摘要
INY?@in L&0aS: 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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v8K`cijSS $"ACg!=M 建模任务
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F *1w8+ 光栅特性与参数的严格分析
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/>f?+ ?5;N=\GQ 不同光栅周期下的衍射效率
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F+!9T 8^67,I-c 关于光栅周期选择的考虑
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R <R?S 偏振相关的衍射特性
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D!z'Y,. S]NT +XM 通过参数优化进行光栅设计
1024L; $Z3{D:-) 固定周期的2D参数优化
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u4$R ZTC 2D参数优化–设计1
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B$qTH5)W 0rvBjlFT 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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: 76zRF =~5N/! 变化光栅周期的3D参数优化
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DP;:%L} f8ZuG !U 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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yg/K I0qJr2[X~ VirtualLab Fusion中的工作流程
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^qi+Y)dU| 62MQ+H •构造光栅
结构 }Q@~_3,UJ −通过使用界面来配置光栅结构
uUV"86B_ [用例]
+25=u|#4r •分析光栅衍射效率
R.DUfU"gp −光栅级次分析器[用例]
6nREuT'k •使用参数运行搜索初始解决方案
A3*(c3 −参数运行文档的使用[用例]
X8ZO
} X •通过参数优化找到最终设计
3rd8mh&l *K|ah:(r1\ VirtualLab Fusion技术
(&v,3>3] A\W)uwyN