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    [技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    摘要 F1 MPo;e  
    o<%Sr*  
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    9#pl BtQ**  
    近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 9/Q5(P  
    ];(w8l  
    建模任务 /A{znE  
    ;:' A{&0N  
    -KO E2f  
    ucB<  
    模拟&设置:单平台互操作性  E#ti  
    建模技术的单平台互操作性 |-Y,:sY:  
    模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 , gz:2UY#  
    &4p:2,|r9  
    Riu0;U( \  
    B;_M52-B  
     平面波光源 B&<Z#C:I  
    微透镜阵列 (}c}=V  
     彩色滤光片(吸收介质) `) K1[&  
     通过基底传播 ? NVN&zD]  
     探测 n802!d+Tn  
    r=s2wjk  
    连接建模技术:微透镜 .}]5y4UQ.  
    OSsdB%bIu`  
    "EhA _ =i  
    *`mwm:4  
    连接建模技术:彩色滤光片 g6 r3V.X'  
    [%Y Cupr#  
    oGXT,38*  
    C#vU'RNpl  
    连接建模技术:可编程介质 WEWNFTI  
    !=eui$]  
    LLV:E{`p  
    ]6FpUF#<D  
    连接建模技术:自由空间传播 # l}Y1^PDd  
    i!sKL%z}  
    :Q!U;33aG  
    \%rX~UhZ=  
    连接建模技术:堆栈 D0tI  
    在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 B!rY\ ?W  
    zjB8~ku#  
    >`\~=ivrD  
    YV 2T$#7u  
     微透镜阵列 -bcm"(<T'  
     彩色滤光片(吸收介质) 57rc|]C  
     通过基底传播 If2f7{b  
     探测 \JN?3}_J  
    `3\5&Bf  
    元件内场分析器:FMM *|ubH?71%Y  
    ~B|K]&/]  
    29 ')Y|$,  
    I@7^H48\  
    模拟结果 8^^Xr  
    FL"7u2rh,  
    像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) B]0`b1t  
    ~S#Le  
    2["bS++?  
    `A3"*,|z  
    像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) -h8A<  
    XwE(&ZCf'b  
    3|l+&LF!IC  
    45q-x_  
    像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) @aWvN;v  
    Ryr2  
    \:%e 6M  
    g]N!_Ib/!  
    3D仿真与结果比较 F@)wi0  
    ^4h/6^b0c  
    d 0$)Y|d>  
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    3D仿真与结果比较 z3[ J>  
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