摘要
~sq@^<M)s XBO(
*6"E 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
"I9 r>= [%~yY&
deTD|R 3iL\<^d*ht 设计任务
6}|h lXzm)
.;l`VWP rI6+St 光栅特性与参数的严格分析
- leYR`P kJNwA8 7 不同光栅周期的衍射效率
l@-h.tS v53|)]V
m^,VEV> aeAx0yE[p 考虑光栅周期的选择
wkV'']= Xg GJs~aRiz
j0(jXAc;UB 偏振相关衍射特性
<$otBC/% k1s5cg=n(
M.:JT31>1 SQ/HZ 偏振相关衍射特性
ZE~zs~z| #3'M>SaoH
|{_>H' Xkg 偏振相关衍射特性
5}Xi`'g, g-]~+7LL
L'
bY,D(J> f*9O39&| 基于参数优化的光栅设计
9.il1mAKg ,LxkdV 具有固定周期的二维参数优化
ts=:r pVrY';[,|
KC9e{ 二维参数优化 - 设计#1
9\/oL{ }&==;7,O
3dolrW Kpa$1x 二维参数优化 - 设计#2
5C^@w %H2ios[UO
lBAu@M
=9,^Tu| 制造
公差分析 - 设计#2
het<#3Bo J_m@YkK
vLyazVj.. GNq
f 不同光栅周期的
三维参数优化
^w2 HF Id>4fF:o
r@bh,U$ Eh|,[D!E 制造公差分析
kxJ[Bi# kfT*G
+l]
Z@f{f:Jc/" {*[(j^OE 走进
VirtualLab Fusion
mtn^+* 0\X<vrW
Y$]zba NY.* S6 VirtualLab Fusion 工作流程
H:~u(N 8&|
o
&>E gKL 6Io}3}3 VirtualLab Fusion技术
uLWu. Vx N' R^gL