摘要
FVF:1DT b\^ Sz{ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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/vU9eh"% Do2y7,jv 建模任务
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|mci-ZT 光栅特性与参数的严格分析
hoU&'P8 Snh\Fgdz 不同光栅周期下的衍射效率
Of:e6N oZOFZ-<
*sL'6"#Cre -U;s,>\) 关于光栅周期选择的考虑
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mFjqY 偏振相关的衍射特性
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's&Vg09D, ! '2'db 通过参数优化进行光栅设计
]~a!O #*Mk@XrV 固定周期的2D参数优化
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b*p,s9k7 2D参数优化–设计1
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s8| 2D参数优化–设计2
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UejG$JyHP S3 x:]E: 制造
公差分析–设计2
.|iUDp6vz JaIj9KLNX
}i/{8OuW ?Bh} 变化光栅周期的3D参数优化
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rylllJz|L: <(^-o4Cl 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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v;p I7[+:?2 VirtualLab Fusion中的工作流程
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`qfVgT=2 VvoJ85 •构造光栅
结构 6\E |` −通过使用界面来配置光栅结构
5Impv3qaZ [用例]
69IBG,N' •分析光栅衍射效率
!XtbZ- −光栅级次分析器[用例]
OZISh? •使用参数运行搜索初始解决方案
XPY66VC&_ −参数运行文档的使用[用例]
Z#oo8 •通过参数优化找到最终设计
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#QS5 q=R=z$yr VirtualLab Fusion技术
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