摘要 r;BT,jiX
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光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 :W#rhuzC
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设计任务 sUZX
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光栅特性与参数的严格分析 m!<i0thJ
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不同光栅周期的衍射效率 &Z(K6U#.
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考虑光栅周期的选择 1b=lpw1}
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偏振相关衍射特性 `&\Q +W
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基于参数优化的光栅设计 %ZHP2j
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二维参数优化 - 设计#1 d%l{V6
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二维参数优化 - 设计#2 ~y=T5wt
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不同光栅周期的三维参数优化 '_|h6<.k[
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制造公差分析 %,+leKs
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