[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 ;wrgpP3  
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光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 5;Xrf=  
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设计任务 5{Wl(jwb  
FO$Tn+\6  

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光栅特性与参数的严格分析 3FN? CN] O  
VWa(@A  
不同光栅周期的衍射效率 !4:,,!T  
f'dI"o&^/d  

图片:1-1ZR209224S93.png

Lw`\J|%p  
|sz9l/,lG  
考虑光栅周期的选择 |{T2|iJI  
`Fj(g!`  

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k7*q.20  
偏振相关衍射特性 bSfQH4F  
5FxU=M1gF  

图片:1-1ZR20923422Y.png

k9n93I|Cm  
R8l9i2  
偏振相关衍射特性 nmr>Aj8[  
Df (6DuW  

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Rd)QVEk>SD  
P>|2~YxjU  
偏振相关衍射特性 yhaYlYv[_3  
kns]P<g  

图片:1-1ZR2092540b7.png

%L3]l  
}JD(e}8$!  
基于参数优化的光栅设计 ?}[keSEh>  
?F/3]lsggT  
具有固定周期的二维参数优化 |k+^D:  
jTnu! H2o  

图片:1-1ZR209260I63.png

k&b>-QP6  
二维参数优化 - 设计＃1 ~6tY\6$9f
 
<T).+ M/  

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二维参数优化 - 设计＃2 9[`6f8S_$  
FWg7e3  

图片:1-1ZR2092F2136.png

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9=|5-?^  
制造公差分析 - 设计＃2 0NxaQ`\  
L6^h3*JyD  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

f@0`,  
cF6|IlhO  
不同光栅周期的三维参数优化 F}Au'D&n_  
5WUrRQ?E  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

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Fr~xN!  
制造公差分析 wrbDbp1L  
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VirtualLab Fusion技术 y;;@T X  
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