[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 ?=^M(TA;  
|v?*}6:a  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 0//B+.#  
_5l3e7YN  

图片:1-1ZR2092134500.png

X GhV? tA  
l;'#!hC)  
设计任务 szG0?e  
MRZ/%OZ.  

图片:1-1ZR209220C47.png

RbA.%~jjx*  
=3= $F%  
光栅特性与参数的严格分析 S`v+rQjW  
I,0Z* rw  
不同光栅周期的衍射效率 wNt-mgir-Q  
yccF#zU  

图片:1-1ZR209224S93.png

QZ:xG:qyk;  
m=.}}DcSs  
考虑光栅周期的选择 8/16<yZ  
++ZtL\h{7  

图片:1-1ZR2092315557.png

Wgr`)D  
偏振相关衍射特性 Mq[|w2.  
n"P29"
  

图片:1-1ZR20923422Y.png

3Hg}G#]WS  
!(L\X'jH  
偏振相关衍射特性 g-cC&)0Q  
A
g#o&Y  

图片:1-1ZR2092446256.png

\'AS@L"Wj^  
v*UJ4r  
偏振相关衍射特性 |4tnG&=  
5Rc^5Nv  

图片:1-1ZR2092540b7.png

UvPD/qu$8D  
zEu15!~  
基于参数优化的光栅设计 Tl2e?El;4  
2-#:Y  
具有固定周期的二维参数优化 LNR~F_64Q  
""2g{!~r  

图片:1-1ZR209260I63.png

`OP?[ f d  
二维参数优化 - 设计＃1 zC[lPABQ  
.xIu  

图片:1-1ZR209263E10.png

FJj#  
yk<$XNc  
二维参数优化 - 设计＃2 !"e~HZmr  
Jfkdiyy"  

图片:1-1ZR2092F2136.png

tEE1
`10Mt  
 :Ky *AI  
制造公差分析 - 设计＃2 QoVRZ$!p  
Zagj1OV|  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

Q'mLwD3>  
6QC=:_M;  
不同光栅周期的三维参数优化 ^
Nu0+S  
!Ui"<0[,  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

_\y%u_W  
Z
;XiA<|  
制造公差分析 _P]!J~$5  
]XAJ|[]sj*  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

$^1L|KgXp  
.{@aQwN  
走进VirtualLab Fusion   Qn*a#]p  
;C+g)BW  

图片:1-1ZR2092924332.png

s?2DLXv}!  
uv,_?x\'  
VirtualLab Fusion 工作流程 .M$}.v  
L`!M3c@u  

图片:1-1ZR2092952P4.png

J^G#x}y  
-#nfO*H}  
VirtualLab Fusion技术 {ta0dS;1  
?<#2raH-  

图片:1-1ZR2093031446.png