[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 7h(HG?2Y  
d-9uv|SJ  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Mr$# e  
<]Ij(+J;  

图片:1-20021G15353423.png

^RYn8I  
"2*G$\  
建模任务 :&xz5c`"04  
T+`xr0  

图片:1-20021G15419564.png

6\; 4 4,3  
光栅特性与参数的严格分析 }rO?5  
sjkWz2]S  
不同光栅周期下的衍射效率 pYYqGv^oa  
H+S~ bzz  

图片:1-20021G15602G5.png

j)g_*\tQ  
C!oS=qK?]  
关于光栅周期选择的考虑 it(LphB8  
JoZqLy!@
 

图片:1-20021G15641J8.png

Nr>c'TH  
!F=|*j  
偏振相关的衍射特性 (%``EIc<8  
s-QM6*  

图片:1-20021G15G0159.png

Mfnlue](  
FZ[@])B  

图片:1-20021G15I2201.png

W,QnU d'N  
TYs+XJ'Xj  

图片:1-20021G15P2594.png

P5'iYahCq_  
<;2P._oZ  
通过参数优化进行光栅设计 5*s1qA0^  
4M;sD;3  
固定周期的2D参数优化 hgTM5*fD}  
h Jfa_  

图片:1-20021G15RaL.png

jxRF"GD  
2D参数优化–设计1 Wl^prs7}c  
A)b)ff,  

图片:1-20021G15Z4258.png

@4 zi]v  
&"U9X"8b  
2D参数优化–设计2 8zP:*|D  
oV0LJ%  

图片:1-20021G20004394.png

.Q=2WCv0  
[;>zqNy  
制造公差分析–设计2 DFt=%aV[  
&{-oA_@  

图片:1-20021G2002JX.png

LK'S)Jk  
7
\7Brw4  
变化光栅周期的3D参数优化 m#5|J@]  
*G%1_   

图片:1-20021G20100c0.png

Tf&f`/

 
5}.,"Fbr  
制造公差分析 bE7(L $UF  
u)q2YLK8  

图片:1-20021G20120954.png

4*p_s8> >  
5 {T9*  
走进VirtualLab Fusion J8sJ~FnUj  
d1srV`  

图片:1-20021G20141219.png

Bi9 N  
9TYw@o5V  
VirtualLab Fusion中的工作流程 >< <$  
f7EIDFX>pt  

图片:1-20021G20205237.png

x
'E'jh%  
rh:s 7  
•构造光栅结构 <3SFP3^:  
−通过使用界面来配置光栅结构 gmF_~"^34  
[用例] htUy2v#V  
•分析光栅衍射效率 H{ n>KZ]\  
−光栅级次分析器[用例] &y#\1K  
•使用参数运行搜索初始解决方案 _Ewy^;S%L  
−参数运行文档的使用[用例] !#,-  
•通过参数优化找到最终设计 B|]t\(~$[  
X7XCZSh#A  
VirtualLab Fusion技术 .G5NGB  
rQd1Ch  

图片:1-20021G2025W62.png