摘要
D"^'.DL@wG E7`qmn 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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to> 4-^[%&>} 建模任务
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3{ "O,h 光栅特性与参数的严格分析
vy9dAl :o8MUXH$ 不同光栅周期下的衍射效率
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o\!qcoE2W tJ'iX>9I 关于光栅周期选择的考虑
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n dYF=c 偏振相关的衍射特性
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G%:GeW ppN} k)m 通过参数优化进行光栅设计
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};L 固定周期的2D参数优化
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{/ 2E*|W~I 2D参数优化–设计1
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v`qB'e2 2D参数优化–设计2
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OZ(dpV9.S SSA W52xC 制造
公差分析–设计2
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)- g0&\l}&%U 变化光栅周期的3D参数优化
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+!yXTC 6v732;^ 制造公差分析
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(K<9hL+X uY#TEjGh] 走进
VirtualLab Fusion
i.y)mcB4 ;['a
d)ahF[82 K5 KyG VirtualLab Fusion中的工作流程
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z5 m>H;P p]T"|! d •构造光栅
结构 1hmc,c −通过使用界面来配置光栅结构
P'$ `'J]j [用例]
I 3$dVls} •分析光栅衍射效率
`/IKdO*!S −光栅级次分析器[用例]
h<l1U'Bn7 •使用参数运行搜索初始解决方案
mUP. rb6 −参数运行文档的使用[用例]
T.:+3:8|F •通过参数优化找到最终设计
@N.jB#nEb =Lp7{09u VirtualLab Fusion技术
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