[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 enfu%"(K)  
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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 kY |=a  
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建模任务 D3Ea2}8  
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光栅特性与参数的严格分析 ,r)d#8  
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不同光栅周期下的衍射效率 =_~'G^`tu  
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关于光栅周期选择的考虑 Jut'xA2Dr  
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偏振相关的衍射特性 ;U:o'9^9T  
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通过参数优化进行光栅设计 u*YuU%H=  
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固定周期的2D参数优化 TbUkqABm  
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2D参数优化–设计1 ^ZZ@!Udy  
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2D参数优化–设计2 kJ:5msKwC  
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制造公差分析 H "/e%  
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走进VirtualLab Fusion = ~R3*GN  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 60gn`s,,  
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•构造光栅结构 Kd21:|!t^  
−通过使用界面来配置光栅结构 B,qZwc|  
[用例] S`PSFetC  
•分析光栅衍射效率 }C1}T}U  
−光栅级次分析器[用例] HCZ%DBU96  
•使用参数运行搜索初始解决方案 r]vBr^kq  
−参数运行文档的使用[用例] 0md{e`'q:  
•通过参数优化找到最终设计 z~;qDf|I  
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VirtualLab Fusion技术 n_gB#L$  
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