[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 YUQKy2  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 L] !M1\  
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建模任务 I'%ASZ  
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模拟&设置：单平台互操作性 Oq*=oz^~1  
建模技术的单平台互操作性 tz/NR/[  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Iz[wrtDI1  
B"2#}HM  
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 平面波光源 4>t=r\"4  
 微透镜阵列 ]rc=oP;  
 彩色滤光片(吸收介质) OjfumZL#  
 通过基底传播 jT1^oXn@  
 探测 .?*TU~S  
#lO~n.+P  
连接建模技术：微透镜 lW3wmSWn%  
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Yo[Pu< zR  
连接建模技术：彩色滤光片 _4~q&?}V  
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Q(h/C!rKe  
连接建模技术：可编程介质 ><"0GPxrx  
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!MQVtn^C#  
连接建模技术：自由空间传播 *e *V%w~75  
W,ik ;P\  
]6z ; M;F`  
;B6m;[M+  
连接建模技术：堆栈 (v1~p3H  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 l[M?"<Ot;  
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B),Z*lpC  
 微透镜阵列 d2(3 ,  
 彩色滤光片(吸收介质) 6tv-PgZ  
 通过基底传播 *{s 3.=P.  
 探测 IJv+si:k  
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元件内场分析器：FMM 2~RG\JWTA  
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模拟结果 _Sn45h@"  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Ff{dOV.i  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) D=:O^<  
vbSycZ2M7  
5;q{9wvqO  
Rxk0^d:sNi  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ?
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H/N4tWk"  
^]ig*oS\`  
3D仿真与结果比较 pT'jX^BU  
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3D仿真与结果比较 C9L_`[9DO  
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