[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 F?T3fINR  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 hg]\~#&-  
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建模任务 Y3mATw 3Wh  
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模拟&设置：单平台互操作性 CLdLOu"  
建模技术的单平台互操作性 P%ev8]2  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 kzbgy)PK3  
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 平面波光源 [`6|~E"F  
 微透镜阵列 eeoIf4]  
 彩色滤光片(吸收介质) %)i?\(/  
 通过基底传播 0^?3
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 探测 BYqDC<Fq  
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连接建模技术：微透镜 hE/gul?|_  
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连接建模技术：彩色滤光片 q\x*@KQgM  
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连接建模技术：可编程介质 2(\~z@g  
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连接建模技术：自由空间传播 i jg'X#E  
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V/.Y]dN5  
连接建模技术：堆栈 fM]zD/ g  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 erdWGUfQOe  
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 微透镜阵列 I%h9V([  
 彩色滤光片(吸收介质) }mxy6m ,  
 通过基底传播 pa~.[cBI  
 探测 eRWTuIV6  
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元件内场分析器：FMM G[)Ll=  
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模拟结果 l`:M/z6"  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) x\]%TTps  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) u.ffZ]\7l  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) VC:.ya|Z  
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3D仿真与结果比较 %G1kkcdH<  
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3D仿真与结果比较 \{ r%.G  
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