yPzULO4 内容简介
[pRVZV Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
-Z/6;2Q 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
*1ID`o 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
F=*BvI"+ (TbB?X} /`j K
:Z*02JwK 目录
D
7;~x]* Preface 1
O_s9 内容简介 2
w ufKb.4` 目录 i
Chb4VoE 1 引言 1
bz}AO))Hk 2 光学薄膜基础 2
^%4(
%68 2.1 一般规则 2
69<rsp(p 2.2 正交入射规则 3
+*:x#$phx 2.3 斜入射规则 6
![X.% 2.4 精确计算 7
kDceBs s 2.5 相干性 8
T`RQUJO 2.6 参考文献 10
)z4kP09 3 Essential Macleod的快速预览 10
KH@) +Rj 4 Essential Macleod的特点 32
"z(fBnv 4.1 容量和局限性 33
go%X%Os] 4.2 程序在哪里? 33
,G!_ SZ
4.3 数据文件 35
x`=5l` 4.4 设计规则 35
v%l|S{>( 4.5 材料数据库和
资料库 37
5Ky9P z 4.5.1材料损失 38
L2/<+Zw 4.5.1材料数据库和导入材料 39
pn_gq~5ng 4.5.2 材料库 41
(Aov}I+ 4.5.3导出材料数据 43
*C:q _/ 4.6 常用单位 43
O7<V@GL+ 4.7 插值和外推法 46
i>kNz(* 4.8 材料数据的平滑 50
\.{pZMM 4.9 更多光学常数模型 54
YRM6\S)py 4.10 文档的一般编辑规则 55
)8N)Z~h 4.11 撤销和重做 56
w4<u@L 4.12 设计文档 57
8 *(W |J 4.10.1 公式 58
D!D%. 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
sJYKt 4.10.3 沉积密度 59
JY050FL 4.10.4 平行和楔形介质 60
dn.c#,Y 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
)>#<S0>'j 4.10.4 性能 61
m(7_ZiL= 4.10.5 保存设计和性能 64
|)P;%Fy9 4.10.6 默认设计 64
n.H`1@ 4.11 图表 64
ow>[#.ua 4.11.1 合并曲线图 67
yn ?U7`V 4.11.2 自适应绘制 68
~E:/oV:4 > 4.11.3 动态绘图 68
['N#aDh.? 4.11.4 3D绘图 69
.n|3A3: 4.12 导入和导出 73
Rp@}9qijb 4.12.1 剪贴板 73
<&m 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
Z5^,!6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
C6T 9 4.13 背景 77
)mo|.L0 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
*}WqYqOow 4.15 生成Rugate 84
1
FIiX 4.16 参考文献 91
}"; hz*a 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
G}hkr 5.1 Jobs 92
=L; n8~{@y 5.2 创建一个新Job(工作) 93
iNrmhiql 5.3 输入材料 94
HIp {< M3 5.4 设计数据文件夹 95
LM`tNZ1Fc! 5.5 默认设计 95
K
v># 6 细化和合成 97
NN pa69U 6.1 优化介绍 97
>5@ 0lYhH 6.2 细化 (Refinement) 98
W!9f'Yn 6.3 合成 (Synthesis) 100
TX5/{cHd 6.4 目标和评价函数 101
:w`i 6.4.1 目标输入 102
6V_5BpXt 6.4.2 目标 103
U>M>FZ 6.4.3 特殊的评价函数 104
+w}%gps 6.5 层锁定和连接 104
$YO]IK$ 6.6 细化技术 104
"@'9+$i6 6.6.1 单纯形 105
-){^
Q:u 6.6.1.1 单纯形
参数 106
"@<g'T0 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
PT*@#:MA 6.6.2.1 Optimac参数 108
O7_NXfh| 6.6.3 模拟退火算法 109
w\Eve: 6.6.3.1
模拟退火参数 109
GISI8W^ 6.6.4 共轭梯度 111
ewlc ^` 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
BOcEL%+ 6.6.5 拟牛顿法 112
9Qm{\ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
KqIe8bi^G 6.6.6 针合成 113
)t 7HioQ 6.6.6.1 针合成参数 114
$G([#N< 6.6.7 差分进化 114
V\lF:3C 6.6.8非局部细化 115
[8g\pPQ 6.6.8.1非局部细化参数 115
,T>2zSk 6.7 我应该使用哪种技术? 116
,3TD $2};. 6.7.1 细化 116
[
^ \) 6.7.2 合成 117
us *l+Jw,m 6.8 参考文献 117
/]58:euR 7 导纳图及其他工具 118
SxQDqoA~ 7.1 简介 118
.3SjkC4I 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
Z"&ODVP 7.2.1 四分之一
波长规则 119
e/I{N0SR 7.2.2 导纳图 120
pv.),Iv-68 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
^rb7`s#G 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
24k}~"We 7.5 斜入射导纳图 141
Gi_X+os 7.6 对称周期 141
;Cpm3at 7.7 参考文献 142
g}`CdVQ2M< 8 典型的镀膜实例 143
)n61IqrW 8.1 单层抗反射薄膜 145
\FX3=WW 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
\DdVMn 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
,(b~L<zN& 8.4 W-膜层 148
ag4^y& 8.5 V-膜层 149
G`K7P`m 8.6 V-膜层高折射基底 150
,=yIfbFQ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
JugQ +0 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
(.t:sn"P 8.9 四层抗反射薄膜 153
{-Oc8XI/ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
4y)1*V U: 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
m#(x D~V 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
BU .G~0 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
#!<s& f|O 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
U}5KAi 9Z 8.15十五层宽带抗反射膜 159
{i?K~|
h 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
#rC+13 8.17 1/4波长堆栈 162
:~(^b;yhZ 8.18 陷波滤波器 163
C!A_PQ2y 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
F=lj$?4{ 8.20 褶皱 165
XX+rf 8.21 消偏振分光器1 169
+4Ra N`I 8.22 消偏振分光器2 171
DGUU1vA 8.23 消偏振立体分光器 172
Eu}A{[^\ 8.24 消偏振截止滤光片 173
Zz ?y&T 8.25 立体偏振分束器1 174
p`ZGV97 8.26 立方偏振分束器2 177
sVf7g? 8.27 相位延迟器 178
L3Iz]D3s 8.28 红外截止器 179
s;)tLJ! 8.29 21层长波带通滤波器 180
=z dti'2{4 8.30 49层长波带通滤波器 181
e1a %Rj~ 8.31 55层短波带通滤波器 182
`fHiY.- 8.32 47 红外截止器 183
{uG_)G Fr0 8.33 宽带通滤波器 184
n*|-"'j 8.34 诱导透射滤波器 186
W12K93tO 8.35 诱导透射滤波器2 188
iSax-Mc 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
ot6Pq} 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
Mqy`j9FbL 8.35 增益平坦滤波器 193
b s*Z{R 8.38 啁啾反射镜 1 196
IT"jtV 8.39 啁啾反射镜2 198
[\p0eUog/ 8.40 啁啾反射镜3 199
<>GyG-q 8.41 带保护层的铝膜层 200
W6>uLMUa 8.42 增加铝反射率膜 201
_E 8SX
v 8.43 参考文献 202
>TJ$Z3 9 多层膜 204
Sn,z$-;h; 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
@
vudeaup 9.2 内部透过率 204
G
0 yt%qHE 9.3 内部透射率数据 205
%stktVDAP 9.4 实例 206
V19*~v=u 9.5 实例2 210
_69\#YvCG 9.6 圆锥和带宽计算 212
U9s y]7 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
hkxZ=l 10 光学薄膜的颜色 216
$<#sCrNX 10.1 导言 216
/J:j'6 10.2 色彩 216
CSs6Vm!= 10.3 主波长和纯度 220
q\"$~* 10.4 色相和纯度 221
Q.yoxq 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
:'=C/AL 10.6 色差 226
0]HIc 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
gsH_pG-jU 10.8 颜色渲染指数 234
^~od*: 10.9 色差计算 235
l@
K<p 10.10 参考文献 236
TjdY Ck]' 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
Gz:a1-x 11.1 短脉冲 238
j|9 2
g 11.2 群速度 239
o\#e7 Hqbh 11.3 群速度色散 241
G Kr
L 11.4 啁啾(chirped) 245
9|,AhyhO 11.5 光学薄膜—相变 245
`pr,lL 11.6 群延迟和延迟色散 246
j3U8@tuG 11.7 色度色散 246
|V5H(2/nk 11.8 色散补偿 249
dX*PR3I-3 11.9 空间
光线偏移 256
sj~'.Zs% 11.10 参考文献 258
{s]eXc]K} 12 公差与误差 260
'u~use" 12.1 蒙特卡罗模型 260
}^t?v*kcA 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
^q$sCt} 12.2.1 误差工具 267
Wj0([n 12.2.2 灵敏度工具 271
UWp(3FQ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
Vow+,,oh 12.2.2.2 灵敏度分布 275
xe'*%3-v) 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
%!RQ:?= 12.3 参考文献 276
(nm&\b~j 13 Runsheet 与Simulator 277
q.4DwY5 L 13.1 原理介绍 277
GzX@Av$ 13.2 截止滤光片设计 277
Rh|&{Tf 14 光学常数提取 289
S_zE+f+
2 14.1 介绍 289
VPuzu| 14.2 电介质薄膜 289
IZGty=Q_ 14.3 n 和k 的提取工具 295
"A7tb39* 14.4 基底的参数提取 302
uWSG+ 14.5 金属的参数提取 306
,h"M{W$ 14.6 不正确的模型 306
y)2]:nD`B 14.7 参考文献 311
uzOZxW[e 15 反演工程 313
r QF%; 15.1 随机性和
系统性 313
EW)]75o{QF 15.2 常见的系统性问题 314
[&$z[/4:8c 15.3 单层膜 314
'" 6VfF)* 15.4 多层膜 314
HDYoM 15.5 含义 319
ev`p!p 15.6 反演工程实例 319
%rkUy?=vu 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
H3JWf
MlW 15.6.2 反演工程提取折射率 327
iPao54Z 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
lxbZM9A2 16.1 光学性质的热致偏移 329
TA*49Qp 16.2 应力工具 335
};|'8'5 16.3 均匀性误差 339
sy~mcH:%+ 16.3.1 圆锥工具 339
ry:tL0;;e# 16.3.2 波前问题 341
B; ~T|ex u 16.4 参考文献 343
)57OZ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
-<.>jX 17.1 引言 345
-1[ri8t;nV 17.2 操作数 345
NGNn_1 18 如何在Function中编写脚本 351
)<+Z,6 18.1 简介 351
2HUoT\M 18.2 什么是脚本? 351
bR.T94-8y 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
nG2RBeJV 18.4 基础 352
HG3jmI+u> 18.4.1 Classes(类别) 352
FYzl- 7!Y 18.4.2 对象 352
6d,"GT 18.4.3 信息(Messages) 352
:t(}h!7 18.4.4 属性 352
%k"-rmW 18.4.5 方法 353
~&g:7f|X 18.4.6 变量声明 353
I3A](`
18.5 创建对象 354
rkVZP!7! 18.5.1 创建对象函数 355
tUzuel* 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
l-5-Tf&j 18.5.3 丢弃对象 356
=fm/l-P@ 18.5.4 总结 356
w$1.h'2 18.6 脚本中的表格 357
zZkwfF 18.6.1 方法1 357
kj>XKZL10 18.6.2 方法2 357
P
)`-cfg 18.7 2D Plots in Scripts 358
v6]lH9c{, 18.8 3D Plots in Scripts 359
dz?:)5>I 18.9 注释 360
7p|Pv;wp| 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
nfd^'}$] 18.11 一个更高级的脚本 362
o +&/ N-t 18.12 <esc>键 364
o|*,<5t 18.13 包含文件 365
GZ9XG"> 18.14 脚本被
优化调用 366
o)w'w34FCT 18.15 脚本中的对话框 368
=*t)@bn 18.15.1 介绍 368
g=b'T- 18.15.2 消息框-MsgBox 368
VF;%Z 18.15.3 输入框函数 370
ee6Zm+.B 18.15.4 自定义对话框 371
nlh%O@, 18.15.5 对话框编辑器 371
Bp9
u6R 18.15.6 控制对话框 377
H`kfI"u8 18.15.7 更高级的对话框 380
="MG>4j3.F 18.16 Types语句 384
PM,I?lJ , 18.17 打开文件 385
[(]uin+9Q 18.18 Bags 387
w<>B4m\ 18.13 进一步研究 388
y/E%W/3 19 vStack 389
(.Sj"6+ 19.1 vStack基本原理 389
Rzw}W7zg[ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
s(-$|f+s 19.3 五棱镜 393
iielAj*b 19.4 光束距离 396
-GQ`n01 19.5 误差 399
%<P&"[F]v@ 19.6 二向分色棱镜 399
2wikk]Z 19.7 偏振泄漏 404
G$WMW@fy 19.8 波前误差—相位 405
_HGbR/ 19.9 其它计算参数 405
K-#v5_* 20 报表生成器 406
o[aRG7C 20.1 入门 406
DdPU\ ZWR 20.2 指令(Instructions) 406
tK1P7pbC8r 20.3 页面布局指令 406
kowBB0 20.4 常见的参数图和三维图 407
y3kXfSe 20.5 表格中的常见参数 408
eWE7>kwh 20.6 迭代指令 408
rMUn ~ 20.7 报表模版 408
rdSkGb 20.8 开始设计一个报表模版 409
"cj6i{x,~w 21 一个新的project 413
/U+0T>(HS 21.1 创建一个新Job 414
sBt,y_LW 21.2 默认设计 415
J.35Ad1hM 21.3 薄膜设计 416
;5MI8 21.4 误差的灵敏度计算 420
=[`B -? 21.5 显色指数计算 422
\9jEpE^Ju( 21.6 电场分布 424
Gu-6~^Km9 后记 426
"]B:QeMeF! 对此书有兴趣可以扫码加微联系
&( aw