摘要
w1`QIv J?&l*_m;t 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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S`!-Cal`n (JUZCP/ \ 建模任务
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Kibr ]w 光栅特性与参数的严格分析
d0'HDVd #_i`#d) 不同光栅周期下的衍射效率
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\ZI'|Ad Gl}Qxv#$ 关于光栅周期选择的考虑
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Cbm\h/PXl 4_/?:$KO 偏振相关的衍射特性
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O@V%Cu )wvHGecp* 通过参数优化进行光栅设计
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PX6 固定周期的2D参数优化
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2D参数优化–设计1
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E 2D参数优化–设计2
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.Z:zZ_Ev ,'xYlH3s 制造
公差分析–设计2
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YG[;"QR Q/>{f0 变化光栅周期的3D参数优化
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E;JsBH }J">}j]/ 制造公差分析
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ks$JP6 h3LE>}6D 走进
VirtualLab Fusion
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OQW#a[=WQ x=ul&|^7D VirtualLab Fusion中的工作流程
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Og,$ sH}` <Utnz) •构造光栅
结构 K+;e4_\ −通过使用界面来配置光栅结构
o.0ci+z@ [用例]
sCR67/ •分析光栅衍射效率
ne4Q#P −光栅级次分析器[用例]
dZi"$ g •使用参数运行搜索初始解决方案
Y.g59X!Ub2 −参数运行文档的使用[用例]
1P~X8=9h •通过参数优化找到最终设计
>}+/{(K"E| g!rQ4#4 VirtualLab Fusion技术
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