摘要 qZP:@r"
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 I<KCt2:X
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建模任务 s*eyTm
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光栅特性与参数的严格分析 ] .`_,
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不同光栅周期下的衍射效率 /0-\ek ye
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关于光栅周期选择的考虑 ,,7.=#
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偏振相关的衍射特性 9V.+U7\w
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通过参数优化进行光栅设计 ML"_CQlE7
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固定周期的2D参数优化 L-j/R1fTvl
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2D参数优化–设计1 75<el.'H
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制造公差分析–设计2 haN"/C^
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变化光栅周期的3D参数优化 g~eJ
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制造公差分析 6^WiZ^~
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走进VirtualLab Fusion Y!bpOa&
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VirtualLab Fusion中的工作流程 +Kxe ymwr2
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•构造光栅结构 Iv Y,9D
−通过使用界面来配置光栅结构 #($k 3OA
[用例] `\Uc4lRS
•分析光栅衍射效率 +ZY2a7uI
−光栅级次分析器[用例] L[`R8n1C
•使用参数运行搜索初始解决方案 '#;,oX~5
−参数运行文档的使用[用例] 'm
•通过参数优化找到最终设计 C3&17O6
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VirtualLab Fusion技术 w:~nw;.T
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