摘要
<[vsGUbc >Se-5QtLcf 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
)j!%`g N
;Cs? C
L@.Trso gfiFRwC`v 设计任务
`NfwW: f.0HIc
+I +RNXR/{ U/ax`_ 光栅特性与参数的严格分析
mbHMy[R F`>qg2wO 不同光栅周期的衍射效率
~( :$c3\ @(IA:6GN
I#;.;%u 5?.!A
'zb 考虑光栅周期的选择
J;ycAF ~ -@Z9h)G|
5%+epzy 偏振相关衍射特性
!-t"}^) f# -\*
=3PZGdWD q#K0EAgC 偏振相关衍射特性
u qA!#E \H
5t-w=
qB+OxyT& "n{JH9sA: 偏振相关衍射特性
~MP/[,j` yq!peFu
/Mj|Px% jQ8
T 基于参数优化的光栅设计
tMXNi\Bj O&sU Pv 具有固定周期的二维参数优化
@2`nBtk %vbov}R
%S^:5#9 二维参数优化 - 设计#1
c*i,z ExF6y#Y G<
[E/. r{S Kd\d>&b 二维参数优化 - 设计#2
kx;7/fH )1 QOA
0IZF%` 2b Fr8FUt- 制造
公差分析 - 设计#2
di7cCn A@-U#UvN
0}po74x*r nZM]EWn 不同光栅周期的
三维参数优化
j%}9tM6[ ])q,mH
(EH}lh}% 3QF[@8EH{ 制造公差分析
S+*>""= -Ir>pY\!
q
s:TR x$FcF8 走进
VirtualLab Fusion
\jZ)r>US" hZWkw{c
L-zU%`1{M ]f}(iD VirtualLab Fusion 工作流程
n/e ,jw X&Sah}0V&
M.bkFuh h8-uI.RZ VirtualLab Fusion技术
^z~drcR lXEnm-_