摘要
A)9F_;BY mXwDB)O{) 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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2x( g0-~%A, 建模任务
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s&d!+-\6_ 光栅特性与参数的严格分析
9,jFQb(), bQgtZHO 不同光栅周期下的衍射效率
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Ba_.]x 关于光栅周期选择的考虑
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1|WrJ-Uf g1{2E<b5 偏振相关的衍射特性
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@5j3[e {k uC+~R 通过参数优化进行光栅设计
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固定周期的2D参数优化
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MLvd6tIv, 2D参数优化–设计1
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9P& \2/ { ('6sW/F*ab 2D参数优化–设计2
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CwaW>(`v xM:9XhH1 制造
公差分析–设计2
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V~O@JP }qg.Go
5ajd$t (mgv:<c;BA 变化光栅周期的3D参数优化
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`zOn(6B;U Z#zXary5s 制造公差分析
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3vj1FbY ^WUG\@B 走进
VirtualLab Fusion
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r*g<A2g% E`#/m@:|- VirtualLab Fusion中的工作流程
7g.3)1 jJ3dZ<#
YSru5Q ozkmZ; •构造光栅
结构 +:&|]$8< −通过使用界面来配置光栅结构
do DpTwvh [用例]
y eWB.M~X •分析光栅衍射效率
fzr0dcNgM −光栅级次分析器[用例]
P;K <P •使用参数运行搜索初始解决方案
IN?rPdY −参数运行文档的使用[用例]
|W*i'E •通过参数优化找到最终设计
5OC{_- <xh";seL VirtualLab Fusion技术
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