摘要
xy$agt>j> ta\CZp 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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uGxh}'& zFn-V EJ) 建模任务
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参数优化 o'8`>rb >8*J ;(:W 
Ob"48{w$ X4"D Lt" 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
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sSM^net0 1m52vQSo3l VirtualLab Fusion的工作流程
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% •构造光栅结构
nsRZy0@$t - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
@w H+,]xE - 倾斜光栅的高级配置[用例]
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\ •分析光栅衍射效率
`H:5D5] - 光栅级次分析器[用例]
Z;nbnRz •使用参数优化优化光栅参数
/ p_mFA]@ •使用参数运行进行
容差分析 ?-y!FD}m& - 参数运行文档的用法[用例]
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.fQ/a`AsU &g{b5x{iD VirtualLab Fusion技术
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