摘要
P St|!GST wNlV_ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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F 7dL=E"WL 设计任务
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j$/uJ` %#;(]7Zq 1级
参数优化
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E*#60z7F _J$p< 结果-容差分析
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K,T]Fuy d3q/mg 5a 结果-容差分析
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ri_6wbPp b|C,b"$N0 VirtualLab Fusion一瞥
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7'l{I'Z [,V92-s;N VirtualLab Fusion中的工作流程
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.k ~$`YzK^*X 构建光栅结构
J!gWRw5 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
2nz'/G −倾斜光栅高级设定[用例]
y8 u)Q •光栅衍射效率分析
IF21T −光栅阶序分析器[用例]
eEb1R}@ •使用参数优化进行光栅参数优化
/3HWP`<x •使用参数运行的
容差分析
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~k_zMU-1 L,ey3i7a\ VirtualLab Fusion技术
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