摘要 6lW\-h`NG
3$x[{\ {
光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 G i1Jl"
Mf 'T\^-!
LIzdP,^pc
xz!b@5DR'%
设计任务 ^d2#J
FDfLPCQm
K?]><z{
bs_>!H1
光栅特性与参数的严格分析 1<gY
J+hiz3N
不同光栅周期的衍射效率 5q<cZ)v#&
&<??,R14
`" BFvF#
T!-*; yu
考虑光栅周期的选择 X/< zxM
b$7p`Ay
c~1+5&
偏振相关衍射特性 )Z4ilpU,
^qB
a~
0j{Rsy
&6ymGo
偏振相关衍射特性 2HA-q),6
HpbSf1VvAf
W4MU^``
h2k"iO}
偏振相关衍射特性 80(Olf@PE
[)efh9P*
FM{^ND9x
18*M
基于参数优化的光栅设计 &m{SWV+
S10"yhn(-t
具有固定周期的二维参数优化 YK xkO
sd5%S zx
aM U0BS"
二维参数优化 - 设计#1 FX1[ 2\
_E\Cm
+(Q$GO%
`kE ;V!n?
二维参数优化 - 设计#2 Mz59ac
HB|R1<t;HB
y$Nqw9
dG8_3T}i
制造公差分析 - 设计#2 r`dQ<U,
k -V3l
nYFM^56>_
{l0[`"EF
不同光栅周期的三维参数优化 .}n-N
#
3Q0g4#eP
`[)!4Jb
Zk:Kux[7
制造公差分析 gT-"=AsxZQ
?)-#\z=6G
]z77hcjB1
ID_#a9N
走进VirtualLab Fusion =)c^ik%F&
+nAbcBJAl
^-^ii3G`
z=FOymvC
VirtualLab Fusion 工作流程 C0K0c6A(4
;_~9".'<d
V|3^H^\5P
.QvH7
VirtualLab Fusion技术 <q`'[1Y4
$-i(xnU/nl