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摘要 , deUsc C(,=[Fi- %yaG,;>U PZ34 *q 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 3 C"_$?y" fr#Qz{ 建模任务 <lOaor
c id?_>9@P 6s,2NeVWa ;,0lUcV 由于组件倾斜引起的干涉条纹 GOW"o"S d,R6` i l(Cf7o! Lht[g9 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 8D2yR#3 G&o64W;-s
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