摘要 r%d11[z
+o]BjgG
光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +E|ouFI
N?0y<S ?!
Hs=N0Sk]j
4Z9wzQ>
设计任务 <C;>$kX
"R@N|Qx'
W"(`n4hi3
SzX~;pFM0
光栅特性与参数的严格分析 $?AA"Nz
NxO^VUD
不同光栅周期的衍射效率 ^G&D4uZ
ROS"VV<
2Fg t)`{!
AUsQj\Nm%
考虑光栅周期的选择 J+jmSK%z
D1 ~x
v9m;vWp
偏振相关衍射特性 jUvA<r
f~nt!$
l/zC##1+.
bDBO+qA
偏振相关衍射特性 W#I:j: p
V}fKV6 v9
Yc`j
[ 5
2z ta
偏振相关衍射特性 kN|5
J
,GkW. vEU
D%UZ'bHN*
X2dc\v.x
基于参数优化的光栅设计 Wk#h,p3
G].__]
具有固定周期的二维参数优化 tQ/
#t<4D
aq+IC@O
yISQYvSN
二维参数优化 - 设计#1 i4zV(
%=9yzIjbAt
76A>^Bs\/
_b_?9b-)D
二维参数优化 - 设计#2
1Dya?}3
{XD/8m(hN|
X";ZUp
?Wg{oB@(
制造公差分析 - 设计#2 HXfXb^~
BBR"HMa4
(e>Rot0
0w(T^GhZ
不同光栅周期的三维参数优化 qJ+52U|z
p&sK\
r}0C8(oq
.6ngo0<g
制造公差分析 .blft,'
.3&a{IxM]
kg:
uGP9
YYE8/\+B.
走进VirtualLab Fusion a WeBav}_
yw.~trF&%
^{*f3m/
(#bp`Kih
VirtualLab Fusion 工作流程 }#OqU#
q|
z_Wm
HB
K6v
$#{$6
_jTwiuMS-
VirtualLab Fusion技术 ]A]Ft!`6z
8wX+ZL:9