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摘要 G\:psx/ Vi?~0.Z% rGn5QV _czbUl 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 %j[LRY/ Zn<(,e 建模任务 emkMR{MY W]!@Zlal ,+NE: _ cdJ`Gk 由于组件倾斜引起的干涉条纹 -M1~iOb nT@6g|! <(bCz>o| V^Mf4!A(y 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 DUuC3^R zhA',p@K?_
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