[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 C$yq\C+I  
O(Jj|Z  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 K^l:MxO-X  
/t%u"dP"T~  

图片:1-19110G51512293.png

YT#3n  
3gZ8.8q3  
设计任务 M8&}j  
tY|8s]{2  

图片:1-19110G51541c6.png

DKL@wr}8  
UUe#{6Jx_  
1级参数优化
s1N?/>lmB  
N)2f7j4C&  

图片:1-19110G516302b.png

PmpNAVE'  
zYER  
结果-容差分析 ?~e
3&ux  
u{<"NR h  

图片:1-19110G51HWc.png

oqd;6[%G  
Z8O n%Mx{"  
结果-容差分析 NpP')m!`}  
Jju#iwb  

图片:1-19110G51K2c1.png

\nNXxTxX!  
K>Fqf +_  
VirtualLab Fusion一瞥 n/d`qS  
g=L]S-e  

图片:1-19110G51Q9D8.png

-fI`3#  
hwYQGtjF  
VirtualLab Fusion中的工作流程 H`hnEOyLp  
JuR"J1MY  
构建光栅结构 4R^mI  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 1/+C5Bp*  
−倾斜光栅高级设定[用例] "I6P=]|b  
•光栅衍射效率分析 (IqZ@->nw  
−光栅阶序分析器[用例] 5|0,X<
&  
•使用参数优化进行光栅参数优化 yOU(2"8p  
•使用参数运行的容差分析 7c
P@jj  
r|Z3$J{^"  

图片:1-19110G51933119.png

Rk<@?(l!6x  
|y;}zQB-dH  
VirtualLab Fusion技术 z /KK)u(q  
$,=6[T!z+e  

图片:1-19110G52045463.png