[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 &9tsk#bA.g  
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光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 hI0l2OE  
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设计任务 ~ .-'pdz%  
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光栅特性与参数的严格分析 /8T{bJ5  
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不同光栅周期的衍射效率 Pipif.  
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考虑光栅周期的选择 _45"Z}Zx  
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偏振相关衍射特性 !WXSrICX[  
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偏振相关衍射特性 '1<QK  
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偏振相关衍射特性 NT0q!r/!  
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基于参数优化的光栅设计 &I8ZVtg  
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具有固定周期的二维参数优化 QMP:}  
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二维参数优化 - 设计＃1 BZ.H6r'Q  
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二维参数优化 - 设计＃2 H|]Q;,C  
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制造公差分析 - 设计＃2 occ}|u  
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不同光栅周期的三维参数优化 {8
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制造公差分析 cOSUe_S0w[  
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走进VirtualLab Fusion   k2~j:&p  
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VirtualLab Fusion 工作流程 D?$f[+  
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