[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 F
VF:1DT  
b\^Sz{  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 O
7
rm(  
%>24.i"l  

图片:1-20021G15353423.png

/vU9eh"%  
Do2y7,jv  
建模任务 iW |]-Ba\  
.l#Pmd!  

图片:1-20021G15419564.png

|mci-ZT  
光栅特性与参数的严格分析 hoU&'P8  
Snh\Fgdz  
不同光栅周期下的衍射效率 Of:e6N  
oZOFZ-
<  

图片:1-20021G15602G5.png

*sL'6"#Cre  
-U;s,>\)  
关于光栅周期选择的考虑 }m0Lr:vq<r  
@^;\(If2  

图片:1-20021G15641J8.png

9rA3qj%  
FK mFjqY  
偏振相关的衍射特性 uP+ j_is
 
Li<c  

图片:1-20021G15G0159.png

G%'h'AV"  
1 C[#]krh  

图片:1-20021G15I2201.png

eeL%Yp3+  
r-[z!S  

图片:1-20021G15P2594.png

's&Vg09D,  

! '2'db  
通过参数优化进行光栅设计 ]~a!O  
#*Mk@XrV  
固定周期的2D参数优化 hXMC!~Th  
SkPv.H0Id  

图片:1-20021G15RaL.png

b*p,s9k7  
2D参数优化–设计1 `_<AZ{&&  
-R&h?ec  

图片:1-20021G15Z4258.png

1J<-P9 vk+  
I s8|  
2D参数优化–设计2 P *%bG 4  
8<_WtDg
 

图片:1-20021G20004394.png

UejG$JyHP  
S3 x:]E:   
制造公差分析–设计2 .|iUDp6vz  
JaIj9KLNX  

图片:1-20021G2002JX.png

}i/{8OuW  
?Bh}  
变化光栅周期的3D参数优化 v $pARt  
TFM}
P  

图片:1-20021G20100c0.png

rylllJz|L:  
<(^-o4Cl  
制造公差分析 5dL-v&W  
? 4.W _  

图片:1-20021G20120954.png

4|XE f,  
| sQ5`lV?  
走进VirtualLab Fusion  OSSMIPr  
5[Q44$a{  

图片:1-20021G20141219.png

FPcgQ v;p  
I7[+:?2  
VirtualLab Fusion中的工作流程 Mq*Sp UR  
FE_n+^|k<  

图片:1-20021G20205237.png

`qfVgT=2  
VvoJ85  
•构造光栅结构 6\E |`  
−通过使用界面来配置光栅结构 5Impv3qaZ  
[用例] 69IBG,N'  
•分析光栅衍射效率 !XtbZ-  
−光栅级次分析器[用例] OZISh?  
•使用参数运行搜索初始解决方案 XPY66VC&_  
−参数运行文档的使用[用例] Z#oo8  
•通过参数优化找到最终设计 6 #QS5  
q=R=z$yr  
VirtualLab Fusion技术 KUly"B  
F*]AjD-  

图片:1-20021G2025W62.png