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摘要 y,Z2`Zmu 3,)[Q?nKD >oL| nwn C=8IQl[^e 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 z yrjb8 zvR;Tl6] 建模任务 q+{yv ? $.x%G+ V?"1&m&E N14Q4v-*x 由于组件倾斜引起的干涉条纹 *r|Zbxf( 2?kVbF S~U5xM^s gUH|?@f 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 V(;c#%I2 &Xi]0\M)
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