摘要
2 rr=FJ a eeor 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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ddyX+.LMk (
*Xn"o 建模任务
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g(WP 光栅特性与参数的严格分析
y;uR@{ 8lL|j 不同光栅周期下的衍射效率
H=Ilum06 "J`&"_CyZ
C!a1.&HHZ7 i5t6$|u:&m 关于光栅周期选择的考虑
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qS2Nk.e]o qQi\/~Y[: 偏振相关的衍射特性
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=I'3C']Z W 6FQi=}O 1
{PcJuRTHB 1J4Pnl+hN 通过参数优化进行光栅设计
J6AHc"k. 7l=;I % 固定周期的2D参数优化
LWN{ ~DI$O[KpR%
a/,>fv9;$ 2D参数优化–设计1
`;E/\eG" hd(FOKOP
.mt%8GM 2t-w0~O 2D参数优化–设计2
);\c{QF |4Q*4s
B6Vlc{c5SO M
9t7y 制造
公差分析–设计2
_XV%}Xb' [d6!
&)%+DUV| S{rltT- 变化光栅周期的3D参数优化
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2gPqB*H [|DKBJ 制造公差分析
$(aq;DR //U1mDFT
6<._^hyq " B#|C' 走进
VirtualLab Fusion
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6lSz/V; wZiUzS;v VirtualLab Fusion中的工作流程
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5&&4-
O?JJE8~'] ;uUFgDi •构造光栅
结构 ~2w&+@dV% −通过使用界面来配置光栅结构
8Xotly [用例]
{r,Uik-nL •分析光栅衍射效率
{ALEK −光栅级次分析器[用例]
u0q$`9J •使用参数运行搜索初始解决方案
<v:VA!] −参数运行文档的使用[用例]
Cbw *?9d •通过参数优化找到最终设计
I,j4 BU4 5i!Q55Yv=, VirtualLab Fusion技术
WQK<z!W5 z8Q!~NN-K