[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 $0_K&_5w~  
Qr$'Q7  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 u
}@N Qeg  
z1J)./BO  

图片:1-20021G15353423.png

wk|+[Rl;L  
J:@gmo`M;V  
建模任务 ^wIB;!W  
v-}f P  

图片:1-20021G15419564.png

8;@y\0  
光栅特性与参数的严格分析 =!'9TS  
3ZXAAV  
不同光栅周期下的衍射效率 l=CAr  
4YfM.~ 6  

图片:1-20021G15602G5.png

/ox7$|Jyr  
I%5vI}  
关于光栅周期选择的考虑 B$
eM  
wQ+pVu?6_  

图片:1-20021G15641J8.png

ywwA,9~  
^4n#'
'wJ  
偏振相关的衍射特性 qLEYBv-3  
|a{;<a  

图片:1-20021G15G0159.png

?Y4 +3`\x  
``l*;}  

图片:1-20021G15I2201.png

9O;Sn+  
?'> .>  

图片:1-20021G15P2594.png

D$}hoM1  
vB7Gx>BQd  
通过参数优化进行光栅设计 A6z,6v6  
$${I[2R)  
固定周期的2D参数优化 jIs>>  
X _ZO)|  

图片:1-20021G15RaL.png

:uCwWv  
2D参数优化–设计1 N~!, S;w  
W.j^L;  

图片:1-20021G15Z4258.png

}4C_r'd6  
#[prG  
2D参数优化–设计2 cW%)C.M  
HMd?`  

图片:1-20021G20004394.png

[MIgQ.n  
2I
B{FO/  
制造公差分析–设计2 ,Cr%2Wg-  
t\Vng0  

图片:1-20021G2002JX.png

]o] VS  
/8l-@P.o  
变化光栅周期的3D参数优化 jEBn"]\D  
r2RJb6  

图片:1-20021G20100c0.png

M/o?D <'  
kLgkUck8]  
制造公差分析 #*iUZo  
rH7Cv/Y  

图片:1-20021G20120954.png

4/(#masIL  
;%n'k  
走进VirtualLab Fusion 'zUV(K?2]  
al[^pPK
Z  

图片:1-20021G20141219.png

/b,>fK^  
[%K6-\S  
VirtualLab Fusion中的工作流程 Qder8I  
3yx[*'e$  

图片:1-20021G20205237.png

l[E^nh>  
c,1 G+.
 
•构造光栅结构 w9|x{B  
−通过使用界面来配置光栅结构 Biv)s@"f-Q  
[用例] |ke0G  
•分析光栅衍射效率 %+'Ex]B  
−光栅级次分析器[用例] QM(xMq  
•使用参数运行搜索初始解决方案 T_*inPf  
−参数运行文档的使用[用例] n-9xfn0U~#  
•通过参数优化找到最终设计 #L.,aTA<  
chICc</l&  
VirtualLab Fusion技术 /h53;$zK  
?}Zo~]7E  

图片:1-20021G2025W62.png