摘要
vnQFq cyB+(jLHDs 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
H7&y79mB p.g> +7
OhCdBO h~Z &L2V 设计任务
v@[3R7|4 S$fS|N3]%
ri59LY y= /N*<Fq7w~ 光栅特性与参数的严格分析
8WP"~Js! hN=kU9@knC 不同光栅周期的衍射效率
XBCHJj]k e\[q3J
zzI,iEG 2(3Q#3V 考虑光栅周期的选择
i>h3UIx\ 5p!{#r6m
a1I-d=] 偏振相关衍射特性
pn(i18x ?87\_wL/j
gE@Pb .@nfqv7{ 偏振相关衍射特性
}#e=*8F7 kn>qX{W
PV"\9OIKb. 2Q@na@s 偏振相关衍射特性
fuA]
y4A ]SU)L5Dt;
Wll0mtv C7m/< 基于参数优化的光栅设计
*.wj3'wV l{8O'4; 具有固定周期的二维参数优化
bV(BwWm 5,f`5'$
ZyNgG9JL] 二维参数优化 - 设计#1
v
))`U,Gm {*hFG:u
Il@K8?H@ ol_\ " 二维参数优化 - 设计#2
R{A$|Ipaq R|qNyNXo[
K-Pcew^? 5 8;OTDR! 制造
公差分析 - 设计#2
R'B_YKHBY o+}1M
p</t##]3ks =(TMcu$4` 不同光栅周期的
三维参数优化
SbL7e#!! IpzU=+h
{*hGe_^ N|)e {|k 制造公差分析
xgNV0;g, >HwVP.~HN
pg,JYn .@;5" 走进
VirtualLab Fusion
^e]O
>CJ GYJ j$'
M54czo=l Imzh`SI, VirtualLab Fusion 工作流程
&dw=jHt W>{&"
5
dn42'(p@G Xooh00 VirtualLab Fusion技术
U~7{q
> {~g7&+9x*