摘要
F=a<~EpZ f,:9N 5Z 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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!VI]oRgP <oX7P69 建模任务
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s8rE$ 结果-容差分析
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R]btAu;Z Vy938qX 在
VirtualLab Fusion中查看
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}t%!9hr5D DFd%9*N VirtualLab Fusion的工作流程
371
TvZ4 Wv/%^3 •构造光栅结构
V` 1/SQX - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
ZObhF#Y9 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
nC}6B).el •分析光栅衍射效率
Tny%7xSx1 - 光栅级次分析器[用例]
hijgF@ •使用参数优化优化光栅参数
4@ML3d/ •使用参数运行进行
容差分析 (3#Cl
1]f - 参数运行文档的用法[用例]
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