摘要
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m-4#s 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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~ ' 设计任务
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9Br+ ]F _i kSEA 1级
参数优化
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K_Y{50# *JX$5bZsI 结果-容差分析
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~ MkF WZ9c3 结果-容差分析
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zUJXA:L9 "Cxj_V@\ VirtualLab Fusion一瞥
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!NNPg ?Y 0^Ldw)C" VirtualLab Fusion中的工作流程
EwG+' nlE X sJ`x 构建光栅结构
4w%hvJ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
\mu';[gLd −倾斜光栅高级设定[用例]
( 9( xJ) •光栅衍射效率分析
XOqHzft h6 −光栅阶序分析器[用例]
0y<9JvN$9 •使用参数优化进行光栅参数优化
z5({A2q •使用参数运行的
容差分析
b/*QV0( An(gHi;1$ 
Mfz(%F|< w7~]c,$y. VirtualLab Fusion技术
OO/>}? ob J6EzD\.Y) 
