摘要
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当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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VhgEG(Ud uW=NH;u 建模任务
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(}1f]$V 光栅特性与参数的严格分析
&tCtCk%{j ~-wJ#E3g 不同光栅周期下的衍射效率
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]xEE7H]\h ^1=|(Z/ 关于光栅周期选择的考虑
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"te- [nIG_j>D-f 偏振相关的衍射特性
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Cnci%eo j%jd@z ]@ 通过参数优化进行光栅设计
i03}f%JnuO oh0|2IrM 固定周期的2D参数优化
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2%C5P0;QX 2D参数优化–设计1
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cqL7dlhIl Z !25xqNCd 2D参数优化–设计2
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m_02"' Dh(T)yc 制造
公差分析–设计2
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ec4%Wk2 76Vyhf&7 变化光栅周期的3D参数优化
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pUMB)(<k X#I`(iHY 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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vs])%l%t p/WH#4Xdr VirtualLab Fusion中的工作流程
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1;:t~Y N!Wq}#&l •构造光栅
结构 j)tCr Py −通过使用界面来配置光栅结构
=#Cf5s6qt [用例]
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^j •分析光栅衍射效率
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−光栅级次分析器[用例]
Z:lB:U'o •使用参数运行搜索初始解决方案
:7Z\3_D/ −参数运行文档的使用[用例]
k CW!m •通过参数优化找到最终设计
^o6)[_L EOPS? @ VirtualLab Fusion技术
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