[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 k[YS8g-Q  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 t!X.|`h  
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建模任务 9c'xHO`  
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模拟&设置：单平台互操作性 1Z2HUzqh.  
建模技术的单平台互操作性 ({)+3]x  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 fk>aqm7D!  
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 平面波光源 6OIte-c  
 微透镜阵列 EU;9*W<  
 彩色滤光片(吸收介质) yu|8_<bq  
 通过基底传播 :#ik. D  
 探测 L,`LN>  
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连接建模技术：微透镜 RJ&RTo  
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连接建模技术：彩色滤光片 g2ixx+`?|:  
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连接建模技术：可编程介质 9T9!kb  
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连接建模技术：自由空间传播 2- h{N  
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连接建模技术：堆栈 I6av6t}  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 m?}6)\ob  
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 微透镜阵列 @Uvz8*b6  
 彩色滤光片(吸收介质) _<V)-Y  
 通过基底传播 ;[YG@-"XZ  
 探测 1n8/r}q'H  
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元件内场分析器：FMM  4e7-0}0  
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模拟结果 o5PO=AN  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) lrE5^;/s1  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) !9e=_mY  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Dx?,=~W9  
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3D仿真与结果比较 &r/Mi%  
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3D仿真与结果比较 .~;\eW[  
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