[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 j23OgbI  
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J@"Pv~R  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 hAOXOj1  
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建模任务 !Wvzum@5D  
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8q)2)p  
模拟&设置：单平台互操作性 C@buewk  
建模技术的单平台互操作性 l'W?X '  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 x~$P.X7(~  
T?) U|  

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zr&K0a{hc  
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 平面波光源 b]g}h
 
 微透镜阵列 $P^=QN5Bb  
 彩色滤光片(吸收介质) P;VR[d4e/  
 通过基底传播 t}cj8DC!  
 探测 mZ/?uPIa  
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连接建模技术：微透镜 u,PrEmy-  
6aM`qz)  

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dDi 1{s  
连接建模技术：彩色滤光片 kX'1.<[  
B6 x5E  

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(+Gd)iO  
`vDg~o  
连接建模技术：可编程介质 zO2<Igb  
oFoG+H"&7\  

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IqfR`iAix  
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连接建模技术：自由空间传播 V3yO_Iqa  
&m'O :ZS2  

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bLCrh(<  
连接建模技术：堆栈 6:v8J1G(<  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 qI<*Cze  
k,X)PQc  

图片:1-231026212S44J.png

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a+A/
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 微透镜阵列 I}n"6'*  
 彩色滤光片(吸收介质) #@2`^1  
 通过基底传播 xW/JItF  
 探测 36J)O-Ti  
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元件内场分析器：FMM hYi-F.Qtq  
r\@"({q}_-  

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M[<O]p6  
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模拟结果 zLOmtZ(['  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) XiKv2vwA  
"N4c>2Q  

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8uyVx9C0  
"9LPq  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) " 8;D^
 
MMhd-B1O&  

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i;6\tK"!  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) f,t[`0 va  
IdzF<>;W  

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0AR4/5.  
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3D仿真与结果比较 Cgq9~U !  
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3D仿真与结果比较 DgClN:Hw  
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