[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 kt`_n+G  
!"1}zeve  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 qTSyy=  
`_%UK=m  

图片:1-1ZR2092134500.png

MDV<[${   
EQe!&;   
设计任务 @Wgd(Ezd  
.5L|(B=
H  

图片:1-1ZR209220C47.png

g)0>J  
?QA![  
光栅特性与参数的严格分析 .#^ta9^t7  
`9;0Y  
不同光栅周期的衍射效率 U*sjv6*T  
yP$@~L[!  

图片:1-1ZR209224S93.png

w O H{L  
L& =a(  
考虑光栅周期的选择 (~>uFH  
4
4Dytpvg  

图片:1-1ZR2092315557.png

(=A61]yB  
偏振相关衍射特性 #(@!:f1  
y;Ez|MS   

图片:1-1ZR20923422Y.png

_{j'` #  
/ILj}g'  
偏振相关衍射特性 w8=&rzr8  
s!k7Wwj  

图片:1-1ZR2092446256.png

))T@U?r  
]MD,{T9l\>  
偏振相关衍射特性 x[?N[>uw  
0gRj3al(  

图片:1-1ZR2092540b7.png

7gWT[  
Vz.G!*>Dg  
基于参数优化的光栅设计 ML_$/  
M)x6m|.=  
具有固定周期的二维参数优化 e p jb  
vHJOpQmt~  

图片:1-1ZR209260I63.png

z*V 8l*  
二维参数优化 - 设计＃1 2[!3!@.  
$>JfLSyC  

图片:1-1ZR209263E10.png

<`$svM  
J\@|c.ws  
二维参数优化 - 设计＃2 *wk?{ U  
Sp7VH+  

图片:1-1ZR2092F2136.png

QhhL_vP  
s5bqS'%  
制造公差分析 - 设计＃2 *S xDwN  
?"F9~vx&G  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

Vu`5/QDq  
noNJ+0S  
不同光栅周期的三维参数优化 (]E0fjk  
/0Jf/-}ovn  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

vAh'6Ob7r  
&\>=4)HB;  
制造公差分析 zq6)jHfq.  
gt(^9t;  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

{+~ JTrp  
t[e]AU[}  
走进VirtualLab Fusion   <x8I<K  
DsB30  

图片:1-1ZR2092924332.png

M(^_/1Z  
H#S`m  
VirtualLab Fusion 工作流程 ?gsPHPUS  
vfd<qdi3p(  

图片:1-1ZR2092952P4.png

`q9n`h1  
|.4
>#<$__  
VirtualLab Fusion技术 mtg=v@~  
qzj.N$9]  

图片:1-1ZR2093031446.png