[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要  qm&}^S  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 4:=']C  
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建模任务 k:Sxs+)?1  
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模拟&设置：单平台互操作性 tzJdUZJ  
建模技术的单平台互操作性 \B8tGog  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 e3UGYwQ  
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 平面波光源 -$J\BkI  
 微透镜阵列 {$)zC*l  
 彩色滤光片(吸收介质) %+YLe-\?  
 通过基底传播 mBSa*s)  
 探测 vF0#]  
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连接建模技术：微透镜 /UTeaM!?"  
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连接建模技术：彩色滤光片 X:bv ?o>Y  
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连接建模技术：可编程介质 5dr
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连接建模技术：自由空间传播 "{1`~pDj?  
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连接建模技术：堆栈 v7&oHOk!  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ".A+'pJ
  
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 微透镜阵列 @q:v?AO  
 彩色滤光片(吸收介质) JoeU J3N  
 通过基底传播 =lY6v-MBw  
 探测 GSo&$T;B6  
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元件内场分析器：FMM n "?It  
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模拟结果 +c;/hM<IX.  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) z{XN1'/V  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) *FhD%><  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) N6K%Wkz  
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3D仿真与结果比较 &%J+d"n(  
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3D仿真与结果比较 ttQX3rmF01  
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