摘要
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yg# 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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pX?3inQP%( Es%f@$0uy 设计任务
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eJ; 光栅特性与参数的严格分析
=I@t%Y D5D *$IC 不同光栅周期的衍射效率
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YAOfuas]j a3tcLd|7J 考虑光栅周期的选择
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]:0bDUo 偏振相关衍射特性
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ZH_$Q$9 ,,gMUpL7_8 基于参数优化的光栅设计
X8$Mzeq t]$n~! 具有固定周期的二维参数优化
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E4i 二维参数优化 - 设计#1
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]e-IYH 二维参数优化 - 设计#2
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公差分析 - 设计#2
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3%kUj Lq2Q:w' 不同光栅周期的
三维参数优化
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gwoe1:F:J u7L?9 制造公差分析
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