摘要 v3(W4G`
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光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Fe(qf>E
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设计任务 Pv.z~~lY
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光栅特性与参数的严格分析 ,+0>p
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不同光栅周期的衍射效率 YuWsE4$
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考虑光栅周期的选择 Hu
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基于参数优化的光栅设计 ;mV,r,\dH
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具有固定周期的二维参数优化 CqVh9M.ah
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二维参数优化 - 设计#1 ~%9ofXy
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二维参数优化 - 设计#2 `jR;RczC
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制造公差分析 - 设计#2 /#?lG`'1
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不同光栅周期的三维参数优化 24 S,w>j
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制造公差分析 4*9y4"
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