摘要
q;[HUyY, MH#Tp#RG 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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/)kJ iV 1 ?BLL;[a8 建模任务
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693"Pg8b 光栅特性与参数的严格分析
8SU0q9X. ~IYR&GEaUG 不同光栅周期下的衍射效率
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!D F~]& C!:Lk,Z 关于光栅周期选择的考虑
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8?8V; wlP3 XF? 偏振相关的衍射特性
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QDW,e]A 8H-yT1
通过参数优化进行光栅设计
Ms +ekY) #/ePpSyD 固定周期的2D参数优化
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qCI7)L` 2D参数优化–设计1
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R!b st* sv} 2D参数优化–设计2
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$b2~Wj*-nJ p?#T^{Quz~ 制造
公差分析–设计2
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EPn!6W5^ "`cN k26JZ 变化光栅周期的3D参数优化
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a(6h`GHo D|Q7dIZm 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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nS3Aadm )aGSZ1`/ VirtualLab Fusion中的工作流程
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R+NiIoa P#!N •构造光栅
结构 5C1EdQ4S0 −通过使用界面来配置光栅结构
WN=0s [用例]
XEA5A.uc •分析光栅衍射效率
8u~ −光栅级次分析器[用例]
+={K -g7U •使用参数运行搜索初始解决方案
9\hI:rI −参数运行文档的使用[用例]
qJ`:$U •通过参数优化找到最终设计
2rT^OGw6 Y&yfm/R u VirtualLab Fusion技术
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