[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 'N5qX>Ob  
bm1ngI1oI  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~u8}s4  
tZa)sbz  
 b6S86>  
N)RWC7th{  
设计任务 hC]c =$=7  
-baGr;,Cu  
svyC(m)'  
P,iLqat  
光栅特性与参数的严格分析 _89 _*t(  
6kT l(+  
不同光栅周期的衍射效率 f\~e&`PV  
V{Idj\~Jh  
Q|gun}  
%8$JL=c  
考虑光栅周期的选择 R^](X*  
Oe$cM=Yf  
lIzJO$8cM  
偏振相关衍射特性 o^&; `XOd  
]02 l!"  
<4{@g]0RV  
S97.O@V!$  
偏振相关衍射特性 7!oqn'#>A  
l(=#c
/f  
q9WdJ!-^X  
9z'</tJ`  
偏振相关衍射特性 qR]4m]o  
8<!qT1  
![abDT5![  
J~gfMp.  
基于参数优化的光栅设计 gSR&CnqZ<  
1V+1i)+  
具有固定周期的二维参数优化 bHS2;K~  
@dCu]0oNI  
\
U !<-  
二维参数优化 - 设计＃1 q3NS?t!  
J@Zm8r<  
CM5A-R90  
s7xRry  
二维参数优化 - 设计＃2 Q=PaTh   
&p;};n  
Z(as@gjH  
D<++6HN&#  
制造公差分析 - 设计＃2 fy_'K}i3k  
kOdS^-  
QwT]| 6>  
5)$U<^uy  
不同光栅周期的三维参数优化 @/$mZ]|T  
_"0n.JQg  
xo@N~
 
Z7.)[ ;  
制造公差分析 lmmyDg1R  
6{7O  
/WHhwMc!  
=l7
LEkR  
走进VirtualLab Fusion   @bqCs^U35  
Gzp)OHgJ  
=r-Wy.a@  
'|XP}V0I  
VirtualLab Fusion 工作流程 $}KYpSV  
4uftx1o   
t91CxZQ^s  
`=KrV#/758  
VirtualLab Fusion技术  v$tS2N2  
HqF8:z?v