摘要
"!PN +gB vu_ u\2d 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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\7*"M y* e/<'HM T 设计任务
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2zbV9Bhq `4t*H>:y 光栅特性与参数的严格分析
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^ 不同光栅周期的衍射效率
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Y|F~w~Cb HD8*>p. 考虑光栅周期的选择
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[.im 偏振相关衍射特性
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E)Cdw%}^ `fq# W#Pu 基于参数优化的光栅设计
`(lD]o{,s bt0Q6v5 具有固定周期的二维参数优化
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g66SCr} 二维参数优化 - 设计#1
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lD@`xq.M; L IRdWGQ4 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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9]PMti 不同光栅周期的
三维参数优化
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