[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 i?a,^UM5n[  
ZTh?^}/  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @zr8%8n  
qab) 1ft  
cyGN3t9`.  
pYLY;qkG"  
设计任务 XN~#gm#  
Th7wP:iDP  
` $.X[\*U  
%z-dM` i  
光栅特性与参数的严格分析 ZRXI?Jr%  
/FP~jV!z  
不同光栅周期的衍射效率 w69>tC  
9Qt)m fqM  
Jw:Fj{D  
pAJ=f}",]E  
考虑光栅周期的选择 y3={NB+  
B^
imG  
j<l#qho{h  
偏振相关衍射特性 ->&BcPLn  
Xzx[C_G  
Yl)eh(\&J  
TnN^2:cU  
偏振相关衍射特性 $kxu;I
 
}yx=(+jP  
xHEVR!&c4  
ov\Ct%]  
偏振相关衍射特性 jo,6Aog|u  
tXf}jU}  
CDQJ bvx  
_L*f8e8  
基于参数优化的光栅设计 ^H5w41  
_-@ZOhw&  
具有固定周期的二维参数优化 C+/Eqq^(  
9USrg
Y6_  
*oEv,I_  
二维参数优化 - 设计＃1 H/^~<U#p  
u{g]gA8s  
-]Q3/"Q  
{[Uti^)m%  
二维参数优化 - 设计＃2 "[awmZ:wo  
vn|TiZ  
"NxOOLL  
|f"-|6  
制造公差分析 - 设计＃2 #C"7 l6'a  
g/OI|1a  
>lA7*nn  
rumAo'T/%  
不同光栅周期的三维参数优化 tegOT]|  
CHPL>'NJzc  
bHO7*E  
fkW3~b  
制造公差分析 OfD@\;L  
*GCA6X  
V)2"l"Kt  
>oe4mW  
走进VirtualLab Fusion   D35m5+=I  
?$<SCN=  
K{|w 43>D  
W=~id"XtJ  
VirtualLab Fusion 工作流程 Bp&6x;MJf  
_mw13jcN]  
vz6SCGg,  
{VBR/M(q  
VirtualLab Fusion技术 kVWGDI$~  
t G]N*%@