摘要
j)Y[4 ^k^ FW#P*}# 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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_9@ >;] y\'P3ihK 建模任务
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SdJ/4&{ ! 光栅特性与参数的严格分析
g$FEEDF Gr: 3{o` 不同光栅周期下的衍射效率
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Cqxv"NN .<#ATFmY 关于光栅周期选择的考虑
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[A9JshMo [h&BAR/ 2 偏振相关的衍射特性
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WR#0<cz( 347eis' 通过参数优化进行光栅设计
LA%bq_>f iiG f'@/ 固定周期的2D参数优化
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&aG*k* 2D参数优化–设计1
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gSt`% X!tf#tl 2D参数优化–设计2
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制造
公差分析–设计2
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PRB{VC<k VDbI-P&c 变化光栅周期的3D参数优化
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~9\zWRh 89~ =eY 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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d3;qsUh$yv ut2~rRiK VirtualLab Fusion中的工作流程
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ciQZHH2 +}xaQc:0| •构造光栅
结构 \]4v_! −通过使用界面来配置光栅结构
Gi2$B76< [用例]
7q=G&e7 •分析光栅衍射效率
{eS|j= −光栅级次分析器[用例]
lB91An •使用参数运行搜索初始解决方案
`D$Jv N −参数运行文档的使用[用例]
^P'{U26 •通过参数优化找到最终设计
{a(&J6$VE _+l1b"^s1 VirtualLab Fusion技术
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