摘要
a ~YrQI- @ _ &(L{cFx6 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化 zB`J+r;LU T+x
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{\`y)k 7 @{U UB=}9 在
VirtualLab Fusion中查看
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HY eCq9S FA>.1EI VirtualLab Fusion的工作流程
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p*T[J •构造光栅结构
lxCAZa\ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
4%zy$,|e - 倾斜光栅的高级配置[用例]
Q=> 5@sZB •分析光栅衍射效率
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HWs - 光栅级次分析器[用例]
~NPhVlT •使用参数优化优化光栅参数
CJh,-w{wJ" •使用参数运行进行
容差分析 }ng?Ar [ - 参数运行文档的用法[用例]
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Xn?.Od( #AP;GoIf"j VirtualLab Fusion技术
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