[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Tlrr02>B{  
&7Frg`B&:  
2{;&c  
jJFWPD]u  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 Ww5c9orXn  
<X[TjP  
建模任务 j !^Tw.Ty  
0
6DT2  
0\v98g<[+  
Oop5bg  
模拟&设置：单平台互操作性 @sQ^6FK0G  
建模技术的单平台互操作性 o?nlnoe  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ,XT#V\qne  
XMhDx  
Rs+rlJq  
[h
>|6%sW  
 平面波光源 O7@CAr  
 微透镜阵列 V3;4,^=6Dd  
 彩色滤光片(吸收介质) FR~YO|4?  
 通过基底传播 C${{&$&  
 探测 bqugo  
u\YH,  
连接建模技术：微透镜 m"Y;GzqQl  
B;9"=0  
Ol,;BZHc\  

IOA"O9;  
连接建模技术：彩色滤光片 9hAS#|vK  
KTn,}7vZ  
~;
St,Fw<<  
5 e:Urv77  
连接建模技术：可编程介质 =ark?<E  
gLv|Hu7  
9xWC<i  
YwGc[9=n  
连接建模技术：自由空间传播 '!`%!Xg  
Q,Tet&in )  
gr %8 O-n  
tq=1C=h  
连接建模技术：堆栈 <4jQbY;  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ".L+gn}u-  
4X7y}F.J  
d7N;Fa3yL  
.d`+#1Ot(  
 微透镜阵列 D^Dm, -  
 彩色滤光片(吸收介质) GypZ!)1
 
 通过基底传播 $;un$ko6%  
 探测 5@c,iU-L  
,oe e'  
元件内场分析器：FMM 8)/i\=N3;  
O$x-&pW`g  
o;Ijv\Em  
992;~lBu  
模拟结果 hTI8hh  
Fk D  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) S-Va_t$  
&QE^i%6>\  
i]GBu  
&Pxt6M\d  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 7UHqiA`L  
dgssX9g37  
X[k-J\  
}7hpx!s,  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) IcL3.(!]l  
Ga f/0/|  
cNC\w%  
MIa].S#  
3D仿真与结果比较 !~UI~-i'  
qh$D;t1=  
VR?
7{3  
,<hXNN  
3D仿真与结果比较 ZC"6B(d  
}#!o^B8