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摘要 K"#np!Y) #3\F<AJ<VB e>z3\4 /i"L@t)\t 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 8u!!a^F &0*j nb 建模任务 bAGQ ,eF}` 4}gqtw: .@gv}`> 由于组件倾斜引起的干涉条纹
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={-* E[)`+:G] 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 q}U^H BXnSkT7
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