摘要 eh86-tQI~(
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光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 tFmB`*!%
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设计任务 B2;P%B
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光栅特性与参数的严格分析 ?;XO1cs
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不同光栅周期的衍射效率 %2QGbnt_*
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考虑光栅周期的选择 6.@.k
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偏振相关衍射特性 +Mo4g2W
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偏振相关衍射特性 +7.|1x;C
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基于参数优化的光栅设计 iw )gNQ%z4
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具有固定周期的二维参数优化 Ao K9=F}
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二维参数优化 - 设计#1 LUQ.=:mBR
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二维参数优化 - 设计#2 A/y|pg5
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制造公差分析 Z_GGH2u
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