摘要 F1MPo;e
o<%Sr*
~/gqXT"> 9#pl BtQ** 近几十年来,
CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间
分辨率。同时,这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真,以验证微透镜的有效性。
9/Q5(P ];(w8l 建模任务 /A{znE
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-KOE2f ucB< 模拟&设置:单平台互操作性
E#ti 建模技术的单平台互操作性 |-Y,:sY: 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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Riu0;U( \ B;_M52-B 平面波
光源 B&<Z#C:I
微透镜阵列 (}c}=V 彩色滤光片(吸收介质)
`)K1[& 通过基底传播
? NVN&zD] 探测
n802!d+Tn r=s2wjk 连接建模技术:微透镜 .}]5y4UQ. OSsdB%bIu`
"EhA _ =i *`mwm:4 连接建模技术:彩色滤光片 g6r3V.X' [% YCupr#
oGXT,38* C#vU'RNpl 连接建模技术:可编程介质 WEWNFTI
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LLV:E{`p ]6FpUF#<D 连接建模技术:自由空间传播 # l}Y1^PDd i!sKL%z}
:Q!U;33aG \%rX~UhZ= 连接建模技术:堆栈 D0tI 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。
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>`\~=ivrD YV 2T$#7u 微透镜阵列
-bcm"(<T' 彩色滤光片(吸收介质)
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