摘要
!G0OD$ .D~ZE94@ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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=%O@%v ># {,(8\ 设计任务
(H\)BS7#R 0\N n.x%
xzqgem`[\ :j}]nS 光栅特性与参数的严格分析
yt+"\d jI-\~ 不同光栅周期的衍射效率
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/n9yv /qYo*S_cG 考虑光栅周期的选择
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-t<8)9q( 偏振相关衍射特性
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@213KmB. ~(BvIzzD 偏振相关衍射特性
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9q##) 'q#$^='o 偏振相关衍射特性
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4z_ >CiA Ux<2!vh 基于参数优化的光栅设计
F|eKt/>e \Kx@?, 具有固定周期的二维参数优化
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二维参数优化 - 设计#1
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O3?3XB> < Zd~l_V f 二维参数优化 - 设计#2
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4oY<O 2WP73:'t 制造
公差分析 - 设计#2
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E@/yg(?d= 3$.R=MQ7 不同光栅周期的
三维参数优化
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