[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 `j2|aX %Z*  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 Hm 0
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建模任务 ;[C_h
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模拟&设置：单平台互操作性 EwfL.z  
建模技术的单平台互操作性 o|KmKC n>  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 HlxgJw~<  
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 平面波光源 >.gT9
 
 微透镜阵列 93)
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 彩色滤光片(吸收介质) 9j5k=IXg#a  
 通过基底传播 /jc; 2  
 探测 WD8F]+2O\  
-<\hcV`&  
连接建模技术：微透镜 Zh:@AFz:R  
/KgP<2p  

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,PWMl[X  
连接建模技术：彩色滤光片 P1qnU  
#9(iu S+BU  

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连接建模技术：可编程介质 {us#(4O  
 N,ihQB5  

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连接建模技术：自由空间传播 TwZmZE ?!  
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ynq^ztBVe  
连接建模技术：堆栈 /a-OBU  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Qv;^nj{\qV  
dr=h;[Q'  

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 微透镜阵列 35#"]l"  
 彩色滤光片(吸收介质) C/z0/mk  
 通过基底传播 /pgn?e'lk  
 探测 u3vw[k  
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元件内场分析器：FMM ftqeiZ 2  
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模拟结果 u`Zj~t  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 4q`e<!MP)q  
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li)shp)
 
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) :8Ql(I  
8(GJz ~y  

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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 5ma(~5  
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3D仿真与结果比较 {edjvPlk  
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3D仿真与结果比较 R(cM4T.a  
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