摘要
4 " pS w;N{>)hv 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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3M}AxE u IL!BPFG w 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
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/DLr( 8&?^XcJ*x VirtualLab Fusion的工作流程
qv.[ k<~a> 08`f7[JQo] •构造光栅结构
WEno+Z~=1' - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
^it4z gx@ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
OZ eiH X! •分析光栅衍射效率
V78Mq:7d - 光栅级次分析器[用例]
2}D,df'W4 •使用参数优化优化光栅参数
[vE$R@TZ0! •使用参数运行进行
容差分析 Xfj )gPt} - 参数运行文档的用法[用例]
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