[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 \cIN]=#  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 uks75W!}U  
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设计任务 P>7Xbm,VP  
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1级参数优化 w+br)  
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结果-容差分析 Y=mr=]q  
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结果-容差分析 s.2f'i+  
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VirtualLab Fusion一瞥 E'QAsU8pP  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 0j$\k|xFXZ  
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构建光栅结构 VeA@HC`?"  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] [?]N GTr#  
−倾斜光栅高级设定[用例] HsCL%$k  
•光栅衍射效率分析 [EAOk=X  
−光栅阶序分析器[用例] =^9h z3j  
•使用参数优化进行光栅参数优化 22l'kvo4"  
•使用参数运行的容差分析 /JD}b[J$  
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VirtualLab Fusion技术 V}E['fzBFV  
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