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摘要 4>=M"DhB ?9()ya-TE RG{T\9]n `f; w 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Nu6NyYs ^$: w 建模任务 vHf)gi}O| Uw("+[ 5O0 h p|v?3( #@B"E2F 由于组件倾斜引起的干涉条纹 G1 "QX {!|4JquE_ 8X7??f1;Y ~pRgTXbz 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 |T6K?:U7 { KWVPeh
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