[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ^JYF1  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 x(C]O,  
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建模任务 H j>L>6>  
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S#dyRTmI  
模拟&设置：单平台互操作性 !1ie:z>s  
建模技术的单平台互操作性 tEi@p;Z>  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 G:E+s(x  
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 平面波光源 >m)2ox_B  
 微透镜阵列 ,Ut!u)  
 彩色滤光片(吸收介质) b?+Yo>yF8  
 通过基底传播 R7\{w(
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 探测 zJB+C=]D7H  
Li?{e+g  
连接建模技术：微透镜 S>/I?(J  
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n:}MULy;  
连接建模技术：彩色滤光片 A-AN6.  
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连接建模技术：可编程介质 3rXL0&3w%  
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连接建模技术：自由空间传播 PBPJ/puW  
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连接建模技术：堆栈 1*x5/b  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 *;\ K5  
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 微透镜阵列 o/i5e=9[y  
 彩色滤光片(吸收介质) j*3sjOoC  
 通过基底传播 V)@nRJg  
 探测 aaqjE  
J&] XLr.j  
元件内场分析器：FMM ><Mbea=U+  
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-*]9Ma<wa  
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模拟结果 Do{*cSd  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) "_% 0|;  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) |'l* 
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 1J!tcj1(  
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C*6bR? I9  
3D仿真与结果比较 :XZJxgx  
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3D仿真与结果比较 jWb\"0)  
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