摘要
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Fm# 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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X{-4w([ >ED;_L*_o 建模任务
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7H6Ts8^S 光栅特性与参数的严格分析
-c`xeuzK' %F*9D3^h 不同光栅周期下的衍射效率
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HsCL%$k _{*} )&!M 关于光栅周期选择的考虑
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7)rQf{q7 xIM,0xM2 偏振相关的衍射特性
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V6g*"e/8 QQJGqM3a2 通过参数优化进行光栅设计
Aiq Kf= (m/:B=K 固定周期的2D参数优化
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2D参数优化–设计1
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1[egCC\Mo_ ]cRvdUGv 2D参数优化–设计2
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g7Q` 制造
公差分析–设计2
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ZU\$x<, WIWo4[( 变化光栅周期的3D参数优化
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pSx5ume95" KXWcg#zFY 走进
VirtualLab Fusion
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@]Q4K%1^" S^s-md> VirtualLab Fusion中的工作流程
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p{E(RsA 8:Hh;nl •构造光栅
结构 `^#Rwn# −通过使用界面来配置光栅结构
;MfqI/B{ [用例]
}s2CND •分析光栅衍射效率
^B.Z3Y −光栅级次分析器[用例]
e1[ReZW •使用参数运行搜索初始解决方案
JuJW]E Q −参数运行文档的使用[用例]
A1zRzg4 I •通过参数优化找到最终设计
TOiLv.Dor yzEyOz@Q VirtualLab Fusion技术
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