摘要
8H2zMIB E lf'1 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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$qz(9M(m# yH`4sd 设计任务
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D.7,xgH {?2jvv 光栅特性与参数的严格分析
K&L9Ue VSm[80iR0 不同光栅周期的衍射效率
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i4sd29v |\HYq`!g%7 考虑光栅周期的选择
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^Rel-=Z$B 偏振相关衍射特性
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C-wwQbdG/ -|1H-[Y( 偏振相关衍射特性
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4blw9x N JpI(Vcd 偏振相关衍射特性
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<5Ye')+ j|6@>T1 基于参数优化的光栅设计
jwP}{mi* t h!$R 具有固定周期的二维参数优化
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y15 MWZ 二维参数优化 - 设计#1
K;n2mXYGM ^Vbx9UN/
tEU}?k+:j) \hlQu{q. 二维参数优化 - 设计#2
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bAC; 制造
公差分析 - 设计#2
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Fi7G S; p"xti+2, 不同光栅周期的
三维参数优化
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+*W9*gl S.: m$s 制造公差分析
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