[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 mY,t]#^m7  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 lT~A~O  
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设计任务 )90K^$93"  
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1级参数优化 om}jQJ]KH  
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结果-容差分析 SebJ}P1x  
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结果-容差分析 Wx-vWWx*Q  
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VirtualLab Fusion一瞥 JOm6Zc  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 zm('\KvT  
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构建光栅结构 CiSl0  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] #J<IHN
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−倾斜光栅高级设定[用例] <m3or  
•光栅衍射效率分析 -L%2*`-L$  
−光栅阶序分析器[用例] DTR/.Nr'K  
•使用参数优化进行光栅参数优化 t=Um@;wh  
•使用参数运行的容差分析 a4L0
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VirtualLab Fusion技术 5pI=K/-  
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