IVnHf_PzF 内容简介
w>&aEv/f Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
m,_Z6=I: 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
\[i1JG 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
.[KrlfI 5X$ jl;6 PcMD])Z{G
&ee~p&S,> 目录
;6
D@A Preface 1
QD&`^(X1p 内容简介 2
wo{gG?B 目录 i
mfn,Gjt3O 1 引言 1
^$jb7HMObI 2 光学薄膜基础 2
\~mT]
'5 2.1 一般规则 2
2DDtu[} 2.2 正交入射规则 3
nsC3 2.3 斜入射规则 6
U[-o> W# 2.4 精确计算 7
=%K;X\NB 2.5 相干性 8
epe)a 2.6 参考文献 10
3BUSv#w{i 3 Essential Macleod的快速预览 10
/ &5,3rU.G 4 Essential Macleod的特点 32
SYJD?&C; 4.1 容量和局限性 33
m4Qh%}9% 4.2 程序在哪里? 33
V#$RR!X' 4.3 数据文件 35
h
0Q5-EA 4.4 设计规则 35
9d659iC 4.5 材料数据库和
资料库 37
Xza(k 4.5.1材料损失 38
7hcYD!DS 4.5.1材料数据库和导入材料 39
:6
R\OeH+ 4.5.2 材料库 41
ORw,)l 4.5.3导出材料数据 43
DU'`ewLL7 4.6 常用单位 43
lIS-4QX1 4.7 插值和外推法 46
H[$"+&q 4.8 材料数据的平滑 50
!>&o01i 4.9 更多光学常数模型 54
nPl?K:( 4.10 文档的一般编辑规则 55
Z]Cq3~l 4.11 撤销和重做 56
`p-cSxR_ 4.12 设计文档 57
*u [BP@vE 4.10.1 公式 58
OX!tsARC@ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
u'DRN,h+ 4.10.3 沉积密度 59
D_*WYV 4.10.4 平行和楔形介质 60
:U%W% 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
$k%2J9O 4.10.4 性能 61
P
l]O\vh 4.10.5 保存设计和性能 64
^"2J]&x`G 4.10.6 默认设计 64
E6ElNgL 4.11 图表 64
Qd$nH8ED Y 4.11.1 合并曲线图 67
mxC;?s;~ 4.11.2 自适应绘制 68
/nNN,hz 4.11.3 动态绘图 68
k$R-#f; 4.11.4 3D绘图 69
~Ea} /Au 4.12 导入和导出 73
xsbE TP? 4.12.1 剪贴板 73
a~}OZ&PG 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
`?_Q5lp/s 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
,T$U'&; 4.13 背景 77
d.d/< 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
24*XL, 4.15 生成Rugate 84
WiR(;m<g 4.16 参考文献 91
aP+X}r 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
W+?4jwqw 5.1 Jobs 92
b9HtR -iR; 5.2 创建一个新Job(工作) 93
%_W)~Pv{+ 5.3 输入材料 94
f+,qNvBY/ 5.4 设计数据文件夹 95
_op}1 5.5 默认设计 95
)_S(UVI5 6 细化和合成 97
Fj3a.' 6.1 优化介绍 97
|&) dh< 6.2 细化 (Refinement) 98
l4YJ c 6.3 合成 (Synthesis) 100
oIzj,v8$ 6.4 目标和评价函数 101
qiBVGH 6.4.1 目标输入 102
@9RM9zK.q 6.4.2 目标 103
giw &&l=_ 6.4.3 特殊的评价函数 104
37.S\gO] 6.5 层锁定和连接 104
9-a0 :bP 6.6 细化技术 104
oQVgyj. 6.6.1 单纯形 105
WO>nIo5Y 6.6.1.1 单纯形
参数 106
s)D;a-F 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
$>eCqC3 6.6.2.1 Optimac参数 108
c]o'xd,T8\ 6.6.3 模拟退火算法 109
<^jQo<kU 6.6.3.1
模拟退火参数 109
08\,<9 6.6.4 共轭梯度 111
_|I#{jK 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
q{LF>Wi 6.6.5 拟牛顿法 112
@:vwb\azVD 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
i3mcx)d@H 6.6.6 针合成 113
+lcbi 6.6.6.1 针合成参数 114
0znR0%~ 6.6.7 差分进化 114
Ie#Bkw'* 6.6.8非局部细化 115
.|fHy 6.6.8.1非局部细化参数 115
3~{:`[0Q 6.7 我应该使用哪种技术? 116
!F'YDjTot 6.7.1 细化 116
J<h$
wM 6.7.2 合成 117
HBXOjr<,{ 6.8 参考文献 117
2eY_%Y0 7 导纳图及其他工具 118
flbd0NB 7.1 简介 118
<<5(0#y# 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
N5
6g+,w%) 7.2.1 四分之一
波长规则 119
0IBSRFt$g& 7.2.2 导纳图 120
?1
4{J]H4 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
N<VJ(20y 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
?GR"FmB( 7.5 斜入射导纳图 141
=X:Y,? 7.6 对称周期 141
xY(*.T9K 7.7 参考文献 142
f46t9dxp$ 8 典型的镀膜实例 143
+\
.Lp 5 8.1 单层抗反射薄膜 145
hnhd{$2Z 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
uHzU-FZ|B 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
0 /U{p,r6` 8.4 W-膜层 148
M!^az[[ 8.5 V-膜层 149
Ai3*QX 8.6 V-膜层高折射基底 150
VjZ|$k 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
Lnl=.z`jK 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
Eo]xNn/g 8.9 四层抗反射薄膜 153
t-bB>q#3> 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
-x`@6 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
+',S]Edx 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
]&+s6{} 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
]Q)OL 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
=dYqS[kJW 8.15十五层宽带抗反射膜 159
c,+:i1IAy 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
JP[K;/ 8.17 1/4波长堆栈 162
/t$d\b17pX 8.18 陷波滤波器 163
h
J)h\ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
JU&c.p
/ 8.20 褶皱 165
`Eo.v#< 8.21 消偏振分光器1 169
w%jII{@, 8.22 消偏振分光器2 171
-X2Buz8 8.23 消偏振立体分光器 172
_F|Ek ;y% 8.24 消偏振截止滤光片 173
wjB:5~n50k 8.25 立体偏振分束器1 174
/"Uqa,{ 8.26 立方偏振分束器2 177
[5Mr@f4I 8.27 相位延迟器 178
o`z]|G1'' 8.28 红外截止器 179
5K8^WK 8.29 21层长波带通滤波器 180
~dTrf>R8M 8.30 49层长波带通滤波器 181
x7<K<k;s 8.31 55层短波带通滤波器 182
u <v7;dF|s 8.32 47 红外截止器 183
/!XVHkX[ 8.33 宽带通滤波器 184
60?%<oJ oH 8.34 诱导透射滤波器 186
k>si5'W 8.35 诱导透射滤波器2 188
E""bTz@ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
FP4P|kl/9' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
O5T{eBo\ 8.35 增益平坦滤波器 193
Ry6@VQ"NLb 8.38 啁啾反射镜 1 196
T'Dv.h 8.39 啁啾反射镜2 198
U 0P~ 8.40 啁啾反射镜3 199
B>P{A7Q 8.41 带保护层的铝膜层 200
pG;U2wE 8.42 增加铝反射率膜 201
DT&@^$? 8.43 参考文献 202
8P&:_T! 9 多层膜 204
}9}h*RWm 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
0*{%=M 9.2 内部透过率 204
^v7gIC 9.3 内部透射率数据 205
Ok=hT|}Y 9.4 实例 206
A#YrWW 9.5 实例2 210
]Gq !`O1 9.6 圆锥和带宽计算 212
Em~>9f
?Q( 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
SSMHoJGm 10 光学薄膜的颜色 216
oE]QF.n# 10.1 导言 216
p>8D;#HmL 10.2 色彩 216
LyFN.2qw 10.3 主波长和纯度 220
+A?U{q 10.4 色相和纯度 221
mxdr,Idx 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
tf`^v6m%] 10.6 色差 226
28d'7El$ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
OYn}5RN 10.8 颜色渲染指数 234
Se =`N 10.9 色差计算 235
c(s.5p ^ 10.10 参考文献 236
}b.%Im<3R 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
XUuN )i 11.1 短脉冲 238
X$W~mQma6 11.2 群速度 239
Yr[\|$H5 11.3 群速度色散 241
4~Q/"hMSkO 11.4 啁啾(chirped) 245
L)
T (< 11.5 光学薄膜—相变 245
{&1/V 11.6 群延迟和延迟色散 246
PB\x3pV!} 11.7 色度色散 246
svH !1b 11.8 色散补偿 249
S;`A{Mow 11.9 空间
光线偏移 256
,r\o}E2 11.10 参考文献 258
49HZ2`Y 12 公差与误差 260
dDLeSz$b 12.1 蒙特卡罗模型 260
Q*~]h;6\{d 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
'?(% Zxw%& 12.2.1 误差工具 267
1/J=uH 12.2.2 灵敏度工具 271
I9ep`X6Y 12.2.2.1 独立灵敏度 271
ePo}y])2 12.2.2.2 灵敏度分布 275
A^<jy=F& 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
U&p${IcEm 12.3 参考文献 276
2g! +<YZ~ 13 Runsheet 与Simulator 277
`3&v6 13.1 原理介绍 277
=Jb>x#Y 13.2 截止滤光片设计 277
9q~s}='" 14 光学常数提取 289
c9h6C 14.1 介绍 289
6(ol1
(U 14.2 电介质薄膜 289
l2Rb\4 14.3 n 和k 的提取工具 295
z-)O9PV 14.4 基底的参数提取 302
|@4' <4t 14.5 金属的参数提取 306
k;FUs[ 14.6 不正确的模型 306
*gWwALGo5 14.7 参考文献 311
r*Ca}Z 15 反演工程 313
xU`p|(SS- 15.1 随机性和
系统性 313
:"/d|i`T 15.2 常见的系统性问题 314
}&D32\ 15.3 单层膜 314
#AQV(;r7@ 15.4 多层膜 314
v`
1lxX'* 15.5 含义 319
U # qK. 15.6 反演工程实例 319
E~"y$Fqe 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
-(H0>Ap 15.6.2 反演工程提取折射率 327
1iF1GkLEq 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
6T`i/". 16.1 光学性质的热致偏移 329
c{w2Gt! 16.2 应力工具 335
h@ryy\9 16.3 均匀性误差 339
Z(CkZll 16.3.1 圆锥工具 339
f) L 16.3.2 波前问题 341
$f7l34Sf3 16.4 参考文献 343
t*w/{|yO 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
92oFlEJ 17.1 引言 345
z~s PXGb 17.2 操作数 345
}k.Z~1y 18 如何在Function中编写脚本 351
/cP"h!P}~~ 18.1 简介 351
1bwOmhkS 18.2 什么是脚本? 351
X!EP$! 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
T]~xj4 18.4 基础 352
-zfR)(zG 18.4.1 Classes(类别) 352
d8P^lv*rQW 18.4.2 对象 352
}Jj}%XxKs 18.4.3 信息(Messages) 352
s!$a\ k 18.4.4 属性 352
%d9uTm; 18.4.5 方法 353
a9Zq{Ysj 18.4.6 变量声明 353
9_/:[N6|c| 18.5 创建对象 354
(TT}6j 18.5.1 创建对象函数 355
Ml-6OvQ7g 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
c@L< Z` u 18.5.3 丢弃对象 356
[ub e6 18.5.4 总结 356
!R`{ TbN 18.6 脚本中的表格 357
l+0oS'`V*L 18.6.1 方法1 357
7;@]t^d=$ 18.6.2 方法2 357
4;2uW#dG" 18.7 2D Plots in Scripts 358
NC6&x=!3 18.8 3D Plots in Scripts 359
l9Q-iJ 18.9 注释 360
mj7#&r,1l 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
Tpa5N'O 18.11 一个更高级的脚本 362
8'y$M] e9n 18.12 <esc>键 364
gL/9/b4 18.13 包含文件 365
) ;Y;Q 18.14 脚本被
优化调用 366
('+d.F[109 18.15 脚本中的对话框 368
>uEzw4w 18.15.1 介绍 368
((%?`y 18.15.2 消息框-MsgBox 368
M x"\5i 18.15.3 输入框函数 370
;L ^o*` 18.15.4 自定义对话框 371
k)TpnH! " 18.15.5 对话框编辑器 371
Q\sK"~@3 18.15.6 控制对话框 377
cQ}{[YO 18.15.7 更高级的对话框 380
b4Ekqas 18.16 Types语句 384
KLk~Y0$:v 18.17 打开文件 385
+D*Z_Yh6 18.18 Bags 387
4Ftu 18.13 进一步研究 388
42ge3> 19 vStack 389
.O<obq~;C 19.1 vStack基本原理 389
:NTO03F7v 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
~6md !o%i 19.3 五棱镜 393
o.`5D%}i 19.4 光束距离 396
T6$+hUM$1 19.5 误差 399
EU Fa5C: 19.6 二向分色棱镜 399
XW92gI<O 19.7 偏振泄漏 404
@BMx!r5kn 19.8 波前误差—相位 405
gbD KE{ 19.9 其它计算参数 405
vtJJ#8a]
20 报表生成器 406
"_?nN"A7 20.1 入门 406
VuZr:-K/ 20.2 指令(Instructions) 406
E2+`4g@{8< 20.3 页面布局指令 406
MomwX 20.4 常见的参数图和三维图 407
\o3gKoL% 20.5 表格中的常见参数 408
+&H4m=D-#a 20.6 迭代指令 408
'$+ogBS
20.7 报表模版 408
8zq=N#x 20.8 开始设计一个报表模版 409
XQw9~$ 21 一个新的project 413
E _|<jy$` 21.1 创建一个新Job 414
*lJxH8 \ 21.2 默认设计 415
d2L&Z_} 21.3 薄膜设计 416
7F.4Ga; 21.4 误差的灵敏度计算 420
;722\y(Y 21.5 显色指数计算 422
ZS o) 21.6 电场分布 424
7_[L o4_ 后记 426
`\ol,B_l 对此书有兴趣可以扫码加微联系
}Ou}+^Bc