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光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8o SL3
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设计任务 \hO}3;*&
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光栅特性与参数的严格分析 wZs jbNf`K
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不同光栅周期的衍射效率 Htm;N2$d
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考虑光栅周期的选择 Da)H/3ii
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基于参数优化的光栅设计 _X~xfmU
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具有固定周期的二维参数优化 Y?4N%c_;
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二维参数优化 - 设计#1 [N_)V kpr
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二维参数优化 - 设计#2 jJK@i\bU_
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制造公差分析 - 设计#2 {q/D,Rh8
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不同光栅周期的三维参数优化 4v#A#5+O E
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制造公差分析 (BZd%!
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