[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 e^YHJ>@  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ;R=.iOn  
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建模任务 &0TVi  
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模拟&设置：单平台互操作性 'Djm0  
建模技术的单平台互操作性 ~1m2#>  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 7J28JK  
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 平面波光源 V]c;^  
 微透镜阵列 @\oz4^  
 彩色滤光片(吸收介质) *?+V65~dW  
 通过基底传播 c(co\A.]:6  
 探测 Bx"7%[  
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连接建模技术：微透镜 JxLf?ad.  
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连接建模技术：彩色滤光片 M'`;{^<  
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t:JI!DR  
连接建模技术：可编程介质 cH<q:OYi  
Ov-b:lH  

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2#X4G~>#h  
连接建模技术：自由空间传播 $rXh0g  
b,P]9$Ut  

图片:1-231026212P4M8.png

} B396X  
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连接建模技术：堆栈 ,:Vm6u!  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ?Y:x[pOe  
M,j(=hRJ/E  

图片:1-231026212S44J.png

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 微透镜阵列 p <eC<dtu  
 彩色滤光片(吸收介质) DlMe5=n-u  
 通过基底传播 <";,GaZQ  
 探测 =k3!RW'  
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元件内场分析器：FMM at!Y3VywG  
KPSh#x&I  

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K|C^l;M6  
syx\g
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模拟结果 h@7FY  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) BY\:dx)mK  
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图片:1-231026213023c5.png

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[w -{r+[  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) _a_xzv'  
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图片:1-2310262131263Q.png

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 gB\T[RV  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) \&V0vN1  
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"O+5R(XT  
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3D仿真与结果比较 |{g+Y  
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3D仿真与结果比较 z^o1GY  
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