摘要
>
f X^NX b5)^g+8)w 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
U\lbh;9G \)/qCeiZ
d]e36Dwk 39 }e
}W" 建模任务
c
qCNk !6=s{V&r1
^WB[uFt- f4 S:L& 1阶的
参数优化 DQY1oM)D! 0]7jb_n1
Hj>9 #>b >KuNHuHu 结果-容差分析
P1[.[q/-e Db Qp(W0
;>Z+b#C[ 8(4!x$,Z5 结果-容差分析
n R, QG8 NW6;7nWb
ks.p)F>] 3iw3:1RZUZ 在
VirtualLab Fusion中查看
CbM~\6R U>*@VOgB
WDghlC6g!l {2 q"9Ox" VirtualLab Fusion的工作流程
?VotIruR $O\m~r4 •构造光栅结构
Zuzwc [Z1 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
d3rjj4N"z - 倾斜光栅的高级配置[用例]
J'WzEgCnU •分析光栅衍射效率
Ewz cB\m - 光栅级次分析器[用例]
i}8OaX3x •使用参数优化优化光栅参数
R-zS7Jyox •使用参数运行进行
容差分析 ]zj#X\ - 参数运行文档的用法[用例]
n>u_>2Ikkj {H,O@
]Y]]X[@ 9`92
> VirtualLab Fusion技术
OiAuL:D 4Mg%}/cC