摘要
>^Rkk{cc EPeKg{w 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Y oDL/ 7)Cn 4{B6 建模任务
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LH}]& >F 光栅特性与参数的严格分析
|WP}y-Au Q Ev7k 不同光栅周期下的衍射效率
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`:b*#@ L(RI4d 关于光栅周期选择的考虑
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~2 E P3Vz8^ 偏振相关的衍射特性
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B6kc9XG 6 2:FlW> 通过参数优化进行光栅设计
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S{>+' 5Z@0XI 固定周期的2D参数优化
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sOJXloeO[6 H\fsyxM7 2D参数优化–设计2
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pC~M5(F_ ^UCH+Cyl 制造
公差分析–设计2
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f 变化光栅周期的3D参数优化
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NDUH10Y:[ 制造公差分析
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ZkJLq[:cM n$ rgJ 走进
VirtualLab Fusion
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n)0M1o# R<B5<!+ VirtualLab Fusion中的工作流程
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a&2UDl% K Aydpr_lp •构造光栅
结构 &]h`kvtBC −通过使用界面来配置光栅结构
TSD7R [用例]
Xs{PAS0 •分析光栅衍射效率
W#+f2 RR −光栅级次分析器[用例]
0xx4rpH •使用参数运行搜索初始解决方案
]$uC~b −参数运行文档的使用[用例]
hFo29oN •通过参数优化找到最终设计
! 1Hs;K @eM$S5&n$ VirtualLab Fusion技术
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