[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 m\XsU?SuX  
.ZF%$H  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 mz6]=]1w  
7WS$fUBi  
5tpC$4m  
yP+<kv4  
设计任务 2}pZy
S  
U'ctO%  
vRC >=y*=  
_MTZuhY  
光栅特性与参数的严格分析 B._YT   
D1ZyJs#  
不同光栅周期的衍射效率 {:!>Y1w>  
k-=lt\?  
cWx`y><  
">.k 6Q  
考虑光栅周期的选择 uc@4fn  
s=(q#Z  
[?I<$f"  
偏振相关衍射特性 ; >H1A  
-#9e
t30  
m8
{8r>6*  
I*.nwV<  
偏振相关衍射特性 TS|Bz2(  
F><_gIT  
uM1$3<  
%_5#2a  
偏振相关衍射特性 4E5;wH  
#%nV\ Bl  
uPl}NEwU|  
_xCYh|DlQ|  
基于参数优化的光栅设计 Anyy
 
{f-O~P<Z4  
具有固定周期的二维参数优化 ,b!D8{W"N  
r6uN6XCM  
G4SA u  
二维参数优化 - 设计＃1 Fnak:R0  
}wiyEVAh{  
R;Dj70g  
fEL 9J{  
二维参数优化 - 设计＃2 \DujF>:  
r'{N_|:vv  
<L4$f(2  
G3^<l0?S  
制造公差分析 - 设计＃2 MF<ZB_@  
(J5}1Q<K  
*:xOenI  
Vu.=,G  
不同光栅周期的三维参数优化 oMg-.!6  
*/IiL%g4u  
Og%Y._  
1!.-/  
制造公差分析 $L0sBW&  
7BU7sQjs  
tWy.Gz\  
X$6NJ(2G  
走进VirtualLab Fusion   Rmmu#-{Y  
e&ysj:W5 "  
1xS+r)_n@  
Z C01MDIY  
VirtualLab Fusion 工作流程 P05`DX}r,  
;@qS#7SRB  
E} XmZxHV  
.
8s-)I  
VirtualLab Fusion技术 ]P wS3:x  
3E;@
.jD