摘要
qzq_3^ 66 O^(ji8[l 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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ht _fbh(l {,z$*nf 建模任务
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=@w,D.5h }S84^2J_ 1阶的
参数优化 !.>TF+] W8hf
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[:Kl0m7 D90m..\w 结果-容差分析
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O3, IR1 `uL^!- 在
VirtualLab Fusion中查看
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}\NCFh ^id9_RU VirtualLab Fusion的工作流程
q)S70M_1 KI&+Zw4VL •构造光栅结构
.Y!] {c - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
Kgev*xg - 倾斜光栅的高级配置[用例]
d N'2;X •分析光栅衍射效率
iDp'M`(6h - 光栅级次分析器[用例]
y U"pU>fV@ •使用参数优化优化光栅参数
(.6~t<DRv •使用参数运行进行
容差分析 YK(I ' - 参数运行文档的用法[用例]
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72J @Dc W$_}lE $ VirtualLab Fusion技术
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