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摘要 47c` ) *Hc e~,/Z\i (YJ]}J^ >^Zyls 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 i+z;tF` ? <.U, 建模任务 TdAHw
@( yb(zyGe ~!w()v n E"P5rT 由于组件倾斜引起的干涉条纹 !hJ%
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