[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 y*_g1q$  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 y:pypuwt;  
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建模任务 LgB}!OLQ  
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模拟&设置：单平台互操作性 arDY@o~  
建模技术的单平台互操作性 A.y
"R)G  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 69rVW~Z  
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 平面波光源 T*LbZ"A  
 微透镜阵列 %M~Ugv_4v  
 彩色滤光片(吸收介质) At.WBa3j%{  
 通过基底传播 uy7)9w  
 探测 #F[6$. Gr  
A@&+!sO  
连接建模技术：微透镜 8=t?rA  
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图片:1-23102621225O05.png

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sp'q=^t  
连接建模技术：彩色滤光片 H2rh$2  
%!LrC!6P4  

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连接建模技术：可编程介质 *}3~8fu{  
Tf*X\{"  

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k|a{|2p  
连接建模技术：自由空间传播 l{Xsh;%=  
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图片:1-231026212P4M8.png

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"RZ)pav?  
连接建模技术：堆栈 l&
5| =  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Mm|HA
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图片:1-231026212S44J.png

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 微透镜阵列 d$b{KyUA  
 彩色滤光片(吸收介质) ,O $F`0>9A  
 通过基底传播 TY~0UU$  
 探测 P?\rRB  
$Pl>T09d  
元件内场分析器：FMM CSwNsFDR%  
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TkmN.@w_C  
模拟结果 fM \T^X  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Qy$8!(  
}+I 8l'  

图片:1-231026213023c5.png

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6WI_JbT~  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ()3+!};  
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b<Pjmb+  
:IbrV@gN{@  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) |M0 XLCNd_  
CK'Cf{S  

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3D仿真与结果比较 I\`:
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3D仿真与结果比较 st/Tb/  
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