摘要
&VA^LS@b c*. 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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z9( 2G$px 设计任务
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参数优化
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@&`^#pok 1 :$#a 结果-容差分析
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R]e&JoY egSs=\ 结果-容差分析
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&9)/" i%.k{MY VirtualLab Fusion一瞥
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cn ?t VirtualLab Fusion中的工作流程
fdX|t"oz 0m]QQGvJ{ 构建光栅结构
t0e5L{ QJ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
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Q −倾斜光栅高级设定[用例]
u&uFXOc' •光栅衍射效率分析
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−光栅阶序分析器[用例]
=v?P7;T •使用参数优化进行光栅参数优化
h)ZqZ'k$ •使用参数运行的
容差分析
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k(^TXUK\o mj e9i VirtualLab Fusion技术
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