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摘要!	eXDN   M6l S2  M:K5r7Q!yv    6yH(u}!.  干涉 测量法是一项用于光学 测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械 和热变形的高精度 测量。作为一个典型示例,在非序列 场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab  Fusion中建立了具有相干激光 源的马赫-泽德干涉仪 。该例证明了光学元件 的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 :ZX#w`Y    wXI6KN- 建模任务BQ!v\1'C   7%DA0.g  +LFh}-X{_    8WU_d`DF 由于组件倾斜引起的干涉条纹S bI7<_   )RV.N}NU  :'p+Ql~c    Mtxn@m{i;" 由于偏移倾斜引起的干涉条纹*%'nlAX6%   6?8x[l*5M   |