[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 hSaS2RLF  
;|w &n  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 
x@2rfs  
KpC)A5u6  

图片:1-20021G15353423.png

B P
"PUl:  
p*!@z|F>U  
建模任务 mLk@&WxG  
m0]LY-t  

图片:1-20021G15419564.png

i2.y)K)  
光栅特性与参数的严格分析 xj{X#[q):  
:84ja>`c  
不同光栅周期下的衍射效率 y4VCehdJ  
:tdx:  

图片:1-20021G15602G5.png

3`TC*  
JwB:NqB  
关于光栅周期选择的考虑 zJI/j _~W  
dpZ7eJ  

图片:1-20021G15641J8.png

,TOLr%+v~n  
X~0l1 @!  
偏振相关的衍射特性 YC&iH>jO3  
Jkpw8E7  

图片:1-20021G15G0159.png

pW:h\}%`n  
0o At=S  

图片:1-20021G15I2201.png

s7I*=}{g0.  
^K@r!)We  

图片:1-20021G15P2594.png

U`FybP2R~  
FvG9PPd  
通过参数优化进行光栅设计 [2
2IF  
*IGxa  
固定周期的2D参数优化 Ou2H~3^PL  

$DA0lY\  

图片:1-20021G15RaL.png

eno*JK  
2D参数优化–设计1 }Bc'(2A;,  
a[";K,  

图片:1-20021G15Z4258.png

\q3H#1A  
J}j
K_  
2D参数优化–设计2 H!F'I)1  
r4+w?=`  

图片:1-20021G20004394.png

_QvyFKAM  
zIF &ZYP  
制造公差分析–设计2 ;T#t)oV  
hNDhee`%6  

图片:1-20021G2002JX.png

t vk^L3=<  
ejgg.G ^  
变化光栅周期的3D参数优化 F1M@$S,  
&@dMk4BH<  

图片:1-20021G20100c0.png

>-X&/i  
YL){o$-N"J  
制造公差分析 32~Tf,  
~lDLdU
s  

图片:1-20021G20120954.png

[ R~+p#l+Q  
x ?^c:`.  
走进VirtualLab Fusion ~|DF-t V  
V]q{N-Iq  

图片:1-20021G20141219.png

%M}zi'qQ?  
,9?'Q;20  
VirtualLab Fusion中的工作流程 `}zv17wp  
Maa5a
  

图片:1-20021G20205237.png

]XPGlM  
v[Q)cqj/  
•构造光栅结构 /2FX"I[0V%  
−通过使用界面来配置光栅结构 ykM#EyN  
[用例] K"}Dbr  
•分析光栅衍射效率 Q~xR'G[N  
−光栅级次分析器[用例] H~ks"D1  
•使用参数运行搜索初始解决方案 N->;q^  
−参数运行文档的使用[用例] JYSw!!eC  
•通过参数优化找到最终设计 ="A[*:hC"  
5@0c@Q  
VirtualLab Fusion技术 }rO4b>J  
Bs##3{ylu  

图片:1-20021G2025W62.png