[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 mvYr"6f8  
K+n6.BzW  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 l'$AmuGj  
tdEu4)6  

图片:1-20021G15353423.png

1z*]MYU  
TlM ]d;9G  
建模任务 @1rF9< 4g  
zaX30e:R  

图片:1-20021G15419564.png

<~f/T]E,  
光栅特性与参数的严格分析 YsDn?pD@  
][D<J0  
不同光栅周期下的衍射效率 y|c]r!A  
 8sE@?,  

图片:1-20021G15602G5.png

W4T>@b.  
wxF9lZz  
关于光栅周期选择的考虑 sgFpZk  
taI])  

图片:1-20021G15641J8.png

17J|g.]m-&  
+|\dVe.  
偏振相关的衍射特性 \O@,v0
?R  
IaN|
S|n~  

图片:1-20021G15G0159.png

Av7bp[OD  
#j
'OrD  

图片:1-20021G15I2201.png

]#_,?d  
Wrt3p-N"D  

图片:1-20021G15P2594.png

{cC9 }w  
K+PzTGWq^  
通过参数优化进行光栅设计 ~[l2"@  
/ [:@j+n\  
固定周期的2D参数优化 +d]}  
TRG
"fVR  

图片:1-20021G15RaL.png

J*qepq`_  
2D参数优化–设计1 'V .4Nhd  
g,mcxXO  

图片:1-20021G15Z4258.png

sl>4O]N  
JYs*1
<  
2D参数优化–设计2
`dMl5b  
$0NWX  

图片:1-20021G20004394.png

]MRE^Je\h  
7[^:[OEE  
制造公差分析–设计2 
w=y!|F  
A\k@9w\Ll;  

图片:1-20021G2002JX.png

kR9G;IZ8s  
lD.PNwM  
变化光栅周期的3D参数优化 DSD#',  
hPP+lqY[  

图片:1-20021G20100c0.png

9kWyO:a_(  
3Ud&B  
制造公差分析 I Yj\t?,0  
q^>$YY>F  

图片:1-20021G20120954.png

t&eY+3y,T  

No!P?  
走进VirtualLab Fusion a|  
~`u?|+*BO  

图片:1-20021G20141219.png

u7<B*d:  
e#)}.   
VirtualLab Fusion中的工作流程 ]Y}faW(&Y  
&(IL`%  

图片:1-20021G20205237.png

{.DI[@.g  
YLJH?=2@  
•构造光栅结构 n +`(R]Q  
−通过使用界面来配置光栅结构 _T<ney}Y<  
[用例] M +
~guTh  
•分析光栅衍射效率 z@{|Y;s  
−光栅级次分析器[用例] Y6W3WPs(  
•使用参数运行搜索初始解决方案 u,*$n'l]  
−参数运行文档的使用[用例] Gq$9he<  
•通过参数优化找到最终设计 ZZ)bTLu  
6^s]2mMfk  
VirtualLab Fusion技术 (S=::ODU  
D
bH{; Fb  

图片:1-20021G2025W62.png