[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 &Z?ut*%S  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 wv^rS^~  
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设计任务 -CH`>  
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1级参数优化 {G*A.$-d  
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结果-容差分析 ;v  
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结果-容差分析 4x%(9_8{-  
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VirtualLab Fusion一瞥 l<(Y_PE:  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 xyr+_k-x&q  
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构建光栅结构 Y,8KPg@W  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] c.\O/N   
−倾斜光栅高级设定[用例] G1 o70  
•光栅衍射效率分析 l:]Nn%U(>  
−光栅阶序分析器[用例] ^% Q|s#w.  
•使用参数优化进行光栅参数优化 ~tB;@
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•使用参数运行的容差分析 AGA`fRVx  
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VirtualLab Fusion技术 a'\By?V]  
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