[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 @^,9O92l  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ;f9a0Vs  
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建模任务 U_@Dn[/:  
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模拟&设置：单平台互操作性 4[ =C,5r  
建模技术的单平台互操作性 !.[H!-V.  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 RpU.v `
 
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 平面波光源 7>xfQ  
 微透镜阵列 6}?5Oy_XF2  
 彩色滤光片(吸收介质) +lw*/\
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 通过基底传播 "1ov<  
 探测 S=g E'"LT  
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连接建模技术：微透镜 l#rr--];  
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连接建模技术：彩色滤光片 zQx6r .  
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连接建模技术：可编程介质 Gw?ueui<  
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连接建模技术：自由空间传播 RwDXOdg
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连接建模技术：堆栈 /R[PsB  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 7nk3^$|  
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 微透镜阵列 gv/yfiA?  
 彩色滤光片(吸收介质) 8QN/D\uq  
 通过基底传播 /|,:'W%U  
 探测 m";?B1%x  
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元件内场分析器：FMM JwcC9 O  
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Pt?d+aBtV  
模拟结果 ts;C:.X  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) .5+5ca  
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G[\3)@I  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) l8RKwECdPn  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) }Fb966 $  
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3D仿真与结果比较 jQY^[A  
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3D仿真与结果比较 +*KDtqZjk  
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