摘要 LK9g0_
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Lw7=+h)
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建模任务 Mp$@`8X`
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光栅特性与参数的严格分析 )+")Sz3zx
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不同光栅周期下的衍射效率 iTh:N2/-vc
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关于光栅周期选择的考虑 5BkV aF7Th
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偏振相关的衍射特性 ,bE$| x'
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通过参数优化进行光栅设计 Awv`) "RAR
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2D参数优化–设计1 4Tc&IwR
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制造公差分析 7J28JK
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走进VirtualLab Fusion 22<0DhJ
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VirtualLab Fusion中的工作流程 bk<\ujH
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•构造光栅结构 rV({4cIe9R
−通过使用界面来配置光栅结构 6qe*@o
[用例] e}@)z3Q<l
•分析光栅衍射效率 KV|}# <dD
−光栅级次分析器[用例] V>64/
•使用参数运行搜索初始解决方案 ~'5
−参数运行文档的使用[用例] ;Z j]~|
•通过参数优化找到最终设计 bsxTqJ
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VirtualLab Fusion技术 J`IDlGFYp
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