摘要
F(; =^w 9Ai 3p 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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VirtualLab Fusion中查看
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Tt WWq5X| B%I<6E[D VirtualLab Fusion的工作流程
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^'; SUb:0GUa •构造光栅结构
E#~J"9k98 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
Ez+8B|0P - 倾斜光栅的高级配置[用例]
T0X+ \&W •分析光栅衍射效率
<xly k/ - 光栅级次分析器[用例]
Y#zHw< <E •使用参数优化优化光栅参数
f;%=S:3 •使用参数运行进行
容差分析 tx$`1KA - 参数运行文档的用法[用例]
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`hDH7u!U. Pyp#'du> VirtualLab Fusion技术
LO;6g~(1 ID~}pEQ 
