摘要
&MJ`rj[% 6JE_rAab 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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z_nY>_L83* '17V7A/t 设计任务
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ST[ E$XL6 kntULI$` 1级
参数优化
o(oD8Ni $%?[f;S3, 
~Da-|FKa> r5P Z=+F 结果-容差分析
N=c {@h Xrz pn&Y=# 
\qB.>f"%p| Q ` z2SYz> 结果-容差分析
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;! #IRR s m qUFo VirtualLab Fusion一瞥
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:qtg `zM/4 K,H xe;- VirtualLab Fusion中的工作流程
OwLJS5r@<- OTmr-l6 构建光栅结构
qex:: Qf −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
``Rg0o −倾斜光栅高级设定[用例]
%Wt F\p •光栅衍射效率分析
>* ]B4Q −光栅阶序分析器[用例]
Fh s/<w- •使用参数优化进行光栅参数优化
qmq#(%Z <W •使用参数运行的
容差分析
PH=O>a`a_O +"PME1 
6 8nPz".X +A2}@k VirtualLab Fusion技术
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