[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 W'G{K\(/  
U(3(ZqP  

图片:1-231026211SA52.png

k|ip?O  
P7>IZ >bw  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 RO(iHR3cA  
l4`^!  
建模任务 D% @KRcp^b  
4Bo<44-,  

图片:1-231026211912255.png

8|vld3;  
HwW6tQ  
模拟&设置：单平台互操作性 afy
/K'~  
建模技术的单平台互操作性 KZ4zF  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 {|p"; uJ  
=WjJN Q  

图片:1-231026212000Y8.png

ioWJj.%  
e7's)C>/'  
 平面波光源 -Qg,99M  
 微透镜阵列 ?+Hp?i$1  
 彩色滤光片(吸收介质) skK*OO2-  
 通过基底传播 NJ>,'s  
 探测 vh{9'vd3el  
W7W3DBKtSm  
连接建模技术：微透镜 9IOGc}  
&!OGIYC(  

图片:1-23102621225O05.png

>.LgsMRIKi  
n/?eZx1  
连接建模技术：彩色滤光片 k~R{Y~W!!  
?^Pq/V
tZ  

图片:1-231026220251440.png

d<_NB]V&F  
8Kk3_ y  
连接建模技术：可编程介质 Pu-p7:99;'  
:b<
KX%g  

图片:1-231026212G1G3.png

uFC?_q?4\  
TbMdQbj}  
连接建模技术：自由空间传播 487YaioB$  
8.[&wyU  

图片:1-231026212P4M8.png

M5F(<,n;  
3;y_qwA  
连接建模技术：堆栈 ^l--zzO8l  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 !O 4<I_EY{  
|PI)A`  

图片:1-231026212S44J.png

Z^{+,$H@  
:4%<Rp  
 微透镜阵列 0r0c|*[+4z  
 彩色滤光片(吸收介质) I/Sv"X6E  
 通过基底传播 tCX9:2c  
 探测 ax4*xxU  
sTt9'P`  
元件内场分析器：FMM ]/LWrQD
  
"\4]X"3<+  

图片:1-231026212931494.png

09G9nu;&{  
T~s&)wD  
模拟结果 M8\G>0Hc6  

Z"-ntx#  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) #m[vn^8B]y  
XIqv{w  

图片:1-231026213023c5.png

wTHK=n\i  
-E6Jf$  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) hN& yc  
sP9^IP  

图片:1-2310262131263Q.png

Sc%aJ1  
+xn&K"]:3  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ^a086n  
^Vl^,@  

图片:1-231026213156124.png

\k|_&hG  
ARmu{cL  
3D仿真与结果比较 RcY6V_Qx  
5OPS&:  

图片:1-231026213221N4.png

:5r:I[FFy  
+F1]M2p]  
3D仿真与结果比较 uOyLC<I/  
%2^['8t#NH  

图片:1-231026213249293.png