摘要
0(h *<g: p~En~?< 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Hi|' esWgYAc3{ 设计任务
FX4](oM +(QGlRd
`dx+Qp [-=PK\ B 光栅特性与参数的严格分析
lmgMR|v _\1wLcFj 不同光栅周期的衍射效率
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s'J8E+&5 \|L@ 考虑光栅周期的选择
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3_+-t5 偏振相关衍射特性
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Nj@k|_1 FU E/uh 偏振相关衍射特性
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?TLMoqmXM{ _A;jtS)SY 偏振相关衍射特性
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N GNc nxA Y]Q
o5-oQ_j Ky[/7S5E 基于参数优化的光栅设计
=;9Wh!{ g~S>_~WL 具有固定周期的二维参数优化
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uI}S9 二维参数优化 - 设计#1
z;xp1t@ DyD#4J)E
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nX!wN DvKM[z3j 二维参数优化 - 设计#2
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h7)^$Hd \SHYwD}*Pr 制造
公差分析 - 设计#2
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\hQ 不同光栅周期的
三维参数优化
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CS)&A4`8 4_ztIrw 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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