[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 }7k+tJ<   
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D.4=4"qMi  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 \,lgv  

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建模任务 G^5}T>TV  
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模拟&设置：单平台互操作性 @~xNax&^  
建模技术的单平台互操作性 ^HQg$}=  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 5q}680s9+  
1]m]b4]  

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 平面波光源 "\U$aaF  
 微透镜阵列 ~~]L!P  
 彩色滤光片(吸收介质) MW6d-  
 通过基底传播 SX$v&L<  
 探测 S~/zBFo-  
Gr}Lp  
连接建模技术：微透镜 j[v<xo  
9#xcp/O  

图片:1-23102621225O05.png

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连接建模技术：彩色滤光片 1|Us"GQ(n  
=4 36/O`K  

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连接建模技术：可编程介质 rB~x]
5TH  
D}r,t_]Eb  

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连接建模技术：自由空间传播 ]2+7?QL,  
jqhd<w  

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d:|X|0#\uH  
连接建模技术：堆栈 !Y8us"  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 i"p)%q~ z  
t-)C0<  

图片:1-231026212S44J.png

]'3e#Cqeh  
q["CT&0  
 微透镜阵列 DBI[OG9  
 彩色滤光片(吸收介质) "qYPi  
 通过基底传播 VPx"l5\  
 探测 _=Ed>2M)no  
: " 9F.U  
元件内场分析器：FMM :n4?  
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4W &HUQ?^  
模拟结果 DG}} S5  
( 6|S42  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) (,#Rj$W  
{+_pyL  

图片:1-231026213023c5.png

&`[y]E'  
i Tg?JoE2  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) FIG3P))  
?>SC:{(  

图片:1-2310262131263Q.png

2| $  
%]S~PKx  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) H|T!}M>  
S\RjP*H*  

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}J"}5O2,b  
3D仿真与结果比较 UT|FV twO  
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3D仿真与结果比较 !*_5 B'  
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