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摘要 ahf$#UQLb cCj3,s/p N CsUC |0bSxPXn! 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Df4n9m}E RoiMvrJQP 建模任务 $Z,+aLmb ]pGr'T~Gj EgO4:8$h +tA rH
C] 由于组件倾斜引起的干涉条纹 u*U?VZ5 u9&p/qMx2 3&zmy'b*: IQ~()/;3d 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 b"Ulc}$/& LTCjw_<7
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