[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 +Tf4SJ  
<'y}y}%  
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 $<NrJgQ  
`kE ;V!n?  

图片:1-1ZR3110153312.png

B3AWJ1o  
9w)W|9  
建模任务
_'Jz+f.  
%P8*Az&]T  

图片:1-1ZR31102241U.png

e4h9rF{Cxn  
Py@/\V  
1阶的参数优化 `jHbA#sO  
:P
'M|U  

图片:1-1ZR3110300146.png

19h@fA[:  
\\R$C  
结果-容差分析 }Quk
n  
7.mYzl-F(  

图片:1-1ZR311033c64.png

?)-#\z=6G  
]z77hcjB1  
结果-容差分析 ID_#a9N  
`erKHZ]S  

图片:1-1ZR3110400923.png

twWzS 4;  
'w$jVX/  
在VirtualLab Fusion中查看 MlKSjKl" !  
-P6Z[V%  

图片:1-1ZR31104205S.png

n^lr7(!6  
,K WIuCU;  
VirtualLab Fusion的工作流程 <u_vL WS  
<5 )F9.$  
•构造光栅结构 &7J-m4BI  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] m7#v2:OD+  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] Of}dsav   
•分析光栅衍射效率 9$q35e  
- 光栅级次分析器[用例] #c%FpR4  
•使用参数优化优化光栅参数 fxQ4kiI  
•使用参数运行进行容差分析 *)Us   
- 参数运行文档的用法[用例] 31GqWN`>$  
cjp~I/U  

图片:1-1ZR3110443116.png

p![UOI"W  
#E$*PAB  
VirtualLab Fusion技术 :.P
{
}\/  
}&LVD$Bz  

图片:1-1ZR3110554J9.png