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    [技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-08
    摘要 PSt|!GST  
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    对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 /E1c#@  
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    结果-容差分析 8`R}L  
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    VirtualLab Fusion一瞥 0 GLB3I >  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 EYj2h .k  
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    构建光栅结构 J!gWRw5  
    −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 2nz'/G  
    −倾斜光栅高级设定[用例] y8 u)Q  
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    −光栅阶序分析器[用例] e Eb1R}@  
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    •使用参数运行的容差分析 fP4IOlHkE  
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    VirtualLab Fusion技术 rnrx%Q  
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