[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 |cStN[97%  
yC !`6$  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 aO('X3?  
~n%~ Z|mMF  

图片:1-20021G15353423.png

_x 'R8/  
Mit,X  
建模任务 -_Pd d[M  
=8$//$  

图片:1-20021G15419564.png

B PTQm4TN  
光栅特性与参数的严格分析 C%d\DuJ5'~  
[hA%VF.9  
不同光栅周期下的衍射效率 s42M[BW]  
,~8:^*0s  

图片:1-20021G15602G5.png

^]w!ow41  
J]/TxUE  
关于光栅周期选择的考虑 ES!$JWK|  
c^vPd]Ed  

图片:1-20021G15641J8.png

>f#P(  
v.:aICB5  
偏振相关的衍射特性 K: g_M  
D-e0q)RSU  

图片:1-20021G15G0159.png

QQUeY2}  
/^^t>L  

图片:1-20021G15I2201.png

:8aa#bA  
gRv5l3k  

图片:1-20021G15P2594.png

R>SS\YC'X  
J$  
通过参数优化进行光栅设计 z+I'N4*^  
zY~  
固定周期的2D参数优化 @5N^^B  
D7|[:``  

图片:1-20021G15RaL.png

C,7d  
2D参数优化–设计1 _#@n^c  
Y$hYW  

图片:1-20021G15Z4258.png

\"Z^{Y[,;  
V(_OyxeC{2  
2D参数优化–设计2 |D+"+w/
 
I|69|^  

图片:1-20021G20004394.png

lxb+
0fiN  
,T@+QXh  
制造公差分析–设计2 pSp/Qpb-B  
6yk=4l\  

图片:1-20021G2002JX.png

zW
KnkIit,  
Ix@rn  
变化光栅周期的3D参数优化 [xzgk[>5  
MyB&mC7Es  

图片:1-20021G20100c0.png

jGpSECs  
c} )U:?6  
制造公差分析 hw! l{yv  
-F
=?M+9[  

图片:1-20021G20120954.png

~_opU(;f  
.GcIwP'aU-  
走进VirtualLab Fusion q1ybJii  
,5oe8\uz  

图片:1-20021G20141219.png

ws8@yr<R  
<knf^D<"  
VirtualLab Fusion中的工作流程 &_Kb;UVRj  
e$]`  

图片:1-20021G20205237.png

f%vJmpg  
/(IV+  
•构造光栅结构 Pyh+HD\  
−通过使用界面来配置光栅结构 zh`!x{Z?^  
[用例] ZoX24C
'  
•分析光栅衍射效率 )!6
JSMS  
−光栅级次分析器[用例] &*2\1;1tB  
•使用参数运行搜索初始解决方案 D.d(D:  
−参数运行文档的使用[用例] (:9yeP1  
•通过参数优化找到最终设计 V]I@&*O~r  
s~e<Pr?yu  
VirtualLab Fusion技术 |^fubQs;2  
S(NH# ^  

图片:1-20021G2025W62.png