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摘要 4y!GFhMh 03_M+lv >Bu_NoM .*Bd'\:F/q 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 `~\8fN {;Oj 建模任务 ZZ/k7(8 u>:j$@56 Kw2]J)TO ENI|e,'[ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 WO6+r?0M2 etQS&YzC 5=Y(.}6 yZ]?-7 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 kh8 M= D={$l'y9p
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