摘要
Lg
sQz(- d/j$_NQ&! 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
.3t[M0sd wMT?p/9Blm
oZA?}#DRl i
o 3qG6 设计任务
}2|>Y[v2j ^$4d'
+q|2j>k@ 9pb4!=g* 光栅特性与参数的严格分析
3;u* _ ]N_ a.y_o50#T 不同光栅周期的衍射效率
pBG(%3PpW }`{aeVHT
{r#2X1 FQ*4?D,A 考虑光栅周期的选择
/0uZ(F|>I 7xb z)FI
qHt!)j9GKv 偏振相关衍射特性
rLw,? [u[F6Wst
&s>HiL>f s"*zyLUUo 偏振相关衍射特性
6HW<E~G'6 h1^q};3!W\
Ysz{~E' XI~2Vzht 偏振相关衍射特性
sZ/~pk Em N0K'x
KDhr.P.~ F0t!k> 基于参数优化的光栅设计
H-K,Q%;C@ 559znM= 具有固定周期的二维参数优化
TyY[8J| x JQde 4
\Azl6`Em 二维参数优化 - 设计#1
6kK\nZ$o$ Z$ {I4a
.cdm@_Ls oe}nrkmb 二维参数优化 - 设计#2
4&~ft 7hqa|
gk >-h,>" $?YRy_SI 制造
公差分析 - 设计#2
w4H3($
K L1D{LzlBti
WBFG_]) rR@ t5 不同光栅周期的
三维参数优化
sPYG?P(l (Hb
i+IHV
W'hE, /-TJtR4> 制造公差分析
$`W.9 WHk/Rg%<
lG;RfDI- D *R F._ 走进
VirtualLab Fusion
al$G OMi ))^rk6
B<i)je!
+ulBy VirtualLab Fusion 工作流程
|FGt' `X'-4/Y
#80DM $p30?\ VirtualLab Fusion技术
S^?
@vj -K hXb