[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 n@B{vyy  
zS% m_,t  
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 sQk|
I x  
ySruAkw%  

图片:1-1ZR3110153312.png

]G1R0
Q  
jmW^`%;7  
建模任务 \ sf!  
~%aJFs  

图片:1-1ZR31102241U.png

d7i#w #  
cS~!8`Fwy  
1阶的参数优化 f4]&pcK  
{'(ej5,6  

图片:1-1ZR3110300146.png

ATO 5  
~PUsgL^  
结果-容差分析 oMTY)`me  
}|He?[TR  

图片:1-1ZR311033c64.png

A#:8X1w  
 Rkv  
结果-容差分析 iwz` x  
'jbMTI  

图片:1-1ZR3110400923.png

y''0PSfb#  
Gm@iV,F%R  
在VirtualLab Fusion中查看 , ,{6m d  
Z}f
^qc+  

图片:1-1ZR31104205S.png

pYGYy'%A'  
ZKsQ2"8{M  
VirtualLab Fusion的工作流程 CveWl$T12  
;E2kT GT  
•构造光栅结构 iQj2UTds3  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] p5qx=p~c  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] qj;l,Kua  
•分析光栅衍射效率 ;siJ~|
6)  
- 光栅级次分析器[用例] ris;Iu^v0  
•使用参数优化优化光栅参数
;Bnr='[  
•使用参数运行进行容差分析 F(G<*lA  
- 参数运行文档的用法[用例] T:@7S  
yr{5Rp05=  

图片:1-1ZR3110443116.png

G*Ib^;$u  
09x+Tko9;*  
VirtualLab Fusion技术 p9w%kM?  
67ZYtA|t  

图片:1-1ZR3110554J9.png