[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 $F5 b  
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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Bn &Ws  
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建模任务 V6,H}k  
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光栅特性与参数的严格分析 |3KLk?2  
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不同光栅周期下的衍射效率 7x%R:^*4  
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关于光栅周期选择的考虑 5lUF7:A>#  
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偏振相关的衍射特性 ) iN/ua  
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通过参数优化进行光栅设计 eEv@}1~  
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固定周期的2D参数优化 /n{omx  
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2D参数优化–设计1 mQ|v26R  
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2D参数优化–设计2 TU,s*D&e  
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制造公差分析–设计2 K1+)4!}%U  
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变化光栅周期的3D参数优化 2j}\3Pi  
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制造公差分析 26I_YL,S  
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走进VirtualLab Fusion xSsa(b  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 =JK@z  
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•构造光栅结构 "$+Jnc!!  
−通过使用界面来配置光栅结构 /v1Q4mq  
[用例] "4+&-ms  
•分析光栅衍射效率 'MUv5Th  
−光栅级次分析器[用例] [65`$x
-  
•使用参数运行搜索初始解决方案 0ghGBuv1s  
−参数运行文档的使用[用例] |,gc_G  
•通过参数优化找到最终设计 "55skmD.P  
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VirtualLab Fusion技术 Wz49
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