[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 hU?DLl:bXF  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 (W1$+X  
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建模任务 c1YDln  
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Z.VKG1e}  
模拟&设置：单平台互操作性 xSY"Ru  
建模技术的单平台互操作性 =uP? ?E  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Xu$>$D#a  
`v*HH}aDO  

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PK|-2R"M
  
 平面波光源 h"FI]jK|}  
 微透镜阵列 gInh+XZs  
 彩色滤光片(吸收介质) mxNd_{n  
 通过基底传播 ;1k&}v&  
 探测 
C`5'5/-.  
R%UTYRLUn  
连接建模技术：微透镜 J0xHpe  
l=?e0d>O  

图片:1-23102621225O05.png

ee {ToK  
H|%J"  
连接建模技术：彩色滤光片 $/wm k7T  
sz9W}&(j  

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B+W7zv  
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连接建模技术：可编程介质 2B_|"J  
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jTa\I&s,A  
连接建模技术：自由空间传播 hGtz[u#p  
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\^)i!@v  
*b{IWOSe^  
连接建模技术：堆栈 ';C'9k<P:  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 sfF~
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Ht[$s40P  

图片:1-231026212S44J.png

IkCuw./  
1 Pk+zBJ$  
 微透镜阵列 7FC!^)x1  
 彩色滤光片(吸收介质) DY2*B"^  
 通过基底传播 ocGrB)7eD  
 探测 K43%9=sM  
1K Vit{  
元件内场分析器：FMM <>HtXn/  
w;'XqpP$*|  

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A@V$~&JCL5  
模拟结果 |  0  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) h>pu^ `hk  
"OLg2O^  

图片:1-231026213023c5.png

E;Z(v  
+ktv:d  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) &gCGc?/R#  
SkjG}  

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u W]gBhO$O  
qPDNDkjDD  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) N@d~gE&^  
5wue2/gl  

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Skr(C5T  
p9"dm{  
3D仿真与结果比较 IxbQ6  
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aE~T!h  
mG[jR*JW  
3D仿真与结果比较 jg]KE8(  
ZiPeP  

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