摘要
TnPx.mwK\ fvoPV&: 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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)oMMDHw\ VCUsvhI 建模任务
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B|-W 光栅特性与参数的严格分析
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V}q=!zz 不同光栅周期下的衍射效率
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<{k8 K6 _RG2I)P 关于光栅周期选择的考虑
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r} a, 3}i(i0+ 偏振相关的衍射特性
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1h&_Q}DM =b#,OXQ 通过参数优化进行光栅设计
DMd&9EsRG Q%_MO`<]$ 固定周期的2D参数优化
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2D参数优化–设计1
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3qrjb]E%} rA1;DSw6E[ 2D参数优化–设计2
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m7,;Hr( -y)g}D% 制造
公差分析–设计2
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IFF3gh42. ci{WyIh 变化光栅周期的3D参数优化
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qS 制造公差分析
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#^bn~ ')~[J$qz 走进
VirtualLab Fusion
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_3 VirtualLab Fusion中的工作流程
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79VW •构造光栅
结构 ? ]hS^& −通过使用界面来配置光栅结构
zZ{(7Kfz [用例]
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Wt& •分析光栅衍射效率
f&`yiy_ −光栅级次分析器[用例]
pDG>9P#mO •使用参数运行搜索初始解决方案
uKd79[1 −参数运行文档的使用[用例]
-Oc •通过参数优化找到最终设计
n_46;lD c"^g*i2&0 VirtualLab Fusion技术
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