[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Lb2/ Te*  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 dC">AW  
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建模任务 ZpU4"x>  
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模拟&设置：单平台互操作性 of.=n  
建模技术的单平台互操作性 oVnHbvP1X  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 UrB{jS?  
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 平面波光源 X57\sggK  
 微透镜阵列 8~h.i1L  
 彩色滤光片(吸收介质) )G9,5[  
 通过基底传播 ]3yaIlpD1  
 探测 Q<Th*t  
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连接建模技术：微透镜 pS)/yMlVj  
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连接建模技术：彩色滤光片 3sBu`R*hk  
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连接建模技术：可编程介质 \RyW#[(  
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连接建模技术：自由空间传播 IqmoWn3  
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连接建模技术：堆栈 ]W 6!Xw)[  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 @Vac!A??:  
PaYsn *{})  

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Ny)!uqul*  
 微透镜阵列 +}0/ %5 =1  
 彩色滤光片(吸收介质) Q>emyij  
 通过基底传播 M2e_)f:  
 探测 _kT$/k  
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元件内场分析器：FMM =;^#5dpt$  
^iaG>rvA  

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模拟结果 0 lsX~d'W  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) -5t
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) U#W9]il$  
Ks@  

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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) y0D
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3D仿真与结果比较 8Yq_6  
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3D仿真与结果比较 Hjm  
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