摘要
^7Z;=]8J B<n[yiJ} 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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c27(en( .rnT'""i<5 建模任务
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OK YbEn# 光栅特性与参数的严格分析
leI ]zDk= DbX7?Jr 不同光栅周期下的衍射效率
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bf{_U%` LsaX
HI/?b 关于光栅周期选择的考虑
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}maD8,:t hZ!kh3@:` 偏振相关的衍射特性
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5X>~39(r ]<L~f~vU
F`2h,i-9 ,2+d+Zuh 通过参数优化进行光栅设计
MNb9 ~kM c~;VvYu 固定周期的2D参数优化
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*N:0L,8 2D参数优化–设计1
:Ea|FAeK8 <r`;$K
;Q4,I[?% * fj`+J 2D参数优化–设计2
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pV_zePyOn ZbjUOlE02 制造
公差分析–设计2
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$!y^t$u$@ yFQaNuZPC 变化光栅周期的3D参数优化
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z,7;+6*=L U{LS_VI~ 制造公差分析
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A'b$X1h '5[(QM5Gi& 走进
VirtualLab Fusion
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nvXjW@)` kR^h@@'F" VirtualLab Fusion中的工作流程
1_v\G g,M-[o=Fk
(xVx|:R[<H EG$-D@o\I •构造光栅
结构 b=pk;'- −通过使用界面来配置光栅结构
R){O]<+ [用例]
;in-)`UC! •分析光栅衍射效率
2nCc(F&+? −光栅级次分析器[用例]
u a_w5o7 •使用参数运行搜索初始解决方案
yRl −参数运行文档的使用[用例]
wy${EY^h •通过参数优化找到最终设计
S-Vj$asv! 3&AJN#c VirtualLab Fusion技术
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