摘要
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k`^Z5tN 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Fp`MX>F K)h\X~s 建模任务
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uMB|x,X I 光栅特性与参数的严格分析
c04"d"$ x @\!9dK-W 不同光栅周期下的衍射效率
?^# h|aUp. !A 6l\_
\[-z4Fxg|' E2PMcT{)_ 关于光栅周期选择的考虑
A(xCW+h@) `$X|VAS2
_>/T<Db w'Kc#2 偏振相关的衍射特性
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Cw=wU/) PR&D67:Jy
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Tz=YSQy$9 /R_*u4}iD 通过参数优化进行光栅设计
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:aL} 固定周期的2D参数优化
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`%2e?"OOJ 2D参数优化–设计1
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yrDWIU(8;6 4LCgQS6 2D参数优化–设计2
3b_tK^|' DIk\=[{2q
!eoN kXj%thDx 制造
公差分析–设计2
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0I.9m[<Fc a{lDHk`Wf 变化光栅周期的3D参数优化
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~H /S]W<8d
^J8sR4p# x 5u.D^ 制造公差分析
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9`8\<a'rU $ {$XJs4 走进
VirtualLab Fusion
W#<&(s4 w"CcWng1
fwy-M: s$Il; VirtualLab Fusion中的工作流程
LhZWK^!{S CI+dIv>
SL;\S74 :!a9|Fh~ •构造光栅
结构
n2bL- −通过使用界面来配置光栅结构
guC/eSxv [用例]
DPfP)J:~ •分析光栅衍射效率
\?,'i/c- −光栅级次分析器[用例]
UarU.~Uqi •使用参数运行搜索初始解决方案
}2Lh'0 xY −参数运行文档的使用[用例]
XpzdvR1 •通过参数优化找到最终设计
Ae,-.xJ (~oUd4 VirtualLab Fusion技术
$+IE`(Ckf ]E66'