摘要
ST dNM\+ 1/Zh^foG 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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HIdQ>- z-T{~{q 建模任务
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$E!J:Y= 光栅特性与参数的严格分析
g(4bBa9y +&=?BC}L9^ 不同光栅周期下的衍射效率
r'7LR N.do "
8V/L:h#7 2?q(cpsN 关于光栅周期选择的考虑
T^.Cc--c r' Z3
OQ&'Dti LW)H"6v 偏振相关的衍射特性
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NQHz<3S[ ~nLN`Hd 通过参数优化进行光栅设计
&EGqgNl rZXrT}Xh{W 固定周期的2D参数优化
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CTa#Q, 2D参数优化–设计1
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CK+d!Eg iRo.RU8> 2D参数优化–设计2
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eYUr-rN+)z O) |P,? 制造
公差分析–设计2
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%.v{N6 6d[_G$'nk 变化光栅周期的3D参数优化
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9h90huyKF F7L &=K$2y 制造公差分析
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?<&O0'Q 9fnA 走进
VirtualLab Fusion
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&;,,H< p SKuIF*"!S VirtualLab Fusion中的工作流程
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FsB^CxVg {Sl57!U5 •构造光栅
结构 OH^N" L −通过使用界面来配置光栅结构
P7ph}mB [用例]
b*;"q9u5 •分析光栅衍射效率
?&LZB}1R −光栅级次分析器[用例]
bPD`+:A_ •使用参数运行搜索初始解决方案
KTvzOI8 −参数运行文档的使用[用例]
TSAU?r\P •通过参数优化找到最终设计
(Rk_-9_E. F/m^?{==~* VirtualLab Fusion技术
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