摘要 61XLL/=P
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2/T4. [`t TL29{'4V 近几十年来，
CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间
分辨率。同时，这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真，以验证微透镜的有效性。
ke+3J\;> S\,~ 6]^T 建模任务 U #u =9%'
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?yfw3s x)wlp{rLf 模拟&设置：单平台互操作性 Y<x;-8)* 建模技术的单平台互操作性 xrXfLujn% 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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E`"<t:R zF v$P<:M M 平面波
光源 hS( )OY
微透镜阵列 "vH>xBR[% 彩色滤光片(吸收介质)
EAdr}io 通过基底传播
3ih3O 探测
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f ~6<'cun@x 连接建模技术：微透镜 BE#s@-zR=p | 4slG 
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x ^|P/D 连接建模技术：彩色滤光片
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| 连接建模技术：可编程介质 z-J?x-<
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}[$ qn| wW aJ%z>3y 连接建模技术：自由空间传播 ^#V7\;v$G &&Uc%vIN 
RTL A* /qKO9M5A 连接建模技术：堆栈 M<%g )jn_ 在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。
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{SQ#n@Q&$ Yp;6.\Z8[ 模拟结果 S, * H2cY}, 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 2qN|<S& o)M=; ! 
4D4Y.g_x i'\7P-a 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) .*x |TPv{
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]9 ArT$ m|c5X)}- 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) b.4H4LV
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