[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 E?_ zZ2  
x)$2nonM  
a5 bPEJ=I  
'B,KFA<
 
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 LZa% x  
H#`8Ey  
建模任务 =W<[Fe3  
<%&_#<C)  
R+uw/LG  
0#^Bf[Dn  
模拟&设置：单平台互操作性 gvlFumg
2  
建模技术的单平台互操作性 W "k|K:  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 OT@yPG  
Mt=R*M}D0  
x;(g  
6bUl>4  
 平面波光源 kT2Wm/L  
 微透镜阵列 .6Fsw   
 彩色滤光片(吸收介质) &Sa~/!
M  
 通过基底传播 x 'mF&^  
 探测 e=L*&X  
}1@E"6kF  
连接建模技术：微透镜 H?{MRe  
/B[}I}X  
6KO(j/Gwp  

~of,,&  
连接建模技术：彩色滤光片 . pP7"E4]  
yquAr$L!  
!5~k:1=  
7>mhK7l  
连接建模技术：可编程介质 _Jy,yMQ^[_  
|]tZ hI"3<  
2vvh|?M  
 P63 (^R  
连接建模技术：自由空间传播 }LQ\a8]<
 
q5?{1  
R"{l[9j4>  

I^:F)a:  
连接建模技术：堆栈 HU9p!I.  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ,5. <oDH  
6klD22b2$  
ZPvf-PqJl  
 Fs)  
 微透镜阵列 snq;:n!  
 彩色滤光片(吸收介质) :q;R6-|.  
 通过基底传播 Gk 6fO  
 探测 [zx|eG<&-  
xEC2@J  
元件内场分析器：FMM mw
"}8y  
kC31$jMC3!  
A_i zSzC1  
X|Dpt2A=  
模拟结果 #fj[kq)&S  
`-u7 I  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) QoWR@u6a  
2`E!|X  
Ck@M<(x  
vcM~i^24)  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) M?R!n$N_  
Q0WY$w1<  
W #47Cz  
3fl7~Lw,  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) _aY.  
:G0+;[?N  
{lMqcK  
YuA7r"c  
3D仿真与结果比较 0-GKu d  
L20rv:W$h  
AA2ui%  
Z'e\_C  
3D仿真与结果比较 %Co b(C&}  
Pa
[?L:E