|9e4EX{y 16.3.2 波前问题 341
tq@<8? 16.4 参考文献 343
:":W(O 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
vn0XXuquzC 17.1 引言 345
3=dGz^Zdv: 17.2 操作数 345
%)l2dK&9"j 18 如何在Function中编写脚本 351
:n'QNGj 18.1 简介 351
Cj5M 18.2 什么是脚本? 351
sNX$ =<E 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
pPh_p@3I 18.4 基础 352
?e]4HHgU] 18.4.1 Classes(类别) 352
R) @k| 18.4.2 对象 352
TmX~vZ 18.4.3 信息(Messages) 352
q.<q(r 18.4.4 属性 352
wqE ]o=
k 18.4.5 方法 353
gMI%z2]'- 18.4.6 变量声明 353
fb`VYD9[^ 18.5 创建对象 354
kHz3_B9[ 18.5.1 创建对象函数 355
! h&hPY1 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
tk}qvW.Ii 18.5.3 丢弃对象 356
51;(vf 18.5.4 总结 356
pb E`Eq 18.6 脚本中的表格 357
_7$j>xX 18.6.1 方法1 357
4ItXZ o 18.6.2 方法2 357
o{UwUMw5` 18.7 2D Plots in Scripts 358
W11_MTIU 18.8 3D Plots in Scripts 359
VWfrcSZg6M 18.9 注释 360
X dB#+"[ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
Q
`E{Oo, 18.11 一个更高级的脚本 362
eX_}KH-Q 18.12 <esc>键 364
x:l`e:`y9 18.13 包含文件 365
WJz 18.14 脚本被
优化调用 366
{_[l,tdZ 18.15 脚本中的对话框 368
Ubn5tN
MK 18.15.1 介绍 368
!0Q(x 18.15.2 消息框-MsgBox 368
O IewG5O 18.15.3 输入框函数 370
Mh_jlgE'd# 18.15.4 自定义对话框 371
Qr0JJoHT 18.15.5 对话框编辑器 371
t'9E~_!C 18.15.6 控制对话框 377
<o?qpW$,> 18.15.7 更高级的对话框 380
8<.KWr 18.16 Types语句 384
T_Y 6AII 18.17 打开文件 385
%],.?TS2V 18.18 Bags 387
1Kc*MS 18.13 进一步研究 388
mH8s'F 19 vStack 389
zo\XuoZ 19.1 vStack基本原理 389
uft~+w
P 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
Vs07d,@w> 19.3 五棱镜 393
WUa-hm2: 19.4 光束距离 396
`Rm B{qgB 19.5 误差 399
~}ewna/2 19.6 二向分色棱镜 399
MQG$J!N 19.7 偏振泄漏 404
:K8T\ 19.8 波前误差—相位 405
t 8M3VGN 19.9 其它计算参数 405
8d$~wh 20 报表生成器 406
*"e[au^8*b 20.1 入门 406
5utj$ha2 20.2 指令(Instructions) 406
#4cuNX5m% 20.3 页面布局指令 406
Yhlk#>I 20.4 常见的参数图和三维图 407
)YnB6@=nyk 20.5 表格中的常见参数 408
!J2Lp 20.6 迭代指令 408
zcZr
)Oh 20.7 报表模版 408
:'!?dszS 20.8 开始设计一个报表模版 409
KqtI^qC8 21 一个新的project 413
9L&AbmIr 21.1 创建一个新Job 414
t}oxHEa V 21.2 默认设计 415
`>#X,Lw$g 21.3 薄膜设计 416
Nxt/R%( 21.4 误差的灵敏度计算 420
R
jAeN#,? 21.5 显色指数计算 422
{'r*Jb0 21.6 电场分布 424
^NnZYr. 后记 426
9f"6Jw@F 对此书有兴趣可以扫码加微联系
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