摘要
<0CjEsAB] uH[WlZ4 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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C`.YOkpj -b-a21,m> 建模任务
J>Ar(p AFAg3/
M)bQvjj 光栅特性与参数的严格分析
FuHBzBoM= ';I}6N 不同光栅周期下的衍射效率
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E|@C:ghG -<g9) CV5 关于光栅周期选择的考虑
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A0{xt*g zj`c%9N+ 偏振相关的衍射特性
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u+)!C*ho KXPCkNIN! 通过参数优化进行光栅设计
fQoAdw r^ ,_m,s'< 固定周期的2D参数优化
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7U [C=NL 2D参数优化–设计1
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Pp?P9s{ 392V\qtS 2D参数优化–设计2
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: /5+p>Ep} t#(NfzN 制造
公差分析–设计2
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e@hPb$7 k5RzW4zq; 变化光栅周期的3D参数优化
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"@x(2(Y& Zr}>>aIJ]k 制造公差分析
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%<yW(s9{ KDN#CU 走进
VirtualLab Fusion
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7] y3<t +C=vuR VirtualLab Fusion中的工作流程
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zfU Do`V~ ei2?H;H; •构造光栅
结构 jnV#Q
; −通过使用界面来配置光栅结构
{A}T^q!m] [用例]
r,eH7&P9{ •分析光栅衍射效率
}%KQrlbHJl −光栅级次分析器[用例]
&tOo[U? •使用参数运行搜索初始解决方案
rbf5~sw&8+ −参数运行文档的使用[用例]
hx^@aI •通过参数优化找到最终设计
ZPf&4#| zZ}.2He8 VirtualLab Fusion技术
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