[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 9TF f8'?d  
/,!qFt  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 =U8a ?0  
s]mo$ _na  

图片:1-19110G51512293.png

,NnhHb2\  
ZX ?yL>4  
设计任务 }X x(^Zh  
56^+;^f^`  

图片:1-19110G51541c6.png

 tz#gClo  
4&
8Gr0C  
1级参数优化 mj|)nOd  
>fH=DOz$&  

图片:1-19110G516302b.png

,Jcm+Wb  
-':Y\:W  
结果-容差分析 x~.:64  
F+E|r6'i  

图片:1-19110G51HWc.png

y=In?QN{6*  
.sQ=;w/ZA  
结果-容差分析 xs\!$*R  
OB[o2G<0  

图片:1-19110G51K2c1.png

|F9z,cc"  
b-3*Nl_%  
VirtualLab Fusion一瞥 GUF"<k  
4w#``UY)'  

图片:1-19110G51Q9D8.png

wApMzZ(X2y  
!61Pl/uQ  
VirtualLab Fusion中的工作流程 Pnd`=%w%]  
AuR$g7z  
构建光栅结构 0\2\*I}?  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ho>k$s?  
−倾斜光栅高级设定[用例] M-i_#EWP  
•光栅衍射效率分析 z<.?x%4O  
−光栅阶序分析器[用例] RZ1 /#;  
•使用参数优化进行光栅参数优化 1 { , F
 
•使用参数运行的容差分析 6\
61~u~  
E9V5$  

图片:1-19110G51933119.png

UX]L;kI  

N?X^O#[  
VirtualLab Fusion技术 5MzFUv0)  
w&xDOyW]  

图片:1-19110G52045463.png