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摘要 :<E\&6# oC >U')ICD~ !EO
2 AV["%$: 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Ty"=3AvRLV :Nw7!fd 建模任务 Ix|^c268o< 97SG;,6 `v$Bib) b'yW+ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 v`u>;S_ ?anKSGfj ?VT
]bxb e!*%U=[Q 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ffE>%M* s2\6\8Ipn
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