摘要
0+e0<' CWd
& 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
"Z dI~ 'S#^70kt
Un5 AStG ,t'"3<^Jg 设计任务
x{rjngp2 8#1o
I0^oaccM {q;_Dd 光栅特性与参数的严格分析
E^pn-rB 3z"%ht~; 不同光栅周期的衍射效率
tejpY t[G7&ovj
Zu2
$$_+L |0_5iFAB| 考虑光栅周期的选择
uY3#, '#QZhz(+
:x?G[x= 偏振相关衍射特性
_,p/2m-Pj TA#pA(k
'68#7Hs. XuU>.T$] c 偏振相关衍射特性
Z 2$S'}F IiX2O(*ZE
vrvi]
Y8 k#p6QAhS 偏振相关衍射特性
_u~`RlA C]na4yE8
p DU+(A4> lr
-+|>M) 基于参数优化的光栅设计
_skE\7&>X |n(b>.X 具有固定周期的二维参数优化
PevT`\> 4v#s!W
=#&+w[4?&. 二维参数优化 - 设计#1
9.6ni1a' B!)Tytm9u
Qv8 =CnuOT "|PX5 二维参数优化 - 设计#2
+NOq>kH@ yv$hIU2X
y+Bxe)6^V g12.4+ 制造
公差分析 - 设计#2
@?t+O'& tS,AS,vy]
:n?rk/ F A 0;ng2& 不同光栅周期的
三维参数优化
}|znQ3A2\l SUsdX[byb
=^)$my\C: SkU9iW(k 制造公差分析
\e%%ik,< 0P;LH3sx
gaE8\JSr h6;zAM} 走进
VirtualLab Fusion
sAF="uB )k4&S{=
U.N&~S V7
hO} VirtualLab Fusion 工作流程
:y_]JL;w Lu4>C 2{
Yv"B-oy f{{J_""?& VirtualLab Fusion技术
`SS[[FT$> !H6X%hlk