摘要
:mpiAs<%U" (S oo<.9~ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
4\p-TPM ID4~Gn S$eDnw~$ 5lTD]d 设计任务
)p8I@E m_*R.a kZVm1W1 9cd 8=][ 光栅特性与参数的严格分析
m&IsDAn Rg* J} 不同光栅周期的衍射效率
:.iyR n|i"S` Ftv8@l 8~ #M{} 考虑光栅周期的选择
LK}-lZ`
i n.hElgkUOr 0xpx(T[ 偏振相关衍射特性
f vLC_'M :?CQuEv- k\N4@UK (][LQ6Pc 偏振相关衍射特性
:Q@)*kQH }+RB=#~o wAYB RY[ h qmSE'8 偏振相关衍射特性
8]< f$3. zgKY4R{V 7@~tVxB; "tu*YNP\Q 基于参数优化的光栅设计
&~-~5B|3" ^#e~g/ 具有固定周期的二维参数优化
op7FZHs vR>o}%` wJG$c-(\0 二维参数优化 - 设计#1
u&]vd / $%2H6Eg0 "T6# Zk?
= 二维参数优化 - 设计#2
27 GhE I@ \#up} 7m1KR#j AQ{zx1^2>K 制造
公差分析 - 设计#2
@CQb[!9C 5bX6#5uP1 Cg!^S(U4 <@,$hso7: 不同光栅周期的
三维参数优化
=_pwA:z"A Mm=Mz :w-`PYJ%G y' x F0 制造公差分析
{'bip`U. w+AuMc /-Qv?"
RiFw?Q+ 走进
VirtualLab Fusion
l]#!+@
fCX*R" g+[kde;(^ yA7)Y})> VirtualLab Fusion 工作流程
<GIwRVCU F0dI/+ fCUT[d +H ,x_Z JL VirtualLab Fusion技术
4j'd3WGpbN ^toAw8A=@0