摘要
fok#D>q ma~`&\xE 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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0qd`Pf us+adS.l& 建模任务
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HC+R:Dz 光栅特性与参数的严格分析
k,& QcYw Af~AE2b3" 不同光栅周期下的衍射效率
v/dcb% F\;1:y~1
d8 po`J#nb gy.;
"W 关于光栅周期选择的考虑
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#s%$kYp 1 xuF_^ 偏振相关的衍射特性
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3L|k3 `I4 QPnc "! 通过参数优化进行光栅设计
v:'y&yS L<n_}ucA 固定周期的2D参数优化
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r|+Zni] 2D参数优化–设计1
Bb)J8,LQ _4+1c5Q!
A|^?.uIM +7w>ujeeJA 2D参数优化–设计2
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FB""^IC?W &oBJY'1 制造
公差分析–设计2
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/e}k7U,^ X'Oo ogu 变化光栅周期的3D参数优化
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+W!: 制造公差分析
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Y+E@afsKs *T3"U|0_ y 走进
VirtualLab Fusion
lWR ;8!D8o(+
Oe?nX> fN9hBC@ VirtualLab Fusion中的工作流程
<]<50 pP .
*+G K?Ga /cg!Ap5 •构造光栅
结构 A/MOY@%G −通过使用界面来配置光栅结构
,xiRP$hGhh [用例]
OA8pao~H •分析光栅衍射效率
wGB'c's* −光栅级次分析器[用例]
eWFlJ;= •使用参数运行搜索初始解决方案
*oF{ R^ −参数运行文档的使用[用例]
Gfvz%%>l •通过参数优化找到最终设计
eK`tFs,u y
Le5, VirtualLab Fusion技术
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