摘要
rmg\Pa8W> [Qs`@u<% 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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}Y-V!z5z! +s#%\:Y M 设计任务
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HxbzFu?h 21!X[)r 光栅特性与参数的严格分析
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M{ 不同光栅周期的衍射效率
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APl]EV"l mAlG}< 考虑光栅周期的选择
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1(;{w+nM 偏振相关衍射特性
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fV+a0=Z hT%fM3|,e 偏振相关衍射特性
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~2*LWH*@ 10Eun } 偏振相关衍射特性
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#GGa, @O EI=~*&t 基于参数优化的光栅设计
@*rMMy 4 !$98U~L 具有固定周期的二维参数优化
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SB%D%Zx6'% 二维参数优化 - 设计#1
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8Vd emQc%wd{ 二维参数优化 - 设计#2
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7mSNz. q=^;lWs4 制造
公差分析 - 设计#2
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iq3)}hGo 5H Cw%n9 不同光栅周期的
三维参数优化
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6}Y==GPt 0;x&\x7K 制造公差分析
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