摘要
uu`G<n _1EWmHZ? 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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[:xpz, b$O1I[o 设计任务
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%*Aq%,.={ tLc9- 光栅特性与参数的严格分析
AC& }8w[>u GL-r;
不同光栅周期的衍射效率
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~, ~Q36lR
tuWJj^ KBSO^<7 考虑光栅周期的选择
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%"{jNC? 偏振相关衍射特性
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v$_YZm{!< [flx/E 偏振相关衍射特性
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8e{S(FZ7Ed WY3D.z-</ 偏振相关衍射特性
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OqNtTk+ xfsf 基于参数优化的光栅设计
z3+7gp+I; ;(1Xb 具有固定周期的二维参数优化
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\cKY{(E 二维参数优化 - 设计#1
{=)g?!zC ICxj$b
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gDc 二维参数优化 - 设计#2
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;5TQH_g wx2EMr 制造
公差分析 - 设计#2
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~n<U8cm O -Nn@c|fz 不同光栅周期的
三维参数优化
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o:x,zfW n +R3 制造公差分析
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