摘要
dow^*{fqZ d2ENm%q*PX 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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-#A:`/22 ;<G<1+ 设计任务
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Ut Hc] Rh] P8 1级
参数优化
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vU/ D7 K2/E#}/ 结果-容差分析
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VZA3IbK} ? Ekq6uz\) VirtualLab Fusion一瞥
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LnMwx#^* i@<~"~ >]7 VirtualLab Fusion中的工作流程
e.6Dl_ (@ea|Fd#4 构建光栅结构
J/4y|8T/y −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
c%YDt` −倾斜光栅高级设定[用例]
It
2UfW •光栅衍射效率分析
VvgN3e[ −光栅阶序分析器[用例]
Y%v P#>h •使用参数优化进行光栅参数优化
cq^sq1A: •使用参数运行的
容差分析
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'4)w J7a-CI_Tf VirtualLab Fusion技术
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