[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 ,,1y0s0`  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 /1m+iM^V  
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1阶的参数优化 DwK$c^2q{.  
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在VirtualLab Fusion中查看 '#oH1$W]  
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VirtualLab Fusion的工作流程 |+JC'b?,  
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•构造光栅结构 DMSC(Sz  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] PsS.lhj0"  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] ~BE=z:  
•分析光栅衍射效率 O%aHQL%Sz  
- 光栅级次分析器[用例] : w>R|]  
•使用参数优化优化光栅参数 RSw;b.t7  
•使用参数运行进行容差分析 AM#s2.@  
- 参数运行文档的用法[用例] zz<o4bR  
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VirtualLab Fusion技术 5d# 73)x$  
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