摘要
K+3dwQo BXNt@% 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
Kk5 vC{ W<J".2D Jr0D: ^%)H; 设计任务
Y)?dq( PV_E3,RY 2_^{Vez@I #41fRmzC 光栅特性与参数的严格分析
_{.=zv|3 {fkW0VB; 不同光栅周期的衍射效率
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< bU`Ih# q z93HTy9 +f{CfWIKs 考虑光栅周期的选择
Yzr RnVr :} r^sD y[U/5! `zV 偏振相关衍射特性
[ \I&/?On m$T?~oo ]ne&`uO zzf;3S? 偏振相关衍射特性
%bM^/7 {@T8i^EI RX-qL,dc SU0K#: 偏振相关衍射特性
`;[j`v8O y`"~zq0D 19 h7 M s?;rP,{:p 基于参数优化的光栅设计
Z]$RO j, SOL9yg 具有固定周期的二维参数优化
Q>\y%&df I]qml2 GA19=gow 二维参数优化 - 设计#1
@@L@r6 ahagt9[,:F \Mk;Y !V~`e9[rl 二维参数优化 - 设计#2
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_Je k;N 制造
公差分析 - 设计#2
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kyQUaFG <V P@# 不同光栅周期的
三维参数优化
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