摘要
;UUpkOQO( 3dheT}XV?p 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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B>C+qj@ JbX"K< nQ 建模任务
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H?oBax: RRRF/Z;)) 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
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}uR[H2D`L ^Y%'"QwJS VirtualLab Fusion的工作流程
(/gv
U80 PaD6||1F •构造光栅结构
(1IYOlG4 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
U_Jchi,! - 倾斜光栅的高级配置[用例]
&u+l`F^Z •分析光栅衍射效率
7F5v-/ - 光栅级次分析器[用例]
\qf0=CPw8 •使用参数优化优化光栅参数
~7=eHU.@ •使用参数运行进行
容差分析 |E?PQ?P - 参数运行文档的用法[用例]
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whi#\>i fV#,<JG VirtualLab Fusion技术
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