[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 xi+bBqg<.K  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。  w^Mj[v#  
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建模任务 W;Pd
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模拟&设置：单平台互操作性 st_.~m!/  
建模技术的单平台互操作性 =D>,s)}o3;  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Gt4/ax:A@  
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 平面波光源 ~nP~6Q'wSH  
 微透镜阵列 W?>C$_p C  
 彩色滤光片(吸收介质) DPWt=IFU  
 通过基底传播 "V=IG{.  
 探测 @V\
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连接建模技术：微透镜 &gxWdG}qx]  
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连接建模技术：彩色滤光片 pftnFOLO  
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连接建模技术：可编程介质 .S_7R/2(?  
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连接建模技术：自由空间传播 < NRnE8:  
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连接建模技术：堆栈 UR|Au'iu  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 &FpoMW  
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 微透镜阵列 q\$k'(k>35  
 彩色滤光片(吸收介质) QomihQnc  
 通过基底传播 u\AL`'v  
 探测 R<<U(.E  
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元件内场分析器：FMM n1Wo<$#  
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模拟结果 Z}AhDIw!G  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) KU=+ 1,Jf  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ]:r(U5 #  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Djr/!j
  
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3D仿真与结果比较 @s|G18@
 
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3D仿真与结果比较 ]p@q.P  
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