摘要
 t,;b*ZR    k?=V?JWY  光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
 ?Qs>L~    ?r~](l    GgjBLe=C    gClDVO
 GgjBLe=C    gClDVO  设计任务
 8%9OB5?F6    K#p&XIY,   YuDNm}r[    uO-R:MC
  YuDNm}r[    uO-R:MC  光栅特性与参数的严格分析
 L:EJ+bNG     gM3gc;  不同光栅周期的衍射效率
 }~5xlg$B<<    1vxh3KS.   ("BFI    Yui:=GgUrr
 ("BFI    Yui:=GgUrr  考虑光栅周期的选择
 
(	]o6Pi    +NEP*mk   `+/[0B=.
 `+/[0B=.  偏振相关衍射特性
 VbX$i!>8   f:g<Bz=u)*   u]cnbm    G8?<(.pi@
 u]cnbm    G8?<(.pi@  偏振相关衍射特性
 Q-&]Vg    g^En6n)   `\P :rn95;    5cQBqH]
 `\P :rn95;    5cQBqH]	  偏振相关衍射特性
 ArU>./)Q    ?8C+wW   3B"rI    Gb\7W
 3B"rI    Gb\7W  基于参数优化的光栅设计
 .< vg[    (A&@
<  具有固定周期的二维参数优化
 ~K],hi^<P   =-pss 47   qkUr5^1
 qkUr5^1  二维参数优化 - 设计#1
 aLXA9?   cuk2\>	Xl   0I?3@Nz6    UmgLH Cz
 0I?3@Nz6    UmgLH Cz  二维参数优化 - 设计#2
 NV-9C$<n2!   TzL40="F   -{b1&    d8RpL{9\7
 -{b1&    d8RpL{9\7  制造
公差分析 - 设计#2
 c)6Y.[).   L
kq>>?T=   BK d(    mQs'2Y6Oa
 BK d(    mQs'2Y6Oa  不同光栅周期的
三维参数优化
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 Z|?XQ-R5    \+AH>I;vO  走进
VirtualLab Fusion  
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 I3x}F$^    &s  <   VirtualLab Fusion 工作流程
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 YYvs~?bAy    	z"O-d<U5  VirtualLab Fusion技术
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