摘要
W[b/.u5z: 3' ^ON 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化 4;_.|!LN ivt\|
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VirtualLab Fusion中查看
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7= z%b3/rx VirtualLab Fusion的工作流程
(|Xf=q,Le rGoB&% pc •构造光栅结构
$UKDXQF" - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
)m?oQ#`m - 倾斜光栅的高级配置[用例]
1W5YS +pf •分析光栅衍射效率
Vb/J` - 光栅级次分析器[用例]
B} &C
h •使用参数优化优化光栅参数
+1e*>jE •使用参数运行进行
容差分析 5^pQ=Sgt - 参数运行文档的用法[用例]
d8|:)7PSt tEb2>+R Rd 2* y#r=^r]l) VirtualLab Fusion技术
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