[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 9':/Sab:7v  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 s6IP;}  
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在VirtualLab Fusion中查看 hg{ &Y(J!U  
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VirtualLab Fusion的工作流程 Na-q%ru  
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•构造光栅结构 L+uOBW_  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] WVinP(#nfM  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] r
oL}lM$  
•分析光栅衍射效率 A xRl*B  
- 光栅级次分析器[用例] qq/_yt  
•使用参数优化优化光栅参数 [O [FCn  
•使用参数运行进行容差分析 O-?z' @5cI  
- 参数运行文档的用法[用例] b5[f 5  
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VirtualLab Fusion技术 RsR] T]4  
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