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摘要 __`6 W1 L`"V_
"Q#0 zB'_YwW 5'n$aFqI 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 TVAa/_y2` nRs:^Q~o 建模任务 E_Fm5zb?X Hh*
KcIRX 4++p K;I L$v<t/W 由于组件倾斜引起的干涉条纹 bRK\Tua
6 r\FduyOXv =4gPoS )&qr2Cm* 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Ht|"91ZC5 $ J!PSF8PL
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