[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 O*~z@"\  
z{ :;Rb  

图片:1-231026211SA52.png

3TF_$bd{  
7TMq#Pb  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 L^ J|cgmNw  
**Ioy+  
建模任务 ]=qauf>3  
su1lv#
 

图片:1-231026211912255.png

BsIF3sS#9  
!%,7*F(  
模拟&设置：单平台互操作性 \D?'.Wo%  
建模技术的单平台互操作性 |(3y09  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 $u!(F]^  
C~q
Z&  

图片:1-231026212000Y8.png

Lj<TzPzg
*  
KFd +7C9  
 平面波光源 `Npa/Q  
 微透镜阵列 Qh1pX}X  
 彩色滤光片(吸收介质)
n[iwi   
 通过基底传播 S)WxTE9  
 探测 O8@65URKx  
t<p#u=jOa  
连接建模技术：微透镜 (XO=W+
<'  
SKL4U5D{  

图片:1-23102621225O05.png

)=[\YfK  
j%Au0k
 
连接建模技术：彩色滤光片 yS W$zA,  
1'E=R0`pA  

图片:1-231026220251440.png

9&eY<'MgP  
;{sZDjev>  
连接建模技术：可编程介质 i-OD"5a`  
4H-eFs%5  

图片:1-231026212G1G3.png

sN[}B{+  
[Km{6L&  
连接建模技术：自由空间传播 pux IJ  
|u>(~6  

图片:1-231026212P4M8.png

'@t$3 hk  
kw#X,hP  
连接建模技术：堆栈 1&=)Bxg4  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 =GX5T(P8k  
+
;KUL6  

图片:1-231026212S44J.png

; j!dbT~5  
f8:nKb>nq$  
 微透镜阵列 e"S?qpJK  
 彩色滤光片(吸收介质) D;pI!S<#  
 通过基底传播 6nW)2
LV  
 探测 /4an@5.\C  
%GhI0F #  
元件内场分析器：FMM ~XTC:6ts  
Tz @=N]D  

图片:1-231026212931494.png

8_('[89m  
#DUfEZ  
模拟结果 W@T\i2r$z  
Jl~ *@0(  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 5qz,FKx5  
xnZnbgO+  

图片:1-231026213023c5.png

%F 2h C x  
7?Wte&C];p  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) H9*k(lnz`  
u<edO+  

图片:1-2310262131263Q.png

k H.dtg_  
{=Zy;Er  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Z =+Z96  
^K?-+  

图片:1-231026213156124.png

6gV*G  
Dkz/hg:q  
3D仿真与结果比较 PK[mf\G\  
su%(!XJQpg  

图片:1-231026213221N4.png

?\V#^q-  
ZxF`i>/h  
3D仿真与结果比较 Y9)j1~  
io4<HN  

图片:1-231026213249293.png