[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 (o1o);AO  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 29f4[V X  
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建模任务 OdtS5:L  
]u"x=S93  

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Zu/1:8x  
模拟&设置：单平台互操作性 )h/Qxf  
建模技术的单平台互操作性 l,ra
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在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 @|@6
pXR.  
g HKA:j`c  

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 平面波光源 iLf*m~Q  
 微透镜阵列 #;<dtw  
 彩色滤光片(吸收介质) 0Yfz?:
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 通过基底传播 {Ty?OZ  
 探测 ;>jOB>b{h  
kl#)0yqN0  
连接建模技术：微透镜 6?= ^8  
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图片:1-23102621225O05.png

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连接建模技术：彩色滤光片 yz_xWx#9  
P^'}3*8S  

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zA@w[.  
连接建模技术：可编程介质 M.KXDD#O  
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G/V0Yn""  
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连接建模技术：自由空间传播 :A`jRe.  
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#,rP1#?  
连接建模技术：堆栈 p *GAs C  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ~}s0~j~  
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图片:1-231026212S44J.png

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 微透镜阵列 o^<W3Z  
 彩色滤光片(吸收介质) ?)FY7[x.  
 通过基底传播 a>Xq  
 探测 I7jIA>ZZi  
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元件内场分析器：FMM M[KYt"v  
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F1&7m )f$l  
模拟结果 (eO_]<wmky  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) *ZF:LOnU  
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b  
n|!O .+\b  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) t++\&!F  
B \>W  

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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Tg6nb7@P  
S{qn^\0  

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q@iZo,Yk  

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3D仿真与结果比较 lK #~lC  
~Ec@hz]js  

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3D仿真与结果比较 UJGmaE  
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