摘要
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bX38=.up 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Y~*p27@fR <fBJ@> 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
oNXYBeu+ n+=7u[AZi
YYI0iM> n,2 p)#? VirtualLab Fusion的工作流程
ES,JdImZ| *j(fk[,i •构造光栅结构
#"A`:bjG - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
6%t6u3 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
bh8GP]*E| •分析光栅衍射效率
P2ySjgd - 光栅级次分析器[用例]
~-sgk"$ •使用参数优化优化光栅参数
x!S}Y" •使用参数运行进行
容差分析 6E_~8oEl - 参数运行文档的用法[用例]
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`@\FpV[|P PQ!'< VirtualLab Fusion技术
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