[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 *DuP~8  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 !"bU|a  
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设计任务 9PWqoz2c  
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1级参数优化 SxW.dT8{  
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结果-容差分析 EzGO/uZ]  
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结果-容差分析 =m/BH^|&W  
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VirtualLab Fusion一瞥 g%%j"Cz1  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 lzK,VZ=mM  
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构建光栅结构 %]fi;Z  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] e)2w&2i`(F  
−倾斜光栅高级设定[用例] {:ZsUnzm  
•光栅衍射效率分析 (<ngdf`,  
−光栅阶序分析器[用例]  ' qN"!\  
•使用参数优化进行光栅参数优化 ]Aa.=  
•使用参数运行的容差分析 QRlrcauM  
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VirtualLab Fusion技术 ^u$?& #  
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