摘要 7}*6#KRG
<C9 XX~
光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 97K[(KE
`vc
"Q/
9CCkqB/
7LO%#No",
设计任务 z,{<Nm7&F
XQ4G)
CRbdAqofV
cUDoN`fSl,
光栅特性与参数的严格分析 0%)i<a!_Z
,;M4jc{
不同光栅周期的衍射效率 rHP%0f9:
zni)<fmju
191&_*Xb
PvGDTYcKp
考虑光栅周期的选择 [o*7FEM|<
A>{p2?`+!
E9V5$
偏振相关衍射特性 EC|'l
+:3*
"bDs2E+W
1xv8gC:6
偏振相关衍射特性 2< hAa9y
:_Eqf8T
CR2_;x:0
y<b{Ji e
偏振相关衍射特性 nYbhy}y
[b:e:P 2
GWvH[0
R0oKbs{
基于参数优化的光栅设计 ;W>Y:NCrp
G<M:Ak+~
具有固定周期的二维参数优化 t'm;:J1
^[15&T5
nNXgW
二维参数优化 - 设计#1 oA1a /[#
#M A4
vky .^
fr!Pj(Q1
二维参数优化 - 设计#2 GJqE!I,.
b~-%c_
xUfbW;;]UU
|pa$*/!NT
制造公差分析 - 设计#2 ["}rk
eSW{Cb
UU8pz{/
~n}k\s~|4
不同光栅周期的三维参数优化 O0>A+o[1F
zS]8V?`
t20PP4FWM
$H$j-)\D
制造公差分析 /pp1~r.s?>
;l$ \6T
L4L2O7
} G<rt
走进VirtualLab Fusion ]\ngX;h8G
R>`}e+-D
jjM{]
W[+|}
VirtualLab Fusion 工作流程 @*
il3h,
](F#`zUQ
/s];{m|>
X\}Y
VirtualLab Fusion技术 s}onsC
Q?AmOo-a