摘要
Mp>(cs (Nk[ys}%* 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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@ \XeRx; +xU( {/ 建模任务
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!U>WAD9 光栅特性与参数的严格分析
dFDf/tH #0Y_!'j 不同光栅周期下的衍射效率
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Uc'}y!R 0V21_".S 关于光栅周期选择的考虑
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{,+c M<n'ZDK`W 偏振相关的衍射特性
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{&mHfN K)~a H 通过参数优化进行光栅设计
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J2 固定周期的2D参数优化
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Cp"7R&s 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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)3:0TFS}}k Z%B6J>;u M 变化光栅周期的3D参数优化
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HdI)Z<Krp `>)Ge](oN 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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+|,4g_(j Dz6xx? VirtualLab Fusion中的工作流程
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Rt+ -ud{O ji1vLu4|t •构造光栅
结构 /z*Z+OT2 −通过使用界面来配置光栅结构
4F6aPo2 [用例]
A+0-pF2D •分析光栅衍射效率
wqF?o −光栅级次分析器[用例]
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gWd
•使用参数运行搜索初始解决方案
U*$xR<8v −参数运行文档的使用[用例]
za@/4z •通过参数优化找到最终设计
V9BW@G@9 `{G&i\"n VirtualLab Fusion技术
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