摘要
0{^l2?mgSb :
9djMsd 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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qY*%p 46Y7HTwE 建模任务
8o%<.] V{a}#J
z<3}TD 光栅特性与参数的严格分析
]*kP> mlsvP%[f. 不同光栅周期下的衍射效率
#2ZrdD"5kQ ~x+:44*
eY6gb!5u $w";*">:0 关于光栅周期选择的考虑
rS,*s'G 4X(1
+Zty}fe $h|I7` 偏振相关的衍射特性
ZPxOds1m ~]6Oz;~<3
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]/<Qn-BbU ya*q; D 通过参数优化进行光栅设计
@'NaA SB |RvpEy76 固定周期的2D参数优化
fd,}YAiX ;k63RNT,M&
^~YmLI4 2D参数优化–设计1
Js^r]=\F' f4aD0.K.g|
t<EX#_i, 1VPN#Q! 2D参数优化–设计2
yoQ?lh U(Hq4D
kHo;9j-U [w#x5Xsn 制造
公差分析–设计2
zYgK$u^H *fuGVA
x/jN&;"/ @]VvqCk 变化光栅周期的3D参数优化
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a*'N~ 制造公差分析
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+_|cZlQ& (>Q9jNW 走进
VirtualLab Fusion
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>FMT#x t 83 ^,'Z VirtualLab Fusion中的工作流程
KSpC%_LC 2YP"nj#
MkV*+LXC me}Gb a •构造光栅
结构 S;AnpiBM8 −通过使用界面来配置光栅结构
^2?O+ =,F [用例]
/xm} ?t0U •分析光栅衍射效率
%N_S/V0` −光栅级次分析器[用例]
C_khd" •使用参数运行搜索初始解决方案
3vGaT4TDx −参数运行文档的使用[用例]
nY5n%>8 •通过参数优化找到最终设计
^$s~qQQ}B ~PS2[5yo VirtualLab Fusion技术
%H 6ZfEO WUOPYYW<o