摘要
{\VsM#K6 ygQAA!&'] 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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@}+B%R ]i
`~J 建模任务
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{@-tRm& 光栅特性与参数的严格分析
ms+gq 3A\Hiy!{F 不同光栅周期下的衍射效率
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??P3gA RT9%E/m 关于光栅周期选择的考虑
3}.OSt'= lgHzI(
G#'G9/Tm k.H4Mf(4 偏振相关的衍射特性
)L,Nh~ O0mQHpi:
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$[(FCS $I\lJ8
`{J(S'a` @#5?tk0 通过参数优化进行光栅设计
]5eZLXM 7I {rhA 固定周期的2D参数优化
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sH)40QmO{ 2D参数优化–设计1
/KCIb:U M 0RVEhX
&-`a` ebB8.(k9G3 2D参数优化–设计2
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C6}`qD ]4-t*Em 制造
公差分析–设计2
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#N|A@B5x e{IwFX 变化光栅周期的3D参数优化
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BYsQu.N U~[ tp1Z) 制造公差分析
ST^{?Q RB/;qdqR
LDq(WPI1# Sc3 B*. 走进
VirtualLab Fusion
(e6KSRh2fF 5QJFNE
!mRDzr7 \{M/Do: VirtualLab Fusion中的工作流程
@c#M^:9Dc 9jTm g%
5X"WgR; rA#Ji~ •构造光栅
结构 |9cSG),z −通过使用界面来配置光栅结构
DFFB:< [用例]
|F^h>^
x •分析光栅衍射效率
Qp]-4%^Vz −光栅级次分析器[用例]
b!xm=U •使用参数运行搜索初始解决方案
@Tg +Kt −参数运行文档的使用[用例]
8|iMD1 •通过参数优化找到最终设计
P _3U4J PFnq:G^L VirtualLab Fusion技术
AilfeHG gR:21*&cz