摘要
kGL3*x Ms5R7<O.7 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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3bJ|L3G 建模任务
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光栅特性与参数的严格分析
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z 不同光栅周期下的衍射效率
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K(# 关于光栅周期选择的考虑
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AX'-}5T= th<>%e}5c 通过参数优化进行光栅设计
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c.5u \I9" 2D参数优化–设计1
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'i: lV' YXh!+} 2D参数优化–设计2
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O(9*VoD @?;)x&<8?3 制造
公差分析–设计2
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:7 JP(j2 PfB9 .f{ 变化光栅周期的3D参数优化
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w = 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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OECVExb@eH cS2]?zI VirtualLab Fusion中的工作流程
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tA'5ufj*: -^;,m=4{3 •构造光栅
结构 }jU)s{>fb −通过使用界面来配置光栅结构
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9C7HL;MF •分析光栅衍射效率
Dkh=(+> < −光栅级次分析器[用例]
w>}n1Nc$G •使用参数运行搜索初始解决方案
\OWxf[ −参数运行文档的使用[用例]
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^gNbcWc7CU $fT#Wva-\d VirtualLab Fusion技术
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