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摘要 dMo456L _gAU`aO^ }/dGC;p" X~m*` UH 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 +M@,CbqD ,ALEfepo 建模任务 @|3PV x4b.^5"`: J.nJ@?O+ 2n/cqK 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ccUI\!TD{/ x~!gGfP Wt$" f 0rnne
L 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 yeI((2L@E2 33O O%rWi
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