摘要 N8!cO[3Oh
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光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 I[=j&rK`
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设计任务 ;>506jZ
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光栅特性与参数的严格分析 IN4=YrM^
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不同光栅周期的衍射效率 AcS|c:3MUy
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考虑光栅周期的选择 Dakoqke
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偏振相关衍射特性 WxW7qt
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偏振相关衍射特性 4S,`bnmB
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偏振相关衍射特性 |B.0TdF
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基于参数优化的光栅设计 W^fuScG)c
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具有固定周期的二维参数优化 g$(
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二维参数优化 - 设计#1 Rz(QC\(
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二维参数优化 - 设计#2 +cIUGFp}
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制造公差分析 - 设计#2 W)9K`hM6
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不同光栅周期的三维参数优化 >"gf3rioW
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制造公差分析 ~(x;5{
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