[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 F1MPo;e  
o<%Sr*  

图片:1-231026211SA52.png

~/gqXT">  
9#pl BtQ**  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 9/Q5(P  
];(w8l  
建模任务 /A{znE  
;:'A{&0N  

图片:1-231026211912255.png

-KOE2f  
ucB<  
模拟&设置：单平台互操作性  E#ti  
建模技术的单平台互操作性 |-Y,:sY:  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 , gz:2UY#  
&4p:2,|r9  

图片:1-231026212000Y8.png

Riu0;U( \  
B;_M52-B  
 平面波光源 B&<Z#C:I  
 微透镜阵列 (}c}=V  
 彩色滤光片(吸收介质) `)K1[&  
 通过基底传播 ? NVN&zD]  
 探测 n802!d+Tn  
r=s2wjk  
连接建模技术：微透镜 .}]5y4UQ.  
OSsdB%bIu`  

图片:1-23102621225O05.png

"EhA _ =i  
*`mwm:4  
连接建模技术：彩色滤光片 g6r3V.X'  
[%YCupr#  

图片:1-231026220251440.png

oGXT,38*  
C#vU'RNpl  
连接建模技术：可编程介质 WEWNFTI  
!=eui$]  

图片:1-231026212G1G3.png

LLV:E{`p  
]6FpUF#<D  
连接建模技术：自由空间传播 # l}Y1^PDd  
i!sKL%z}  

图片:1-231026212P4M8.png

:Q!U;33aG  
\%rX~UhZ=  
连接建模技术：堆栈 D0tI
  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 B!rY\ ?W  
zjB8~ku#  

图片:1-231026212S44J.png

>`\~=ivrD  
YV 2T$#7u  
 微透镜阵列 -bcm"(<T'  
 彩色滤光片(吸收介质) 57rc|]C  
 通过基底传播 If2f7{b  
 探测 \JN?3}_J  
`3\5&Bf  
元件内场分析器：FMM *|ubH?71%Y  
~B|K]&/]  

图片:1-231026212931494.png

29 ')Y|$,  
I@7^H48\  
模拟结果 8^^Xr  
FL"7u2rh,  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) B]0`b1t  
~S#Le  

图片:1-231026213023c5.png

2["bS++?  
`A3"*,|z
 
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) -
h8A<  
XwE(&ZCf'b  

图片:1-2310262131263Q.png

3|l+&LF!IC  
45q-x_  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) @aWvN;v  
Ryr2  

图片:1-231026213156124.png

\:%e 6M  
g]N!_Ib/!  
3D仿真与结果比较 F@)wi0  
^4h/6^b0c  

图片:1-231026213221N4.png

d 0$)Y|d>  
Ihw^g<X  
3D仿真与结果比较 z3[ J>  
ENr\+{{%  

图片:1-231026213249293.png