摘要
sB+
B,DF <4,LTB]9- 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
>yr1wVS ;{:bq`56f _<m yM2z U{?#W 设计任务
RM6*c
. /&!4oBna W~Ae&gcn# ,cCBAOueO 1级
参数优化
;tG@ 6 S<Od`I i/{`rv*K[ 1|/-Ff"1@ 结果-容差分析
G/y;o3/[Z u.9syr k@Mt8Ln :{'%I#k2 结果-容差分析
;JV(!8[ c#<p44>U 07#e{ cZl/8?dj} VirtualLab Fusion一瞥
:V
ZXI#([ ~Sc{\ZJl #2*6esP H%G|8,4 VirtualLab Fusion中的工作流程
Dg'BlrwbR 0$:jZ/._ 构建光栅结构
wNQhg −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
n1PV/ Z −倾斜光栅高级设定[用例]
AZf$XHP2 •光栅衍射效率分析
7 DW_G −光栅阶序分析器[用例]
?my2dd,| •使用参数优化进行光栅参数优化
C|-QU •使用参数运行的
容差分析
\SyG#.$ Dt glPo_( GB8>R X6G2$| VirtualLab Fusion技术
wHE1Jqpo Qa@]
sWcM