摘要
ZC_b`q< WLP A51R 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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o9$|z al F*L 设计任务
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\tye:!a?;@ 8+k\0fmy 光栅特性与参数的严格分析
lf4-Ci*X UAFl+d! 不同光栅周期的衍射效率
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V()s!w S:v]3G 考虑光栅周期的选择
Lp5LRw Pz,kSxe=
IiHl"2+/ 偏振相关衍射特性
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>)=FS.?] *TfXMN?w 偏振相关衍射特性
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6H+gFXIv 3!_y@sWx 偏振相关衍射特性
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fJBp,{0 基于参数优化的光栅设计
g>12!2} eGHxiC 具有固定周期的二维参数优化
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-M2c8P:.b 二维参数优化 - 设计#1
mDEO$:A ts`c_hH,1'
jAB~XaT , |Gx-c
,{{ 二维参数优化 - 设计#2
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)W KhIg 制造
公差分析 - 设计#2
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?){V7<'?y @d:TAwOI' 不同光栅周期的
三维参数优化
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PN:/lIO [~m@'/ 制造公差分析
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