摘要
gA^q^>7 H7&xLYQ2 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
#Ob]]!y mN}7H:,
{BV4h%P]: tS?lB05TOR 建模任务
h%}(h2W p+w8$8)
$&{IKP)u 光栅特性与参数的严格分析
9O98Q6-s wyY*:{lZ 不同光栅周期下的衍射效率
x0+glQrNN \U @3`
~brFo2 v,1F--v 关于光栅周期选择的考虑
/9 hR zK5bO=0j
f`P9ku#j} C7qYiSv 偏振相关的衍射特性
YD_]!HK} /L~m#HxWU
,0?!ov| >L>+2z
1/iE`Si bXdY\&fE
GESXc$E8 f(Hu {c5yV 通过参数优化进行光栅设计
Fb_S&! PZOKrW 固定周期的2D参数优化
v 81rfB5 F[E?A95W
^Kq|ID
AP 2D参数优化–设计1
f&I7,"v v5$s#f<
<^><3U` 8;zDg$( 2D参数优化–设计2
6?gi_3g
=>LZm+P
]0~qi@ R]L2(' B 制造
公差分析–设计2
F!g;A"?V :pZ}*?\
32>x^>G=> h)dRR_ 变化光栅周期的3D参数优化
2p< Aj! nX[;^v/
\{v,6JC >&K!VQ{g 制造公差分析
KH<v@IJ\ :5#
V^\3*
\ TL82H@D uHvaZMu 走进
VirtualLab Fusion
>FFVY{F m,6hee
2P}bG>M T.Zz;2I VirtualLab Fusion中的工作流程
gGfq6{9g +R\~3uj[7
GU6qIz| m&El) •构造光栅
结构 o)I/P< −通过使用界面来配置光栅结构
!$>G#+y [用例]
{;n0/
•分析光栅衍射效率
>t#\&|9I −光栅级次分析器[用例]
=cp;Q,t'9L •使用参数运行搜索初始解决方案
?qT(3C9p −参数运行文档的使用[用例]
-c={+z " •通过参数优化找到最终设计
A*0*sZ0 (%DRt4u<H VirtualLab Fusion技术
-!R
l(if r8v:|Q1"