摘要 92Df.xI}
?Kf?Z`9 *Y
当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 dpcFS0
T! fF1cpF\
w^aI1M50
)3KQ
QGi8
建模任务 j.y8H
79Si^n1\
D|R,$v:
光栅特性与参数的严格分析 }c0EGoU}?
.R>4'#8q
不同光栅周期下的衍射效率 SAw. 6<Wy-
;b1*2-
6(.]TEu0
.6nNqGua1
关于光栅周期选择的考虑 FrBJv<
C@[f Z
lCMU{)
#i~2C@]
偏振相关的衍射特性 SPK%
' s
"~zQN(sR"P
nd1%txIsr
F~_)auH
Yv [j5\:x
^qlfdf
%o9;jX
Yhkn(k2
通过参数优化进行光栅设计 ]@MBE1M
h q&2o
固定周期的2D参数优化 XQ]5W(EP
;F!wyTF>}
DsP FBq
2D参数优化–设计1 a\m@I_r.N
K1K3s<y+
O*7Gl G
zf>r@>S!L
2D参数优化–设计2 e)2s2y@zi
H7"m/Bia
=5sUpPV(
'cx&:s
制造公差分析–设计2 BejeFV3
h (`Erb
u.s-/ g
Tv{X$`%
变化光栅周期的3D参数优化 ` E2@GX+,
tzeS D C
g
:me:M
qs]7S^yw
制造公差分析 hh!^^emo
_g(4-\
Iq-+X3i
&91U(Go
走进VirtualLab Fusion $m;rOKVU
8[|RsM
L[Dr[
Ox` +Z0)a
VirtualLab Fusion中的工作流程 =A,6KY=E
MWS=$N)v*
q!
+?
n^Qt !~
•构造光栅结构 |hprk-R*OH
−通过使用界面来配置光栅结构 \666{. a
[用例] 6_# >s1`R
•分析光栅衍射效率 rU/V~;#%
−光栅级次分析器[用例] Q( C\X
•使用参数运行搜索初始解决方案 K)AJx"
−参数运行文档的使用[用例] =2z9Aq{
•通过参数优化找到最终设计 :Sx!jx>W
De>'
VirtualLab Fusion技术 >~kSe=Hsb4
D4x~Vk%H