摘要
Wtl/xA_ Cq mtO?vne 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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OH.lAF4E( IXjFK 结果-容差分析
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jh7-Fl` AkMP)\Q 在
VirtualLab Fusion中查看
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& OO0v*@{ QMO.Bnek VirtualLab Fusion的工作流程
eyM<#3\\S /\7E&n:)2 •构造光栅结构
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a3\ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
\mK;BWg) - 倾斜光栅的高级配置[用例]
`!BP.-Zv •分析光栅衍射效率
\zCwD0Z - 光栅级次分析器[用例]
}4Q~<2 •使用参数优化优化光栅参数
{C>E*qp}f •使用参数运行进行
容差分析 Z;v5L/; - 参数运行文档的用法[用例]
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