摘要
,88Y1|:X [=9R5.)c 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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p/:5bvA a>kDG <.A 结果-容差分析
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~FsUK;? 3Yf$WE8#l 在
VirtualLab Fusion中查看
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4ku /3/6 e"2QV vB VirtualLab Fusion的工作流程
OP&[5X+Y 68!]q(!6F •构造光栅结构
7 dzE"m - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
VsmL#@E - 倾斜光栅的高级配置[用例]
dL\8^L •分析光栅衍射效率
q1gf9`0 - 光栅级次分析器[用例]
N<{`n; •使用参数优化优化光栅参数
y8 N b8m •使用参数运行进行
容差分析 R#`itIYh - 参数运行文档的用法[用例]
q)~qd$yMS &-*nr/xT
5_`}$"<~ Ocb2XEF VirtualLab Fusion技术
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