2yA+zJ
46B 内容简介
ie<m) Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
HkyN$1s 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
_"- ,ia[D 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
{0Ej*% $ZnVs@:S opqf)C
qQCds}<w 目录
qEnmms 1 Preface 1
-d6PXf5 内容简介 2
pNc4o@- 目录 i
}62Q{>` 1 引言 1
#,rP1#? 2 光学薄膜基础 2
p *GAs
C 2.1 一般规则 2
~}s0~j ~ 2.2 正交入射规则 3
vXibg 2.3 斜入射规则 6
,~7+r#q7 2.4 精确计算 7
BmCBC,j<v> 2.5 相干性 8
mH!\]fmR~ 2.6 参考文献 10
y?8V'.f| 3 Essential Macleod的快速预览 10
LH>h]OTQF 4 Essential Macleod的特点 32
*|)O 4.1 容量和局限性 33
bs_rw+ 4.2 程序在哪里? 33
}r:8w*47 4.3 数据文件 35
ph@2[rUp 4.4 设计规则 35
UymhBh 4.5 材料数据库和
资料库 37
Cj#?Z7}z 4.5.1材料损失 38
#L xfE<^ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
q4ej7T8 4.5.2 材料库 41
qgsw8O& 4.5.3导出材料数据 43
s:Z1
ZAxv 4.6 常用单位 43
\`WAG>'l5 4.7 插值和外推法 46
1DM$FG_Z- 4.8 材料数据的平滑 50
<W88;d33r= 4.9 更多光学常数模型 54
KPI[{T\`ZM 4.10 文档的一般编辑规则 55
]d,#PF 4.11 撤销和重做 56
gYfOa`k 4.12 设计文档 57
;($ 3,d8 4.10.1 公式 58
]`eJSk. 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
??XtN.]7 4.10.3 沉积密度 59
dsA::jR0P6 4.10.4 平行和楔形介质 60
R5'_il 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
T2i\S9X 4.10.4 性能 61
5C"A*Fg?; 4.10.5 保存设计和性能 64
sys;Rz2 4.10.6 默认设计 64
Axx{G~n! [ 4.11 图表 64
Zz56=ZX*_ 4.11.1 合并曲线图 67
ceNJXK 4.11.2 自适应绘制 68
(r$QQO)/ 4.11.3 动态绘图 68
"'mr0G9X 4.11.4 3D绘图 69
f`_6X~
p 4.12 导入和导出 73
q<?r5H5 4.12.1 剪贴板 73
;q" ,Bs 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
mS >I#? 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
Y# ?M%I%j 4.13 背景 77
j:'!P<# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
+/2: 4.15 生成Rugate 84
u^&,~n@n7 4.16 参考文献 91
/BfCh(B 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
R=s^bYdoy 5.1 Jobs 92
R,[+9U|4V 5.2 创建一个新Job(工作) 93
R86:1 5.3 输入材料 94
CiC@Z,ud` 5.4 设计数据文件夹 95
'C\knQ 5.5 默认设计 95
bL18G(5 6 细化和合成 97
ut;KphvSH 6.1 优化介绍 97
dG'5: ,n/ 6.2 细化 (Refinement) 98
Qv:J#uVw?O 6.3 合成 (Synthesis) 100
y{1|@?ii 6.4 目标和评价函数 101
cLCzLNyKl 6.4.1 目标输入 102
9A1w5|X 6.4.2 目标 103
"Kt[jV;6 6.4.3 特殊的评价函数 104
1dX)l 6.5 层锁定和连接 104
d#wK 6.6 细化技术 104
NpF}~$2 6.6.1 单纯形 105
3Ho<4_I, 6.6.1.1 单纯形
参数 106
XP_V 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
a+{95"4 6.6.2.1 Optimac参数 108
ppo\cy; 6.6.3 模拟退火算法 109
B=J/HiwV) 6.6.3.1
模拟退火参数 109
OgBZoTT 6.6.4 共轭梯度 111
@X*r5hjc 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
h; sdm/ 6.6.5 拟牛顿法 112
L[9]Ez$2+ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
OQZ\/~o 5 6.6.6 针合成 113
5T;,wQ< 6.6.6.1 针合成参数 114
\m;"KyP+ 6.6.7 差分进化 114
[!E~pW%|n 6.6.8非局部细化 115
*FEY"W+bY 6.6.8.1非局部细化参数 115
>VWH
bo 6.7 我应该使用哪种技术? 116
_"#ucM=B:- 6.7.1 细化 116
!t92_y3 6.7.2 合成 117
nFfwVqV 6.8 参考文献 117
w/m~#`a 7 导纳图及其他工具 118
4`+hX' 7.1 简介 118
K# dV. 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
y1:#0 7.2.1 四分之一
波长规则 119
kKg%[zXS 7.2.2 导纳图 120
SZQ4e 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
27Ve $Q8]v 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
U
i ~*] 7.5 斜入射导纳图 141
3xnu SOdh 7.6 对称周期 141
Pkw` o # 7.7 参考文献 142
@7aSq-(_l* 8 典型的镀膜实例 143
,:QDl 8.1 单层抗反射薄膜 145
+e%U6&l{ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
s8<)lO<SV. 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
0jN?5j 8.4 W-膜层 148
Z[{ :
` 8.5 V-膜层 149
8L7ZWw
d 8.6 V-膜层高折射基底 150
qSWnv`hL 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
:h+gSvn: 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
"*E%?MG 8.9 四层抗反射薄膜 153
R_2JP C 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
s$ 2@ |; 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
Qm X(s 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
~y(-j[ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
L4'FL?~I 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
IL]VY1'# 8.15十五层宽带抗反射膜 159
yS[Z%]bvU 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
z@0*QZ.y1 8.17 1/4波长堆栈 162
v*7lJNN. 8.18 陷波滤波器 163
e/;chMCq 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
OxraaN` 8.20 褶皱 165
~D)!zQkD 8.21 消偏振分光器1 169
?>W4*8( 8.22 消偏振分光器2 171
p ft6
@'q 8.23 消偏振立体分光器 172
zU'\r~c 8.24 消偏振截止滤光片 173
cR1dGNcp/@ 8.25 立体偏振分束器1 174
6h|@Bz/A 8.26 立方偏振分束器2 177
'MHbXFM 8.27 相位延迟器 178
9s-op:5 8.28 红外截止器 179
kgvB80$4 8.29 21层长波带通滤波器 180
x_oL~~@ 8.30 49层长波带通滤波器 181
Sh=Px9'i 8.31 55层短波带通滤波器 182
siHS@S 8.32 47 红外截止器 183
;$y(Tvd; 8.33 宽带通滤波器 184
w-%H\+J 8.34 诱导透射滤波器 186
q1Si*?2W 8.35 诱导透射滤波器2 188
Oop;Y^gG} 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
oO4
Wwi 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
bV#U&)| 8.35 增益平坦滤波器 193
^ )Lh5 8.38 啁啾反射镜 1 196
K`nI$l7hg 8.39 啁啾反射镜2 198
?5#Ng,8iT 8.40 啁啾反射镜3 199
pH%cbBm 8.41 带保护层的铝膜层 200
>a;^=5E 8.42 增加铝反射率膜 201
*JX)q 8.43 参考文献 202
[UVxtM J 9 多层膜 204
~O)Uz| 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
lGI5 9.2 内部透过率 204
o?f7_8fG 9.3 内部透射率数据 205
xP.B,1\X 9.4 实例 206
28;D>6c 9.5 实例2 210
Vs~^r> 9.6 圆锥和带宽计算 212
B8^tIq
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
W%f:+s}cI 10 光学薄膜的颜色 216
&t+ 10.1 导言 216
0}YR= 10.2 色彩 216
" -4V48ci 10.3 主波长和纯度 220
mN^92@eebC 10.4 色相和纯度 221
?gb"S, 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
?=]`X=g6 10.6 色差 226
sD$
\!7:b 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
:5G3uN+\ 10.8 颜色渲染指数 234
J<Wz3}w6 10.9 色差计算 235
,P ?TYk 10.10 参考文献 236
W>Y8 u8 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
K h9 $ 11.1 短脉冲 238
,epKt(vl 11.2 群速度 239
w|x=^ 11.3 群速度色散 241
cWl)ZE<hM 11.4 啁啾(chirped) 245
z= -u89] 11.5 光学薄膜—相变 245
p;:tzH\l 11.6 群延迟和延迟色散 246
Bo?uwi 11.7 色度色散 246
sB_o
HUMH6 11.8 色散补偿 249
:<=!v5 SK 11.9 空间
光线偏移 256
BJk:h-m [ 11.10 参考文献 258
K6kPNi 12 公差与误差 260
e_+`%A+- 12.1 蒙特卡罗模型 260
PNXZ 3:W 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
zh'TR$+\hO 12.2.1 误差工具 267
e|
(jv<~r 12.2.2 灵敏度工具 271
!Y-MUZ$f 12.2.2.1 独立灵敏度 271
pvTV* 12.2.2.2 灵敏度分布 275
UM7Ft" 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
!W/O g 5n 12.3 参考文献 276
Phl't~k 13 Runsheet 与Simulator 277
<pGPuw|~I 13.1 原理介绍 277
Z!C\n[R/ 13.2 截止滤光片设计 277
6rL'hB!!]* 14 光学常数提取 289
$nQ; ++ 14.1 介绍 289
fcb:LPk; 14.2 电介质薄膜 289
&-+qB
>SK> 14.3 n 和k 的提取工具 295
{o7ibw=E) 14.4 基底的参数提取 302
A6}M F 14.5 金属的参数提取 306
0\wMlV`F 14.6 不正确的模型 306
/`0*!sN*5 14.7 参考文献 311
P"_x/C(]@J 15 反演工程 313
BD,JBu] 15.1 随机性和
系统性 313
z-uJ+SA 15.2 常见的系统性问题 314
(o{-1Dg) 15.3 单层膜 314
US'X9=b_ 15.4 多层膜 314
Wt"@?#L 15.5 含义 319
gE JmMh 15.6 反演工程实例 319
JiP]FJ; 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
F&;g<
SD 15.6.2 反演工程提取折射率 327
SxC$EQgL 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
%|Gi'-'|b$ 16.1 光学性质的热致偏移 329
!
2"zz/N{ 16.2 应力工具 335
7i~::Z < 16.3 均匀性误差 339
<(?ahO5 16.3.1 圆锥工具 339
5JDqSz{ 16.3.2 波前问题 341
2Y&z}4'j 16.4 参考文献 343
oScHmGFv 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
]1%H.pF 17.1 引言 345
B+ GPTQSTb 17.2 操作数 345
IoJkM-^H&) 18 如何在Function中编写脚本 351
p{!aRB% 18.1 简介 351
u~Q0V J~ 18.2 什么是脚本? 351
KwWqsuju 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
G-Z_pGer^ 18.4 基础 352
%B3E9<9>U 18.4.1 Classes(类别) 352
X.,SXNS+B 18.4.2 对象 352
d#I'9O0& 18.4.3 信息(Messages) 352
17H_>a\` 18.4.4 属性 352
tHXt*tzq 18.4.5 方法 353
X6!u(plVQ 18.4.6 变量声明 353
M\,0<{ 18.5 创建对象 354
y .S0^ 18.5.1 创建对象函数 355
9fvy)kX;s 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
(p68Qe%OuG 18.5.3 丢弃对象 356
,\[&%ph 18.5.4 总结 356
0Apdhwk~ 18.6 脚本中的表格 357
+f+x3OMX3 18.6.1 方法1 357
~({aj|Y 18.6.2 方法2 357
`f*?|) 18.7 2D Plots in Scripts 358
B!!xu 18.8 3D Plots in Scripts 359
W )q^@6[d 18.9 注释 360
Ne@Iv)g? 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
g{8>2OK$c 18.11 一个更高级的脚本 362
?nB).fc 18.12 <esc>键 364
-&M9Yg|Se 18.13 包含文件 365
7&:gvhw 18.14 脚本被
优化调用 366
eek5Xm 18.15 脚本中的对话框 368
4Me*QYD 18.15.1 介绍 368
s8{3~ Hv 18.15.2 消息框-MsgBox 368
D._q'v< 18.15.3 输入框函数 370
TWEmW&Q 18.15.4 自定义对话框 371
/^DDU!=(< 18.15.5 对话框编辑器 371
#_QvnQ?I 18.15.6 控制对话框 377
tu6c!o,@ 18.15.7 更高级的对话框 380
^;c!)0Q<Z 18.16 Types语句 384
]$4 k+)6 18.17 打开文件 385
C:_!zY'z 18.18 Bags 387
n+rAbn5o$ 18.13 进一步研究 388
b,~4O~z 19 vStack 389
oA"t`,3 19.1 vStack基本原理 389
aQMET~A: 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
bh6Mh<+ 19.3 五棱镜 393
b@Ik
c< 19.4 光束距离 396
^lB1- ;ng 19.5 误差 399
>UE_FC*u 19.6 二向分色棱镜 399
MH 'S,^J 19.7 偏振泄漏 404
5sM-E>8G^{ 19.8 波前误差—相位 405
e~W35Y>A 19.9 其它计算参数 405
g>_6O[;t% 20 报表生成器 406
E6NkuBQ(( 20.1 入门 406
,@/b7BVv 20.2 指令(Instructions) 406
X{9D fgW 20.3 页面布局指令 406
#v=hiL 20.4 常见的参数图和三维图 407
e8a_)TU? 20.5 表格中的常见参数 408
C=h$8Q 20.6 迭代指令 408
bb$1RLyRL 20.7 报表模版 408
v~?d7p{ 20.8 开始设计一个报表模版 409
s IY`H^ 21 一个新的project 413
y!1%Kqx1,n 21.1 创建一个新Job 414
9|D!&=8
21.2 默认设计 415
p;"pTGoWi 21.3 薄膜设计 416
Ii,e=RG> 21.4 误差的灵敏度计算 420
H"WkyvqXb 21.5 显色指数计算 422
iPa!pg4m 21.6 电场分布 424
Z$k4T$,[- 后记 426
gJ+MoAM" 对此书有兴趣可以扫码加微联系
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