摘要
%L=h}U13 <a/ZOuBzZ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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vXWESy K|' ]Hje\ 设计任务
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l9Cy30O6 ki/Lf4 光栅特性与参数的严格分析
N`mC_) 9$w)_RX9W 不同光栅周期的衍射效率
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Y~\xWYR ZI:d&~1i1 考虑光栅周期的选择
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^L2Zo'y [ 偏振相关衍射特性
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cSVR 偏振相关衍射特性
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^|axt VhMO ZkG##Jp\> 偏振相关衍射特性
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Y- 9j2.{ I,q~*d 基于参数优化的光栅设计
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(Y?yGq/ 具有固定周期的二维参数优化
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wZolg~dg 二维参数优化 - 设计#1
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c ku8Z;ONeH 二维参数优化 - 设计#2
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0R{R=r] o`]FH_ 制造
公差分析 - 设计#2
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Gf$>!zXr S 2` ;7 不同光栅周期的
三维参数优化
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ft$j [<yUq zm 制造公差分析
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