[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 f?A*g$v  
A|d(5{:N  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 *<_8]C0>  
*7o(  
&De&ZypU  
It@.U|  
设计任务 +H~})PeQ  
LN?W~^gsR  
/uzU]3KF~  
Wf=D'6w  
1级参数优化 !1}A\S  
0"L_0 t:  
Rx 4 ;X  
i7w>Nvj]  
结果-容差分析 \Z^YaKj&  
3X&}{M:Qo  
/-l7GswF  
#yv_Eb02  
结果-容差分析 ZLJf
SnB  
=5jX#Dc5.+  
>8nRP%r[5,  
bi bjFg  
VirtualLab Fusion一瞥 S]3t{s#JW7  
(P[:g  
!$x9s'D  
bCF"4KXK  
VirtualLab Fusion中的工作流程 --S2lN/:T  
A-&C.g  
构建光栅结构  c6;tbL  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] T^ ^o  
−倾斜光栅高级设定[用例] :U>o;  
•光栅衍射效率分析 jLf.qf8qm  
−光栅阶序分析器[用例] lmZSsx  
•使用参数优化进行光栅参数优化 @""aNKA^r>  
•使用参数运行的容差分析 hSq3LoHV  
&oTUj'$  
%W=S*"e-  
!52]'yub  
VirtualLab Fusion技术 PG8|w[V1"  
bBBW7',[a