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摘要 SLG3u;Ab +b]+5! 6+[7UH~pm^ kdrya 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 mT2Fn8yC1 UF00K1dbz 建模任务 Eo }mSd lx&ME#~ [!E8 C9Q#! ;tF7GjEp 由于组件倾斜引起的干涉条纹 t~0}Emgp<( _%HyXd lU<n Wf ,4wZ/r>
d 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 jci'q=Vpu 8HyK;+ZkVd
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