摘要 4@bL` L)
FCIT+8K
光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Q~]R#S
\nJrjHA
3!d|K%J
eg}|%GG
设计任务 ,wq.C6;&
XJQ[aU"[]N
"16==tLFE
pymT-
光栅特性与参数的严格分析 Yd,*LYd2EL
MLR3A
s
不同光栅周期的衍射效率 nc3 1X
H7{ 6t(0j
auO^v;s
QQ?` 1W
考虑光栅周期的选择 :hevBBP
Z^h4%o-l{
/fD)/x
偏振相关衍射特性 g<,|Q5bK
BBp
Hp
+J^}"dG
0h; -Yg
偏振相关衍射特性 zX5p'8-
3wr~P
O}D]G%,m
J|I|3h<T
偏振相关衍射特性 C ]#R7G
H8\N~>
Xu'u"amt
`*~:nvU
基于参数优化的光栅设计 7f`jl/
plp).Gq
具有固定周期的二维参数优化 8RocObY_W
<H 3}N!
s{CSU3vYmi
二维参数优化 - 设计#1 S>'wb{jj!
;`xu)08a
lh5k@\X
}XAoMp
二维参数优化 - 设计#2 '[A>eC++
Bd7A-T)q!
3FS:]|oC
=g&0CFF <
制造公差分析 - 设计#2 Nl(Aa5:!
V^f'4*~'
}b+=, Sc"
J"SAA0)@
不同光栅周期的三维参数优化 bhg"<I
*EDzj&
R!,RZ?|v
1&m08dZm5
制造公差分析 EKDv3aFQZ#
xxedezNko
"r|O /
W`;E-28Dg
走进VirtualLab Fusion V6Q[Y>84~a
aoCyYnZD
6%5A&&O(b
cW3;5
VirtualLab Fusion 工作流程 O,DA{> *m
QXF>xZ~
ebQYk$@
kiXa2Yn*(d
VirtualLab Fusion技术 OtnYv
A]>0lB