0yhC_mI 内容简介
xt7ZrT Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
\YE(E04w57 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
XrY\ot`,D 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
KErQCBeJ WleE$ , )_eEM1
]Z?y\L*M- 目录
qU(,q/l Preface 1
;by`[) 内容简介 2
7{%_6b" 目录 i
]o18oY( 1 引言 1
|'B-^? ; 2 光学薄膜基础 2
B8){ 2.1 一般规则 2
.tv'` 2.2 正交入射规则 3
6ge,2[PU 2.3 斜入射规则 6
'O%itCy) 2.4 精确计算 7
j\kT
H 2.5 相干性 8
nKI]f`P7 2.6 参考文献 10
[&e|:1 3 Essential Macleod的快速预览 10
_?"P<3/iF 4 Essential Macleod的特点 32
1 !N+hf 4.1 容量和局限性 33
3mI(5~4A]? 4.2 程序在哪里? 33
F7!g+LPc< 4.3 数据文件 35
$l05VZ 4.4 设计规则 35
V*X6 <} 4.5 材料数据库和
资料库 37
@]v}&j7 4.5.1材料损失 38
Wt|IKCx 4.5.1材料数据库和导入材料 39
TI^W=5W@@ 4.5.2 材料库 41
v?Z30?_&h 4.5.3导出材料数据 43
cR'l\iv+ 4.6 常用单位 43
Hd*e9;z 4.7 插值和外推法 46
w$Zi'+&* 4.8 材料数据的平滑 50
<$6r1y*G 4.9 更多光学常数模型 54
5bKBVkJ' 4.10 文档的一般编辑规则 55
1:!_AU? 4.11 撤销和重做 56
@d&(*9Y 4.12 设计文档 57
.
V5Pr}"y 4.10.1 公式 58
BvQMq5& 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
BbU%p 4.10.3 沉积密度 59
,sw|OYb 4.10.4 平行和楔形介质 60
SlU?,)J} 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
GM_~2Er] 4.10.4 性能 61
sIUhk7Cd8 4.10.5 保存设计和性能 64
-|K^!G 4.10.6 默认设计 64
]Sj<1tx7f 4.11 图表 64
HQtR;[1 4.11.1 合并曲线图 67
b 6kDkE 4.11.2 自适应绘制 68
t zn1| 4.11.3 动态绘图 68
k }amSsE 4.11.4 3D绘图 69
tuT>,BbR 4.12 导入和导出 73
z$64Ep# 4.12.1 剪贴板 73
/g/]Q^ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
yvIeK6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
Fru&-T[ 4.13 背景 77
V{jQ=<)@e 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
(AYzN3
?D 4.15 生成Rugate 84
-!o*A>N 4.16 参考文献 91
{}.M(nPtv; 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
QZwUv<* 5.1 Jobs 92
(,nQ7,2EX 5.2 创建一个新Job(工作) 93
5 [GdFd>{ 5.3 输入材料 94
vIq>QXb;d 5.4 设计数据文件夹 95
eELLnU{" 5.5 默认设计 95
]rNM3@bVy 6 细化和合成 97
o,r72>| 6.1 优化介绍 97
k)j6rU 6.2 细化 (Refinement) 98
mafnkQU 6.3 合成 (Synthesis) 100
`T'[H/ 6.4 目标和评价函数 101
a/wg%cWG_ 6.4.1 目标输入 102
,xSNTOJ 6.4.2 目标 103
>Hr&F
nh+ 6.4.3 特殊的评价函数 104
1U)U {i7j 6.5 层锁定和连接 104
#%9t- 6.6 细化技术 104
84f(B E 6.6.1 单纯形 105
'c7'iDM 6.6.1.1 单纯形
参数 106
b=L4A,w~a 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
5q^5DH_; 6.6.2.1 Optimac参数 108
i'cGB5-j 6.6.3 模拟退火算法 109
,=a+;D]' 6.6.3.1
模拟退火参数 109
t.rlC5
k 6.6.4 共轭梯度 111
2v$\mL 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
'048Qykt; 6.6.5 拟牛顿法 112
O*SJx. 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
5'<J@3B 6.6.6 针合成 113
iv!; gMco 6.6.6.1 针合成参数 114
+ *W%4e 6.6.7 差分进化 114
A!$;pwn0 6.6.8非局部细化 115
&gLXS1O 6.6.8.1非局部细化参数 115
"F[e~S#V* 6.7 我应该使用哪种技术? 116
awU!3)B 6.7.1 细化 116
R@df~ 6.7.2 合成 117
=L\&}kzB 6.8 参考文献 117
.DR*MQI9 7 导纳图及其他工具 118
' Ig:- 7.1 简介 118
/Moyn"Kj{ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
sC'PtFK8z 7.2.1 四分之一
波长规则 119
oA* 88c+{f 7.2.2 导纳图 120
2^X<n{0N) 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
!#Pr'm/,mu 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
1Y:JGon 7.5 斜入射导纳图 141
&W8fEQwa 7.6 对称周期 141
*b4W+E 7.7 参考文献 142
Vl^p3f[ 8 典型的镀膜实例 143
"8$Muwm 8.1 单层抗反射薄膜 145
`t7z
LC^c 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
w-"tA`F4 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
t`-
[ 8.4 W-膜层 148
&c^tJ-s 8.5 V-膜层 149
5oe{i/#di 8.6 V-膜层高折射基底 150
5yL\@7u` 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
*DgRF/S 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
3o2x&v 8.9 四层抗反射薄膜 153
>:bXw#w] 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
=B{B?B"r 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
Ofc
u4pi 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
w5+(A_ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
$ghlrV;:ct 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
(kVxa8 0 8.15十五层宽带抗反射膜 159
vkLKzsN' ] 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
V
7oE\cxr 8.17 1/4波长堆栈 162
>l b9 j> 8.18 陷波滤波器 163
sis1Dh9: 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
*`40B6dEr 8.20 褶皱 165
2U`!0~pod 8.21 消偏振分光器1 169
mhMTn*9 8.22 消偏振分光器2 171
GP(nb, 8.23 消偏振立体分光器 172
58t_j54 8.24 消偏振截止滤光片 173
g;7W%v5wqk 8.25 立体偏振分束器1 174
*EPJeblAV 8.26 立方偏振分束器2 177
-C2[ZP- 8.27 相位延迟器 178
U]&/F{3
im 8.28 红外截止器 179
pwvmb\ 8.29 21层长波带通滤波器 180
G '%ZPh89 8.30 49层长波带通滤波器 181
X"V)oC 8.31 55层短波带通滤波器 182
J^=Xy(3e 8.32 47 红外截止器 183
@dn&M9Z 8.33 宽带通滤波器 184
Elt"tJ 8.34 诱导透射滤波器 186
dG!) < 8.35 诱导透射滤波器2 188
b"2_EnE}1 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
.)E1|U[L 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
q26qY5D 8.35 增益平坦滤波器 193
NE><(02qW 8.38 啁啾反射镜 1 196
Eb8~i_B- 8.39 啁啾反射镜2 198
:7*9W|e
8.40 啁啾反射镜3 199
BQ=JZ4& 8.41 带保护层的铝膜层 200
+Mb}70^ 8.42 增加铝反射率膜 201
Ri3*au/Q 8.43 参考文献 202
\D-X
_.v 9 多层膜 204
5~OKKSUmT 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
4,&f#=Y 9.2 内部透过率 204
#"-DE-I[ 9.3 内部透射率数据 205
mMT\"bb' 9.4 实例 206
l>6p')F! 9.5 实例2 210
E_0i9 9.6 圆锥和带宽计算 212
y,6KU$G 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
NOFH 10 光学薄膜的颜色 216
Q$5%9 10.1 导言 216
N+vsQ!Qz 10.2 色彩 216
jw)c|%r> 10.3 主波长和纯度 220
CropHB/t 10.4 色相和纯度 221
w3;T]R* 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
|9[)-C~N7 10.6 色差 226
9RC:-d;;_ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
4YXp,U 10.8 颜色渲染指数 234
"$3~):o 10.9 色差计算 235
~lbm^S}- 10.10 参考文献 236
}+giQw4 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
a :CeI 11.1 短脉冲 238
6%V#_] 11.2 群速度 239
;)vs=DK:) 11.3 群速度色散 241
z"*3p8N 11.4 啁啾(chirped) 245
a_zf*; 11.5 光学薄膜—相变 245
([ A%>u>h 11.6 群延迟和延迟色散 246
Y2|c;1~5$ 11.7 色度色散 246
u~!Pzz3" 11.8 色散补偿 249
Bw.?Me)mf| 11.9 空间
光线偏移 256
@>F`;'_*z 11.10 参考文献 258
O`_]n 12 公差与误差 260
U%K gLg# 12.1 蒙特卡罗模型 260
>}r
1A 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
N.vkM`Z 12.2.1 误差工具 267
R8|FqBs
12.2.2 灵敏度工具 271
/S9n!H:MT 12.2.2.1 独立灵敏度 271
=j@8/ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
XUK%O8N#9 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
b~?3HY:t~K 12.3 参考文献 276
GXR7Ug}k 13 Runsheet 与Simulator 277
KssIoP 13.1 原理介绍 277
5N907XVu 13.2 截止滤光片设计 277
'EB5# 14 光学常数提取 289
~Q)Dcit- 14.1 介绍 289
U\q?tvn'J 14.2 电介质薄膜 289
2\#~%D>[ 14.3 n 和k 的提取工具 295
h:
zi8;( 14.4 基底的参数提取 302
P9]95.j 14.5 金属的参数提取 306
{ /Gm|*e{ 14.6 不正确的模型 306
LufZ, 14.7 参考文献 311
Mvk#$:8e 15 反演工程 313
a61?G!] 15.1 随机性和
系统性 313
OKCX>'j:S 15.2 常见的系统性问题 314
/?C6oj1 15.3 单层膜 314
KvEZbf3f 15.4 多层膜 314
Jh%k:TrBm 15.5 含义 319
h}%yG{'/M= 15.6 反演工程实例 319
'~7 6Y9mv 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
P#2;1ki> 15.6.2 反演工程提取折射率 327
pXe]hnY 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
NTSKmCvQG 16.1 光学性质的热致偏移 329
%/wfY Rp* 16.2 应力工具 335
yF1^/y!@ 16.3 均匀性误差 339
kN*\yH| 16.3.1 圆锥工具 339
Q?Uk%t\hwc 16.3.2 波前问题 341
@"`{Sh`Y$ 16.4 参考文献 343
gR{.0e 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
_1?Fyu&<5 17.1 引言 345
9'!I6;M 17.2 操作数 345
!B&1{ 18 如何在Function中编写脚本 351
hN_,Vyf 18.1 简介 351
tA9(N>[* 18.2 什么是脚本? 351
1I U*:Z;Rz 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
G$
Ii 18.4 基础 352
i{2rQy+ 18.4.1 Classes(类别) 352
7033#@_ 18.4.2 对象 352
o#F0 3 18.4.3 信息(Messages) 352
[>f4&yY 18.4.4 属性 352
P
C 18.4.5 方法 353
0N3S@l#,\A 18.4.6 变量声明 353
+luW=j0V 18.5 创建对象 354
bq`0$c%hN 18.5.1 创建对象函数 355
f%Bm x{Ttq 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
As*59jkB 18.5.3 丢弃对象 356
"a>a
"Ei 18.5.4 总结 356
veGRwir 18.6 脚本中的表格 357
ZBfB4<M9xS 18.6.1 方法1 357
O:G-I$F| 18.6.2 方法2 357
%GDs/9 18.7 2D Plots in Scripts 358
N
@sVA%L. 18.8 3D Plots in Scripts 359
ppM^&6x^ 18.9 注释 360
AT,?dxP J 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
+0O^!o 18.11 一个更高级的脚本 362
#oD*H:%* 18.12 <esc>键 364
dKTUW<C 18.13 包含文件 365
f<G:}I 18.14 脚本被
优化调用 366
cc$+"7/J^c 18.15 脚本中的对话框 368
;u: }rA) 18.15.1 介绍 368
g3uI1]QXLg 18.15.2 消息框-MsgBox 368
Gu136XiX 18.15.3 输入框函数 370
gL;tyf1P 18.15.4 自定义对话框 371
ni x1_Wo; 18.15.5 对话框编辑器 371
\muC_9ke 18.15.6 控制对话框 377
>P\/\xL= 18.15.7 更高级的对话框 380
EJ3R{^ 18.16 Types语句 384
9}6^5f?| 18.17 打开文件 385
Y+I`XeY 18.18 Bags 387
6~v|pA jY 18.13 进一步研究 388
Sud5F4S 19 vStack 389
l~Sn`%PgA 19.1 vStack基本原理 389
U0W- X9>y 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
}n JG<rY 19.3 五棱镜 393
a<K@rgQ 19.4 光束距离 396
O~AOZ^a:2 19.5 误差 399
P9D'L{yS/x 19.6 二向分色棱镜 399
JRj%d&^} 19.7 偏振泄漏 404
(S#4y 19.8 波前误差—相位 405
0Ie9T1D= 19.9 其它计算参数 405
[bvI T]Z 20 报表生成器 406
` `R;x 20.1 入门 406
OVm
$ 20.2 指令(Instructions) 406
eqze7EY 20.3 页面布局指令 406
*xOrt)D= 20.4 常见的参数图和三维图 407
L?n*b 20.5 表格中的常见参数 408
Pc4FEH/ 20.6 迭代指令 408
[UHDN:y 20.7 报表模版 408
nP >*0Fq 20.8 开始设计一个报表模版 409
cEd!t6Z 21 一个新的project 413
W@x
UR-}51 21.1 创建一个新Job 414
7=ZB?@bU~ 21.2 默认设计 415
ryq95<lF 21.3 薄膜设计 416
a|im DY_-j 21.4 误差的灵敏度计算 420
}$ Am;%?p 21.5 显色指数计算 422
5E/z.5 q 21.6 电场分布 424
dEp?jJP$; 后记 426
&` u<KKF6 对此书有兴趣可以扫码加微联系
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