摘要
Iky'x[p,D ^ 6~CA 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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eA>O<Z1> i%M2(8&^Q 结果-容差分析
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/hjm"$ VirtualLab Fusion的工作流程
~?dPF;. 6_ _.Y?BAQ •构造光栅结构
+GWeu0b(~ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
"j9,3yJT - 倾斜光栅的高级配置[用例]
ocy fU=}X •分析光栅衍射效率
kzGD * - 光栅级次分析器[用例]
VuFH
>8n •使用参数优化优化光栅参数
`I<*R0Qe •使用参数运行进行
容差分析 (?&X<=|" - 参数运行文档的用法[用例]
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1|[}nY P VirtualLab Fusion技术
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