摘要 3C#Sr6
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光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 2j[;M-3
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设计任务 }y%mG&KSz
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光栅特性与参数的严格分析 b.xG'
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考虑光栅周期的选择 wUzMB]w
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偏振相关衍射特性 5>h#
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基于参数优化的光栅设计 xx[l#+:c
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具有固定周期的二维参数优化 NO.5Vy
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二维参数优化 - 设计#1 iZ2nBiQ
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二维参数优化 - 设计#2 m2to94yh
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制造公差分析 - 设计#2 /m+.5Qz9)@
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不同光栅周期的三维参数优化 lAPPng`
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制造公差分析 jGOE
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