摘要
JiHk`e` v>p~y u+G 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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$x1PU67 E\=23[0 设计任务
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dI9u:- ;1woTAuD 光栅特性与参数的严格分析
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xIa 不同光栅周期的衍射效率
"DNiVL. nQ^<h.
b!-F!Lq/+0 w 7 j
hS 考虑光栅周期的选择
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0hx EI 偏振相关衍射特性
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FrBJv< C@[f Z 偏振相关衍射特性
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^ s@'nKc C'jE'B5b 偏振相关衍射特性
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H-aSLc X$4 5<oz 基于参数优化的光栅设计
an9k2F.) Yhkn(k2 具有固定周期的二维参数优化
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atO/Tp 二维参数优化 - 设计#1
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`CXAE0Fx [J.-gN$X@ 二维参数优化 - 设计#2
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D.\s mk X3j<HQcK 制造
公差分析 - 设计#2
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aZMMcd ,TAzJ 不同光栅周期的
三维参数优化
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szy^kj^2 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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