摘要
,: ^u- b| ?A0)L27UE& 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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+,l-Nz 3U}%2ARo_ 设计任务
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^^Vg~){ 4 g{LP7 D;6 1级
参数优化
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~G w*r\\+ #z42C?V 结果-容差分析
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{'b: C {+Jv+J9 VirtualLab Fusion一瞥
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*ui</+ Kpp_|2|@< VirtualLab Fusion中的工作流程
R-Sym8c 5-M-X#( 构建光栅结构
wY }@'pzX −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
V8(- −倾斜光栅高级设定[用例]
B<-Wea •光栅衍射效率分析
u:EiwRW −光栅阶序分析器[用例]
^Dx&|UwiZa •使用参数优化进行光栅参数优化
z{>Rc"%\ •使用参数运行的
容差分析
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EK'!}OGCG Ss`LLq0LO VirtualLab Fusion技术
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