摘要
AZ)H/#be 5Sd+Cc 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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jX^uNmb 2f1WT g) 1级
参数优化
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fYF\5/_ `;-K/)/x 结果-容差分析
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>HatbbA -QL_a8NL 结果-容差分析
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,YHD !(PAUWS@ VirtualLab Fusion一瞥
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mk VirtualLab Fusion中的工作流程
J[rpMQ \ Tf845 构建光栅结构
g+oSbC −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
Uk=jQfA*J −倾斜光栅高级设定[用例]
sf4NKe2* •光栅衍射效率分析
6@?4z
Rkz −光栅阶序分析器[用例]
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F% 3b47 •使用参数优化进行光栅参数优化
RnV
)* •使用参数运行的
容差分析
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v'(p."g [k-Q89 VirtualLab Fusion技术
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