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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3;S,3
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建模任务 /"eey(X
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光栅特性与参数的严格分析 M$Zcn# A
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不同光栅周期下的衍射效率 J]nohICe
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关于光栅周期选择的考虑 T6 '`l?H`;
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偏振相关的衍射特性 ^J$2?!~
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通过参数优化进行光栅设计 :Zlwp6
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固定周期的2D参数优化 3j\1S1
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2D参数优化–设计1 5`~PR
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制造公差分析–设计2 %J+E/
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走进VirtualLab Fusion ]s<[D$ <,
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VirtualLab Fusion中的工作流程 4h|c<-`>t
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•构造光栅结构 X%
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−通过使用界面来配置光栅结构 ,o86}6Ag
[用例] eA2@Nkw~)
•分析光栅衍射效率 k\5c|Wq|g
−光栅级次分析器[用例] z&zP)>Pv
•使用参数运行搜索初始解决方案 ,E S0NA
−参数运行文档的使用[用例] -t!~%_WCv
•通过参数优化找到最终设计 m|n
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VirtualLab Fusion技术 ~vm%6CABM
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