摘要
?r'rvu'/ k129)79 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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>IJH#>i H .JA)*b- 建模任务
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bsmZR(EnU 光栅特性与参数的严格分析
G9 ;X=c E"b+Q 不同光栅周期下的衍射效率
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gH,^XZe f2`[skNj 关于光栅周期选择的考虑
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&j<B22t! Xat>d>nJ] 偏振相关的衍射特性
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通过参数优化进行光栅设计
bg'Qq|<U h#dp_# 固定周期的2D参数优化
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U+o- 2D参数优化–设计1
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jdiH9]&U b}HLuX 2D参数优化–设计2
SP?~i@H )"/.2S;
3yX^93 n0bm 'qw 制造
公差分析–设计2
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w[YiH $ 1xP* 变化光栅周期的3D参数优化
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>x9@if aZn]8jC% 制造公差分析
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OyH>N/ eS-akx^@ 走进
VirtualLab Fusion
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S3 12#X(% VirtualLab Fusion中的工作流程
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c|RTP 5, " •构造光栅
结构 6Ck 3tCr −通过使用界面来配置光栅结构
h*d1G9%Q1 [用例]
pse$ S= •分析光栅衍射效率
~8:q-m_h −光栅级次分析器[用例]
GB,f'Afl •使用参数运行搜索初始解决方案
3w!8PPl −参数运行文档的使用[用例]
RT`.S
uN •通过参数优化找到最终设计
o]/*YaB2> +lC?Vpi^ VirtualLab Fusion技术
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