摘要
S9oGf *7ro [ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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PzDgl6C -V<"Ay 设计任务
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VW`=9T5%@ n5>N9lc 光栅特性与参数的严格分析
rapca' s9Z2EjQV 不同光栅周期的衍射效率
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]t;5kj/ qDb}b d5 考虑光栅周期的选择
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[ 偏振相关衍射特性
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&}1)]6q$ c.v)M\: 偏振相关衍射特性
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pj]<i.p HCK4h DKo} 偏振相关衍射特性
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pASVnXJZ CV "Y40 基于参数优化的光栅设计
55p=veq \ `0:@`)&g1 具有固定周期的二维参数优化
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e IA=?k.y 二维参数优化 - 设计#1
^ BKr0~4A nT"z(\i.!J
6<Z9p@6 z, [+ 二维参数优化 - 设计#2
&)-?=M :^a$ve3(Jq
YyIt-fPZ A4' aB0^ 制造
公差分析 - 设计#2
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"#jKk6{I0 YSyW '~!b 不同光栅周期的
三维参数优化
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M.xEiHz :xCobMs_/ 制造公差分析
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