[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 bG[)r  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 x9B{|+tIoc  
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建模任务 mk&`dr  
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模拟&设置：单平台互操作性 zd+<1R;  
建模技术的单平台互操作性 {Kkut?5  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 .q7|z3@,  
R#i{eE*WF  

图片:1-231026212000Y8.png

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 平面波光源 {E+o+2L  
 微透镜阵列 2wki21oY  
 彩色滤光片(吸收介质) ?#rejA:  
 通过基底传播 0($ O1j~$  
 探测 gu~F(Fb'  
,Rh6(I  
连接建模技术：微透镜 \9GJa"xA`  
QCvz|)  

图片:1-23102621225O05.png

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nVVQ^i}`G  
连接建模技术：彩色滤光片 Q-M"+HO  
x^ruPiH  

图片:1-231026220251440.png

TUV&9wKXo  
 wN4N2  
连接建模技术：可编程介质 Sx", Zb  
+vh 4I  

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S.0UEc  
连接建模技术：自由空间传播 9e*v&A2Y'  
6+hx64 =  

图片:1-231026212P4M8.png

AvS<b3EoN  
N4JJA+  
连接建模技术：堆栈 WG0Ne;Ho  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ?UGA-^E1  
k;bdzcMkQ  

图片:1-231026212S44J.png

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 微透镜阵列 R!8qkG  
 彩色滤光片(吸收介质) )Kw Gb&l&  
 通过基底传播 A=S_5y  
 探测 nr t3wqJ
  
 KDODUohC  
元件内场分析器：FMM *$eMM*4  
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模拟结果 dO{a!Ca  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) "DniDA  
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Pl}>  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Xj^Hy"HC^~  
`?fY!5BA  

图片:1-2310262131263Q.png

4._U  
[Pnk@jIk4  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ?7Y6: zo$^  
O~1vX9  

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3D仿真与结果比较 X?'v FC  
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3D仿真与结果比较 >*hY1@N1  
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