摘要
#Uh 5tc Tm\[q 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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)1Nnn v v/,Rgv 建模任务
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]0 RX o3 光栅特性与参数的严格分析
e"#D){k# RH]>>tJ^e 不同光栅周期下的衍射效率
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l-}5@D[ mwH!:f 关于光栅周期选择的考虑
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^G&D4uZ *)1Vs'!- 偏振相关的衍射特性
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:gscW&k w/5^R 通过参数优化进行光栅设计
|qcFmy ^z}lGu 固定周期的2D参数优化
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Yc`j 2D参数优化–设计1
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,GkW. vEU ikN!ut 2D参数优化–设计2
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zX [r Y%:0|utQC 制造
公差分析–设计2
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$KWYe{# Qy5Os?9" 变化光栅周期的3D参数优化
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``|RO[+2 o.3YM.B# 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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$.Q>M]xH WAB0e~e:|Q VirtualLab Fusion中的工作流程
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=v4r M0m, .blft,' •构造光栅
结构 ]osx. −通过使用界面来配置光栅结构
o4%Vt} K [用例]
Fu4EEi •分析光栅衍射效率
hkwa ""- −光栅级次分析器[用例]
Yi&-m} •使用参数运行搜索初始解决方案
/}$T38 −参数运行文档的使用[用例]
g6VD_ •通过参数优化找到最终设计
8VuZ,!WH# o)#q9Vk%b VirtualLab Fusion技术
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