[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 5~|{:29X  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 mHxR4%i5  
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建模任务 "9wD|wsz  
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模拟&设置：单平台互操作性 <s9?9^!!V^  
建模技术的单平台互操作性 ;]u9o}[ 2  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 %2?+:R5.  
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 平面波光源  lN,?N{6s  
 微透镜阵列 q,vWu(.  
 彩色滤光片(吸收介质) ;2p+i/sVj  
 通过基底传播 j3gDGw;  
 探测 ^7-zwl(>?N  
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连接建模技术：微透镜 *m~-8_ >;  
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连接建模技术：彩色滤光片 eTiTS*`u  
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连接建模技术：可编程介质 E TT46%Y  
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连接建模技术：自由空间传播 -(qRC0V  
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连接建模技术：堆栈 b 7U
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在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 rUiYR]mV  
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 微透镜阵列 i5'&u:  
 彩色滤光片(吸收介质) UUah5$Iy  
 通过基底传播 YW7W6mWspS  
 探测 #z\ub5um  
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元件内场分析器：FMM B,%Vy!o  
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模拟结果 j[>cv;h ;  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) j4.wd RK  
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h>N}M}8  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) );5o13h2  
'xwCeZcg  

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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) h9vcN#2
2D  
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3D仿真与结果比较 zM'eqo>!c>  
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3D仿真与结果比较 -dntV=  
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