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摘要 {A{=RPL 94Z~]C qjuX16o =F6J%$ 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 |+%K89W |iJ37QIM 建模任务 ~b*f2UVs
W,:*` jvA]EN6$;~ mV6\gR[h 由于组件倾斜引起的干涉条纹 T0i_X(_ XDU&Z2A zgV{S
Qo to2dkU 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 IWX%6*Zz 4Y[tx]<
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