摘要
'5LdiSk s]|tKQGl, 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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w52py7 '&dT 建模任务
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n:2._s T 光栅特性与参数的严格分析
Y;%LwDC (CY D]n 不同光栅周期下的衍射效率
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x^EW'-a T&+3Xi: 关于光栅周期选择的考虑
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yNowhh {\CWoFht> 偏振相关的衍射特性
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通过参数优化进行光栅设计
..X _nF 7 QNx*8 p 固定周期的2D参数优化
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!Q15qvRS 2D参数优化–设计1
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g 2D参数优化–设计2
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]oVP_ &E 6QCVi 制造
公差分析–设计2
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&:&l+ 变化光栅周期的3D参数优化
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"Zh,;)hS BVNJas 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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O]Q* [0y,K{8t VirtualLab Fusion中的工作流程
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W+1nf:AI. H=C~h\me? •构造光栅
结构 l`zhKj −通过使用界面来配置光栅结构
3 0[Xkz [用例]
9 da=q •分析光栅衍射效率
Os-Z_zSl6 −光栅级次分析器[用例]
T&dNjx •使用参数运行搜索初始解决方案
A;Y~Hu4KPZ −参数运行文档的使用[用例]
<q$Tk, •通过参数优化找到最终设计
~*/ >8R(Y mMwV5\( VirtualLab Fusion技术
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