摘要 m9e$ZZG$
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光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 q0c)pxD%`
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设计任务 A1'IK.
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光栅特性与参数的严格分析 RgRcW5VxK
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不同光栅周期的衍射效率 /?6y2 t
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考虑光栅周期的选择 EhVnt#`Si
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偏振相关衍射特性 #{?oUg>$
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偏振相关衍射特性 s3knh&'zb
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基于参数优化的光栅设计 l3MH+o
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具有固定周期的二维参数优化 9"aTF,'F/
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二维参数优化 - 设计#1 _HL3XT
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二维参数优化 - 设计#2 @]7\.>)
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制造公差分析 - 设计#2 ^49moC-
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不同光栅周期的三维参数优化 N?Z?g_a8
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制造公差分析 .edZKmC6
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