摘要
uv^x k1s5cg=n( 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化 zgH*B*)bj *;~u 5y2b
Fop +xR,Z 5O
Y5b8 结果-容差分析
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n\f]?B( bMNr +N 结果-容差分析
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ju.pQ=PSX kRBO] 在
VirtualLab Fusion中查看
\xv(&94U 6]kBG?m0
c"pOi& aql8Or1[ VirtualLab Fusion的工作流程
= _{gqi$Mi •构造光栅结构
As`=K$^Il. - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
@qj]`}Gx' - 倾斜光栅的高级配置[用例]
7mMMVz2 •分析光栅衍射效率
Jmi,;Af'/ - 光栅级次分析器[用例]
!\9^|Ef? •使用参数优化优化光栅参数
I0z 7bx •使用参数运行进行
容差分析 S6a\KtVa - 参数运行文档的用法[用例]
I~@8SSO,vH tMp!MQ
$(]nl%<Q IF\ @uo` VirtualLab Fusion技术
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