[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 INY?@in  
L&0aS:  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 "R]wPF5u  
6&o?#l;|  

图片:1-20021G15353423.png

v8K`cijSS  
$"ACg!=M  
建模任务 Id=V\'$o  
.'b|pd  

图片:1-20021G15419564.png

F *1w8+  
光栅特性与参数的严格分析 + />f?+  
?5;N=\GQ  
不同光栅周期下的衍射效率 t==\D?Rt  
5zz">-Q !  

图片:1-20021G15602G5.png

F+!9T  
8^67,I-c  
关于光栅周期选择的考虑 aSMoee@!  
&WZ&Tt/)/  

图片:1-20021G15641J8.png

.'NTy R  
<R?S  
偏振相关的衍射特性 #gVWLm<  
7^C&2k5G  

图片:1-20021G15G0159.png

:eIQF7-  
P!I Lji!  

图片:1-20021G15I2201.png

w?Pex]i{  
C;~LY&=  

图片:1-20021G15P2594.png

D!z'Y,.  
S]NT+XM  
通过参数优化进行光栅设计 1024L;  
$Z3{D:-)  
固定周期的2D参数优化 W#2} EX  
10xza=a  

图片:1-20021G15RaL.png

u4$R ZTC  
2D参数优化–设计1 /D964VR1M\  
I&`aGnr^^  

图片:1-20021G15Z4258.png

B$qTH5)W  
0rvBjlFT  
2D参数优化–设计2 z[@i=avPG  
@^/aS;B$>  

图片:1-20021G20004394.png

xQl}~G]!  
Z5 7.+z<  
制造公差分析–设计2 $%4<q0-  
Ze <)B *  

图片:1-20021G2002JX.png

 : 76zRF  
=~5N/!  
变化光栅周期的3D参数优化 hM[3l1o{|  
'bsHoO  

图片:1-20021G20100c0.png

DP;:%L}  
f8ZuG !U  
制造公差分析 al9( 9)  
\(--$9  

图片:1-20021G20120954.png

5A<}*T  
xGFbh4H=8p  
走进VirtualLab Fusion hy>0'$mU  
{rK]Q! yj  

图片:1-20021G20141219.png

OZC yg/K  
I0qJr2[X~  
VirtualLab Fusion中的工作流程 q|0l>DPRp  
jT!?lqr(Rb  

图片:1-20021G20205237.png

^qi+Y)dU|  
62MQ+H  
•构造光栅结构 }Q@~_3,UJ  
−通过使用界面来配置光栅结构 uUV"86B_  
[用例] +25=u|#4r  
•分析光栅衍射效率 R.DUfU"gp  
−光栅级次分析器[用例] 6nREuT'k  
•使用参数运行搜索初始解决方案 A3*(c3
  
−参数运行文档的使用[用例] X8ZO } X  
•通过参数优化找到最终设计 3rd8mh&l  
*K|ah:(r1\  
VirtualLab Fusion技术 (&v,3>3]  
A\W)uwyN  

图片:1-20021G2025W62.png