[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 [n^___7  
lWdE^-  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 <37vWK1+  
<zUmcZ  

图片:1-20021G15353423.png

:V"}"{(6  
XNl!(2x'pb  
建模任务 E }yxF.  
H9nq.<;p  

图片:1-20021G15419564.png

:G`_IB\  
光栅特性与参数的严格分析 KOxD%bX_  
xv ja  
不同光栅周期下的衍射效率 6`s[PKP.  
HC0puL
t_  

图片:1-20021G15602G5.png

C&SYmYj^c  
:[rx|9M6  
关于光栅周期选择的考虑 w9oiu$7),  
F0yh7MItV  

图片:1-20021G15641J8.png

m1<B6*iG"  
vKW%l  
偏振相关的衍射特性 x O)nS _I  
UO&S6M]v7  

图片:1-20021G15G0159.png

s)L7o)56/  
e^FS/=  

图片:1-20021G15I2201.png

`K@   
Gg&jb=  

图片:1-20021G15P2594.png

'Hg(N?1"  
<wuP*vI"h  
通过参数优化进行光栅设计 J+;.t&5R  
L.GpQJ
8u  
固定周期的2D参数优化 XI0O^[/n{  
JvUKfsnu{  

图片:1-20021G15RaL.png

A ssf f;  
2D参数优化–设计1 n% *u;iG  
0>'1|8+`(z  

图片:1-20021G15Z4258.png

R_*\?^k|A  
wF%XM_M  
2D参数优化–设计2 e"bF"L  
5|Y4GQVz  

图片:1-20021G20004394.png

=DtM.oQ>  
kxdLJ_  
制造公差分析–设计2 dFUsQ_]<  
>S~#E,Tg  

图片:1-20021G2002JX.png

J0>Q+Y  
x=H*"L=  
变化光栅周期的3D参数优化 o~}q@]]  
:+;F"_  

图片:1-20021G20100c0.png

Og,,s{
\  
sFGXW  
制造公差分析 9<Bf5d   
bT>^% H3  

图片:1-20021G20120954.png

MTF:mL
J  
-_2=NA?t  
走进VirtualLab Fusion G U!XD!!&  
>i0FGmxH  

图片:1-20021G20141219.png

#v`G
4d
 
b'ew Od=  
VirtualLab Fusion中的工作流程 {o]OxqE@  
hwO]{)%  

图片:1-20021G20205237.png

$GYy[-.`  
^&,{  
•构造光栅结构 <H 3}N!  
−通过使用界面来配置光栅结构 Z1>pOJm  
[用例] LN7;Yr  
•分析光栅衍射效率 6L*y$e"Qc  
−光栅级次分析器[用例] nGP>M#F  
•使用参数运行搜索初始解决方案 *D\nsJ*g  
−参数运行文档的使用[用例] v=/V<3  
•通过参数优化找到最终设计 
;id  
FS20OD  
VirtualLab Fusion技术 O'p7^"M  
htkyywv  

图片:1-20021G2025W62.png