摘要
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*a>{sO[ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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y<x_v )k- yc4f\0B/ 设计任务
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pmD-]0 LOG*K;v3 光栅特性与参数的严格分析
oYm{I ~" ?$&rC0t 不同光栅周期的衍射效率
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nu%Nt"~[% wQuaB6E 考虑光栅周期的选择
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w[vIPlSdS 偏振相关衍射特性
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$M N 偏振相关衍射特性
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SK}g(X7IWH R.'Gg 偏振相关衍射特性
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<=2*UD | uqeWdj*Y 基于参数优化的光栅设计
b%t9a\ 0V r_Yl/WW 具有固定周期的二维参数优化
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yf^gU* 二维参数优化 - 设计#1
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|Qm%G\oB? F9J9pgVP 二维参数优化 - 设计#2
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neH"ks5 D5vtZu!" 制造
公差分析 - 设计#2
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三维参数优化
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]>T/Gl1 l(4./M 制造公差分析
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