摘要
DO~~ W 2A!BaH% 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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R[H#av ?]>;Wr 建模任务
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[BV{25
h#uk-7 光栅特性与参数的严格分析
avUdvV- |Rb8/WX 不同光栅周期下的衍射效率
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q[c^`5 0I*{CVTQj 关于光栅周期选择的考虑
'N/u<`) ;p:CrFv
N'?#g`*KW }L>0}H 偏振相关的衍射特性
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J?f7!F:8 aF.fd2k 通过参数优化进行光栅设计
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mEbj 固定周期的2D参数优化
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KqXPxp^_Al 2D参数优化–设计1
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ne=CN!= ~FnY'F<35 2D参数优化–设计2
E+Dcw u3IhB8'
a!,X@5 \Z-Fu=8J8^ 制造
公差分析–设计2
2W;2._ "fu@2y4^
HaQox.v% P3TM5 变化光栅周期的3D参数优化
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ZN!<!"~ 'v5q/l 制造公差分析
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i ~rb-~o p+${_w>pl{ 走进
VirtualLab Fusion
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C9eisUM ,Eo\(j2F. VirtualLab Fusion中的工作流程
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_ U Y5 4j<[3~:0
o •构造光栅
结构 1tl qw −通过使用界面来配置光栅结构
@GF3g= [用例]
d1 lxz?r •分析光栅衍射效率
J@qLBe(v
−光栅级次分析器[用例]
Fm+V_.H/; •使用参数运行搜索初始解决方案
,?wxW −参数运行文档的使用[用例]
=0SJf 3 •通过参数优化找到最终设计
m1M6N`f >".@; VirtualLab Fusion技术
L),bPfz M0%nGpVj>