[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 ETMF.-P  
u|T
g*B  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 /4M~ 6LT`  
,?KN;~t#vz  
.dQEr~f#}  
5<RZht$i  
设计任务 ?H0"*8C?Y  
7O]$2  
ibqJ'@{=e  
=}xH6^It  
1级参数优化 lmbC2\GT  
8w\ZY>d  
of<(4<T  
NN"!kuM  
结果-容差分析 <ZXK}5SZ#  
=hq+9 R8=  
?Mj@;O9>'  
L >HyBB  
结果-容差分析 7@u:F?c  
lG/h[  
4RDdfY\%u  
.% {4B,d$  
VirtualLab Fusion一瞥 cd3;uB4\,  
Pu`;B  
;UPI%DnE]  
T8US` MZ  
VirtualLab Fusion中的工作流程 w\{o
OlE  
UgC{  
构建光栅结构 o"Mhwh  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] '^ob3N/Y [  
−倾斜光栅高级设定[用例] I?~iEO\nh  
•光栅衍射效率分析 ]R%+  
−光栅阶序分析器[用例] Bf+7;4-  
•使用参数优化进行光栅参数优化 syB.Z-Cpd  
•使用参数运行的容差分析 2r*Yd(e  
l0@+&Xj  
i8+[-mh  
cwC-)#R']  
VirtualLab Fusion技术 ]IeyJ  
Q3P*&6wA