[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 'fl(N2t  
@H4wHlb  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 'RQiLUF  
&NP6%}bR`  

图片:1-1ZR2092134500.png

dgY5ccP  
HqRCjD  
设计任务 h.D^1  
K /ZHJkJ7  

图片:1-1ZR209220C47.png

.> ,Z kS  

d1lH[r!Z  
光栅特性与参数的严格分析 gQ,4xTX  
]wR6bEm7  
不同光栅周期的衍射效率 DzE E:&*=  
;Lqm#]C  

图片:1-1ZR209224S93.png

|} 9GHjG  
@QX4 \  
考虑光栅周期的选择 N&,"kRFFo  
v<`$bvv?  

图片:1-1ZR2092315557.png

sHF%=Vu  
偏振相关衍射特性 xT/9kM&}L  
65t[vi*C  

图片:1-1ZR20923422Y.png

%WmZ ]@M  
$ JuLAqq  
偏振相关衍射特性 P1e5uJkd  
>LCjtm\  

图片:1-1ZR2092446256.png

#-A5Z;TD.  
. *Z#cq0  
偏振相关衍射特性 TiTYs  
" _mmR
M  

图片:1-1ZR2092540b7.png

}:"R-s  
s?HsUD$b  
基于参数优化的光栅设计 NrW[Q3E$  
,qYf#fU#7  
具有固定周期的二维参数优化 "hfw9Qm  
pM,#wYL  

图片:1-1ZR209260I63.png

a3*.,%d  
二维参数优化 - 设计＃1 z[%[bs2{  
DU(X,hDBF  

图片:1-1ZR209263E10.png

OfW%&LAMQ  
miWw6!()  
二维参数优化 - 设计＃2 !(}OBZ[*  
.!9Vt#  

图片:1-1ZR2092F2136.png

%OTQR
e:  
))$ CEh"X  
制造公差分析 - 设计＃2 _%XbxP6rH  
zCyR<as7  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

5BZ+b_A>VV  
^9n}-Cqeq  
不同光栅周期的三维参数优化 zv&ePq\#  
EC0zH#N  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

{P,>Q4N  
"Fo  
制造公差分析 ]Pz|Oi+]  
e_tZja2s  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

$HP/cKu  
9$n+-GSK  
走进VirtualLab Fusion   |)~Ex 9%ev  
`e4o1*  

图片:1-1ZR2092924332.png

+0
pgq (  
j'#)~>b  
VirtualLab Fusion 工作流程 ?L`MFR  
*1%e%G  

图片:1-1ZR2092952P4.png

&IIJKn|_  
uv?8V@x2  
VirtualLab Fusion技术 f6@^
Mg  
i/l!Cr2  

图片:1-1ZR2093031446.png