摘要
a#k6&3m& n;_sG>N 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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;`{H!w[D 7Q9 w?y~c 建模任务
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Iyn(?w 光栅特性与参数的严格分析
ltSU fI !>o7a}? 不同光栅周期下的衍射效率
yx[/|nZDC4 Qd{CMmx
AV]2euyn 2@],ZLa 关于光栅周期选择的考虑
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pah'>dAL +3BN} 偏振相关的衍射特性
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Bkc4TO ,[KD,)3y
t{9GVLZ <'Eme 通过参数优化进行光栅设计
T?0eVvM "HIRTE;& 固定周期的2D参数优化
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qe#tj/aZ 2D参数优化–设计1
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<'oQ \eB Wn2NMXK 2D参数优化–设计2
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JH9J5%sp Rhs/3O8k 制造
公差分析–设计2
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Zu[su>\ DyQy^G'%l 变化光栅周期的3D参数优化
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(L&d!$,Dv TD0
B% 制造公差分析
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Bwxd&;E 6bC3O4Rw 走进
VirtualLab Fusion
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5t]H?b8 Jnov<+ VirtualLab Fusion中的工作流程
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~$^XP.a. L="}ErmK •构造光栅
结构 :"c*s4 −通过使用界面来配置光栅结构
0GeTSFj [用例]
rV#ch( •分析光栅衍射效率
gM:".Ee −光栅级次分析器[用例]
46h<,na?, •使用参数运行搜索初始解决方案
wmLs/:~ −参数运行文档的使用[用例]
%h!B^{0 •通过参数优化找到最终设计
(!WD1w X \/#@T VirtualLab Fusion技术
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