摘要
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31J7# S2 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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P'Rr5Xa pOw4H67 设计任务
(Z6[a{}1i f)N67z6
d p_J*8 5M*q{kX) 光栅特性与参数的严格分析
<}.)kg${O l,sYYU+iY 不同光栅周期的衍射效率
-/7[_, b]CJf8'u
${e(#bvGZ 5C{X$7u 考虑光栅周期的选择
LF{ qI?LG Dt.OZ4w5
aLq=%fsV) 偏振相关衍射特性
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:tR%y" H$\?D+xlf 偏振相关衍射特性
Z p]Bs vad" N
<%) :'0q& OM2|c}]ZQ 偏振相关衍射特性
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h_y<A@[P} XTHrf'BU 基于参数优化的光栅设计
QR79^A@5 ZOS{F_2. 具有固定周期的二维参数优化
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+$8hTi, 二维参数优化 - 设计#1
"B)DX*-\? :UFf6T?
\^':(Gu4o _FAwW<S4B 二维参数优化 - 设计#2
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"D@m/l .8.ivfmJh 制造
公差分析 - 设计#2
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\} Kh3 不同光栅周期的
三维参数优化
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y "7TO# ^_2Ki 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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3 VirtualLab Fusion技术
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