摘要
fGhn+8VfX SZaS;hhhHu 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Od f[* xvl3vAN9 建模任务
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'3zc|eJt& 光栅特性与参数的严格分析
#(An6itl svxw^0~a 不同光栅周期下的衍射效率
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jCbV,0)^ fhL,aCS= 关于光栅周期选择的考虑
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|$?bc3 `tP7ncky 偏振相关的衍射特性
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6I@h9uIsze ;L']e"G 通过参数优化进行光栅设计
u ~A6bK* y;s`P. 固定周期的2D参数优化
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]]zPq<b2 2D参数优化–设计1
Na:w]r:y H1}
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C=eF.FB;' h5(4*$% 2D参数优化–设计2
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30SW\@ 4O35"1 制造
公差分析–设计2
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3\XU_Xs(] Y'8?.a]' 变化光栅周期的3D参数优化
5~>z h DAXX;4
RJd(~1 <ZNzVnVA 制造公差分析
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0$ S8fF@
x^y'P<ypw 走进
VirtualLab Fusion
d~i+
I5 tNbN7yI
PK `D8)=u (jAg_$6 VirtualLab Fusion中的工作流程
?vbvBu{a `Tv[DIVW
g\&g N eQ]~dA8> •构造光栅
结构 UWd=!h^dt −通过使用界面来配置光栅结构
uC(V [用例]
wY[+ZT •分析光栅衍射效率
PamO8^!G −光栅级次分析器[用例]
oU.R2\Q •使用参数运行搜索初始解决方案
toBHkiuD −参数运行文档的使用[用例]
E?
;0)'h •通过参数优化找到最终设计
HK2[]G v@
lM3_rbO VirtualLab Fusion技术
1=d6NX)B +l<5#pazx