[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 d??;r:  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 *3.K; Ic;  
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建模任务 0,b.;r  
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模拟&设置：单平台互操作性 =<yMB d\  
建模技术的单平台互操作性 E@}N}SR  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 /V-uo(n< .  
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 平面波光源 \wMqVRPoQ  
 微透镜阵列 ~e|RVY,  
 彩色滤光片(吸收介质) 4eFqD;  
 通过基底传播 R;mA2:W)x  
 探测 73Zx`00  
<{ZDD]UGs0  
连接建模技术：微透镜 sfD@lW3  
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&>nB@SQZ  
连接建模技术：彩色滤光片 I/2{I  
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k^VL{z:EWB  
连接建模技术：可编程介质 h^QLvOuR  
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Nxm^jPM0  
连接建模技术：自由空间传播 +56N}MAs  
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连接建模技术：堆栈 "A(D}~i  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ~ 3!yd0[k  
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 微透镜阵列 v(0IQ  
 彩色滤光片(吸收介质) *A&A V||q  
 通过基底传播 5q^5DH_;  
 探测 i'cGB5-j  
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元件内场分析器：FMM t.rlC5 k  
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模拟结果 ]D.} /g  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Wq2Bo*[*  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) gB<1;_KW  
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X:#}E7]j  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) <@S'vcO  
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3D仿真与结果比较 BCmKzv  
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3D仿真与结果比较 Y1wH_!%b  
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