摘要
;0P2nc:U~ GmPNzHDb 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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] iAbtv^fn 设计任务
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y 7|x<Z DL_2%&k/ 光栅特性与参数的严格分析
|u<qbl c*9RzD#Zj 不同光栅周期的衍射效率
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pZuYmMP o2@8w[r 考虑光栅周期的选择
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/J<?2T9G 偏振相关衍射特性
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1K"``EvNB [58xT>5`m 偏振相关衍射特性
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Aj*0nV9_ L/1?PM 偏振相关衍射特性
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#'mb9GWD3 cwlXb!S$ 基于参数优化的光栅设计
<bDjAVq zT6ng# 具有固定周期的二维参数优化
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! %S9H2Lv 二维参数优化 - 设计#1
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:=UiEDN@ #?k$0|60 二维参数优化 - 设计#2
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7n 制造
公差分析 - 设计#2
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+T,8 Sd2R$r 不同光栅周期的
三维参数优化
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s<cg&`u,<M !u.{<51b 制造公差分析
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