[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 ui,!_O .c  
cZ|NGkZ  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 "{qnm+G  
{l!{b1KJ  

图片:1-1ZR2092134500.png

&'&)E((  
Y:O|6%00Y  
设计任务 KYw7Jx`l  
_b&26!gl  

图片:1-1ZR209220C47.png

*cCx]C.~  
%q3`k#?<  
光栅特性与参数的严格分析 6`Y:f[VB  
zJW2F_  
不同光栅周期的衍射效率 .U=x2txb  
"5<!   

图片:1-1ZR209224S93.png

r>ed/<_>m;  
bAH<h   
考虑光栅周期的选择 Y)F(-H)  
Jh=.}FXnjL  

图片:1-1ZR2092315557.png

y3b"'-%  
偏振相关衍射特性 *(1<J2j  
1!G}*38;  

图片:1-1ZR20923422Y.png

4V
4S5V  
yOQae m^O  
偏振相关衍射特性 {g1"{
 
G!sfp}qW  

图片:1-1ZR2092446256.png

9%|skTgIqH  
hvO$ f.i  
偏振相关衍射特性 t?-a JU  
[(_,\:L${  

图片:1-1ZR2092540b7.png

D
!Y@Og.  
\3^V-/SJf  
基于参数优化的光栅设计 i&lW&]  
\9OKf|#j  
具有固定周期的二维参数优化 i"iy 0?  
t !6sU]{  

图片:1-1ZR209260I63.png

-ak.wwx\  
二维参数优化 - 设计＃1 kP[fhOpn  
%i3[x.M  

图片:1-1ZR209263E10.png

DoFe:+_U3  
x3FB`3y~s  
二维参数优化 - 设计＃2 B*O/>=_  
+g7]ga  

图片:1-1ZR2092F2136.png

N atC}k  
0Yq_B
+IC  
制造公差分析 - 设计＃2 v{|y,h&]a  
e#k rr  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

@fmp2!?6  
z(Uz<*h8  
不同光栅周期的三维参数优化 @]#[TbNo  
!y~nsy:&7x  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

Z7pX%nj_  
C}<e3BXc  
制造公差分析 !2HF|x$  
VT4>6u}  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

h_P  
}]dzY(  
走进VirtualLab Fusion   k"gm;,`  
BNE:,I*&  

图片:1-1ZR2092924332.png

eDP&W$s#  
+U J~/XV  
VirtualLab Fusion 工作流程 uwI"V|g%a&  
Ih.)iTs~%  

图片:1-1ZR2092952P4.png

~E8/m_> rU  
. G25D  
VirtualLab Fusion技术 n_]B5U  
--"5yGOL  

图片:1-1ZR2093031446.png