[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 'mCe=Y  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 WtQ8X|\`  
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建模任务 CHd9l]Rbe  
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模拟&设置：单平台互操作性 _EnwME{@  
建模技术的单平台互操作性 L$'[5"ma ;  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 .Ig+Dj{)  
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(@X~VACT  
 平面波光源 dF0,Y?  
 微透镜阵列 m p<1yY]  
 彩色滤光片(吸收介质) &*G<a3Q  
 通过基底传播 ~ *:F{  
 探测 ^2d!*W|  
lPH%Do>K  
连接建模技术：微透镜 ,y4I[[  
/-zXM;h  

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U<"WK"SM  
连接建模技术：彩色滤光片 &uP~rEJl+  
YzosZ! L!<  

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W)'*m-I  
连接建模技术：可编程介质 7e7 M@8+4  
Er/bO  

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连接建模技术：自由空间传播 s &Dg8$  
A[G0 .>Wk  

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O/:UJ( e{  
连接建模技术：堆栈 tH=
P6vY  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ^@P1 JNe  
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 微透镜阵列 %0#1t 5g  
 彩色滤光片(吸收介质) F4=}}k
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 通过基底传播 d]9U^iy  
 探测 %h1N3\y9i(  
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元件内场分析器：FMM pEECHk  
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模拟结果 |AZg*T3:W  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 3+>G#W~  
1[_mEtM:]B  

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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) :akT 'q#  
0$r^C6}f  

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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) "3FihE]k  
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L(GjZAP  
3D仿真与结果比较 9@Cv5L?p\  
R^{)D3  

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3D仿真与结果比较 @p\}pY$T  
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