[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 *+|D8xp  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 BkywYCWZ )  
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建模任务 {l/j?1Dxq  
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模拟&设置：单平台互操作性 ;Q*=AW  
建模技术的单平台互操作性 uu0"k<Tp  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ^3~+|A98M  
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 平面波光源 %DyukUJ  
 微透镜阵列 3JhT  
 彩色滤光片(吸收介质) ,Sz`$'^c  
 通过基底传播 ^eF%4DUC;  
 探测 kH;DAphk  
}~B@Z\`O  
连接建模技术：微透镜 U(xN}Y?  
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连接建模技术：彩色滤光片 5(9SIj^O  
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连接建模技术：可编程介质 V_'!#  
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连接建模技术：自由空间传播 o*]Tqx  
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连接建模技术：堆栈 xX !`0T7Y  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 RZY[DoF8u  
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 微透镜阵列 .8GX8[t  
 彩色滤光片(吸收介质) p&s~O,Bw$  
 通过基底传播 u# TNW.  
 探测 gR\z#Sg  
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元件内场分析器：FMM #NyfE|MKBC  
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模拟结果 cb3Q{.-.#  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) c98^~vR]]  
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/'l"Us},^!  
Ql1J?9W  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 5%jy7)8C  
1a]P+-@u[  

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3sK^ (  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) . #FJM2Xk  
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3D仿真与结果比较 m##_U9O  
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3D仿真与结果比较 MAcjWb~f  
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