摘要
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d9k` 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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i56Rdb $ MH;v_'a 建模任务
5Ex[}y9L` uuwJ-
\}=T4w-e 光栅特性与参数的严格分析
(:OMt2{r R3_OCM_* 不同光栅周期下的衍射效率
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#fs jGz~}&B
P8By~f32_ 4sQm"XgE 关于光栅周期选择的考虑
1 mJUlx 8b]4uI<
pIC'nO_ 7,p.M)t) 偏振相关的衍射特性
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hDB(y4/ 5Z; 5?\g
2?q>yL! Gz TCRTC0_}k 通过参数优化进行光栅设计
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)H7A 固定周期的2D参数优化
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X/:V{2 2D参数优化–设计1
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"y"oV[` "i#g [x 2D参数优化–设计2
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hO$Gx*e$ e16H@ 制造
公差分析–设计2
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K% FK '9WTz(0? 变化光栅周期的3D参数优化
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O-V]I0 9:@Xz5 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion中的工作流程
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/4 •构造光栅
结构 Nm&'&L%Ch −通过使用界面来配置光栅结构
Q`8-|(ngw [用例]
sz270k%[ •分析光栅衍射效率
tL;.vRx −光栅级次分析器[用例]
JjI1^FRd •使用参数运行搜索初始解决方案
Q3hf =&$ −参数运行文档的使用[用例]
};rp25i •通过参数优化找到最终设计
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_ VirtualLab Fusion技术
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