摘要
/s-jR]#VA FK/ro91L 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Cq~ah kcZ;SYosj 建模任务
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_tR.RAaa" 光栅特性与参数的严格分析
lpX p)r+ `U?H^,FVA 不同光栅周期下的衍射效率
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@a7(*<". SS<+fWXE 关于光栅周期选择的考虑
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BIB>U W (J) Rs`_ 偏振相关的衍射特性
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} C2i#;b 通过参数优化进行光栅设计
Vp0GmZ a\2Myj 固定周期的2D参数优化
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4 d 1Y\ 2D参数优化–设计1
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p?gLW/n b<H6D} 2D参数优化–设计2
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)PZ}^Fa W3-Rs&se 制造
公差分析–设计2
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JSZj0_B `"-!UkD+ 变化光栅周期的3D参数优化
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.j4ziRa- _"t.1+-K 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
s&_O2(l T_B.p*\BM
%T*+t"\) HyYQQ VirtualLab Fusion中的工作流程
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\ A UtGP 8'\,&f`Y •构造光栅
结构 ?GfA;O −通过使用界面来配置光栅结构
JfINAaboi [用例]
$0C/S5b •分析光栅衍射效率
"._WdY[ −光栅级次分析器[用例]
%v)'`|i •使用参数运行搜索初始解决方案
n&78~@H −参数运行文档的使用[用例]
_89G2)U=C •通过参数优化找到最终设计
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MmXH&yR VirtualLab Fusion技术
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