摘要 MYvz%7
1aO(+](;
zO\_^A|8H
z+;$cfN
干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 0J'Cx&Rg
kVM*[<k
建模任务 9&=%shOc+x
^_Lnqk6
USN'-Ah
\mGb|aF8
由于组件倾斜引起的干涉条纹 q`{@@[/(y
XchD3p+uB
xj U0&
sj&(O@~R
由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ]kmAN65c
*!y04'p`<