[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 p(.N(c  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。  ER_ 3'  
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建模任务 vffH  
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模拟&设置：单平台互操作性 };^}2Xo+  
建模技术的单平台互操作性 o~;M"  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 '<W<B!HP5Z  
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 平面波光源 %{U"EZ]D!  
 微透镜阵列 t?HF-zQ  
 彩色滤光片(吸收介质) PGkCOmq   
 通过基底传播 'aZASPn[  
 探测 lM$t!2pRB  
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连接建模技术：微透镜 8A!'I<S1  
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连接建模技术：彩色滤光片 )%t7\1)B3  
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jI A#!4  
连接建模技术：可编程介质 qW3x{L$c  
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连接建模技术：自由空间传播 bM^7g  
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5#2jq<D  
连接建模技术：堆栈 _Z$?^gn  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 NNmM#eB:4  
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 微透镜阵列 ; [FLT:$  
 彩色滤光片(吸收介质) J)KnE2dw5  
 通过基底传播 xj7vI&u.  
 探测 J)Ol"LXV  
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元件内场分析器：FMM hX3@f;[B2  
W"t"X ~T3  

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模拟结果 &r:=KT3  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) {[tZ.1.w  
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%N1"*</q  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) fM2^MUp[=1  
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9]R#-K  

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c 6q/X*  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) wPgDy  
P7UJ-2%Y+  

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3D仿真与结果比较 #a'r_K=ch)  
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3D仿真与结果比较 SBL+e]P  
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