[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 E[J7FgU)<S  
@]Ye36v0#L  
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 US+PI`  
rUkiwqr~E  

图片:1-1ZR3110153312.png

dOq*W<%
 
dL<okw  
建模任务 9hI4',(rE  
E9 QA<w  

图片:1-1ZR31102241U.png

`LL#Aia  
xW{_c[oA  
1阶的参数优化 +/q%29-k  
B`a5%asJn  

图片:1-1ZR3110300146.png

R|h9ilc  
>Qc0g(w  
结果-容差分析 t&u,Od  
q('O@-HA  

图片:1-1ZR311033c64.png

CD(2A,u)/  
-p`hevRr  
结果-容差分析 xaWd\]UF  
7t\W{y  

图片:1-1ZR3110400923.png

Vw=eC"  
e9hT  
在VirtualLab Fusion中查看 >`8r52  
6q?C"\_  

图片:1-1ZR31104205S.png

1i9}mzy%  
/ocd
AW`0  
VirtualLab Fusion的工作流程 \1f$]oS  
bT>% *  
•构造光栅结构 ;}3wT,=sN  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] pL>Q'{7s3  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] xfqgK D>  
•分析光栅衍射效率 r4jW=?|  
- 光栅级次分析器[用例] l%lkDh!$"  
•使用参数优化优化光栅参数 yowvq4e  
•使用参数运行进行容差分析 M cE$=Vv  
- 参数运行文档的用法[用例] UNq!|  
`!5ZF@Q>e  

图片:1-1ZR3110443116.png

[#n~ L6  
\uQB%yMoz  
VirtualLab Fusion技术 DM{7x77  
<iiu%  

图片:1-1ZR3110554J9.png