摘要 4Zwbu
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光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3J
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设计任务 .G!xcQ`?
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光栅特性与参数的严格分析 In96H`
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不同光栅周期的衍射效率 NOXP}M
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考虑光栅周期的选择 _Ik?WA_;
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基于参数优化的光栅设计 Intuda7e1
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具有固定周期的二维参数优化 5cIZ_#
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二维参数优化 - 设计#1 Za{O9Qc?D|
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制造公差分析 W:RjWn @<
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