[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 EOJk7  
NX7(;02  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 v,t;!u,40  
W:D'k^u  

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设计任务 _/;k;$gDp  
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光栅特性与参数的严格分析 o=i)s2  
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不同光栅周期的衍射效率 G8xM]'y  
-L e:%q2  

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考虑光栅周期的选择 XQC
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偏振相关衍射特性 0{M=^96  
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偏振相关衍射特性 xK4b(KJj  
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偏振相关衍射特性 *o]Q<
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基于参数优化的光栅设计 ,arFR'u>  
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具有固定周期的二维参数优化 :%GxU;<E{  
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二维参数优化 - 设计＃1 "0Xa?z8"  
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二维参数优化 - 设计＃2 @kU{  
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制造公差分析 - 设计＃2 a<+Qw'  
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不同光栅周期的三维参数优化 G=4Da~<ij  
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制造公差分析 ]p3hq1u3&  

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走进VirtualLab Fusion   2YvhzL[um  
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VirtualLab Fusion 工作流程 f:L%th  
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VirtualLab Fusion技术 Zab5"JR  
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