摘要
lIRlMLuG ;30nd= 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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yQNV@T<o a^U~0i@[S 建模任务
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V)(R]BK{ 光栅特性与参数的严格分析
N$>^g"6o yQ,{p@#X8 不同光栅周期下的衍射效率
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s$D ^ >0 "VG+1r+]4 关于光栅周期选择的考虑
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4d b(<h z`UhB%-? 偏振相关的衍射特性
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nw>8GivO u_(VEfs4 通过参数优化进行光栅设计
'(bgs InXn%9]p] 固定周期的2D参数优化
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p2Zo 2D参数优化–设计1
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7(5xL T$ 6KpHnSW 2D参数优化–设计2
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)OiT{-m vVE2m=!v 制造
公差分析–设计2
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=|3fs7 AC>`'Gx 变化光栅周期的3D参数优化
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J5^'HU3 yW$0\E6<r 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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Y#n'& VirtualLab Fusion中的工作流程
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N[s}qmPha a)wJT`xu •构造光栅
结构 =EHUR' −通过使用界面来配置光栅结构
zT!drq: x [用例]
|&RU/ a •分析光栅衍射效率
rg^'S1x| −光栅级次分析器[用例]
0g+'/+Ho 4 •使用参数运行搜索初始解决方案
O^oWG&Y;v −参数运行文档的使用[用例]
Kx>qz.wwI? •通过参数优化找到最终设计
/Mvf8v 0u;4%}pD VirtualLab Fusion技术
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