[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 o[|[xuTm  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 Q;h.}N8W  
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建模任务 qQ@| Cj  
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SN{z)q  
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模拟&设置：单平台互操作性 j8Z,:op  
建模技术的单平台互操作性 7Cgi&  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ?J}Q&p.  
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 平面波光源 lqzt[zgN  
 微透镜阵列 rfXxg^  
 彩色滤光片(吸收介质) .[|UNg  
 通过基底传播 H4/wO  
 探测 +v~xgUs  
c-LzluWi  
连接建模技术：微透镜 L/3A g* ]  
}Zhe%M=}G  

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m[DQ;`Y  
连接建模技术：彩色滤光片 53Adic  
B2`S0 H  

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((y|?Z$  
eP{srP3 9  
连接建模技术：可编程介质 , X5.|9  
4kOO3[r  

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l|5 h  
,_z79tC{s  
连接建模技术：自由空间传播 [4)Oi-_Y>  
t
,/ G  

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FD=% 4#|  
:]3X Ez  
连接建模技术：堆栈 3JazQU  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 1wSAwpz  
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 微透镜阵列 ]a3$hAcj6"  
 彩色滤光片(吸收介质) |IxHtg3>6{  
 通过基底传播 6o
pin  
 探测  tV}!_  
s!6lZ mPM  
元件内场分析器：FMM 8%rD/b6`  
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模拟结果 jNZ.Fb  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) =lacfPS  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ,EqQU|  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) mh+T!v$[n)  
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3D仿真与结果比较 *,u3Wm|7  
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3D仿真与结果比较 %-hSa~20  
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