摘要
JYI,N N)X3XTY 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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?(1y 76{G'}B 建模任务
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~Fcm[eoC 光栅特性与参数的严格分析
$t[FH&c( +Mb.:_7' 不同光栅周期下的衍射效率
l_d5oAh
kS);xA8s]
lukB8 "%w u2%i 关于光栅周期选择的考虑
pz}.9 yI8 k1~&x$G
97*p+T<yp CY5Z{qiX 偏振相关的衍射特性
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U?Zq6_M& $7ZX]%<s
JX;G<lev sY&IquK^
z>Y-fN`, BX7kO0j 通过参数优化进行光栅设计
kbQ>a5`,x A?P_DA 固定周期的2D参数优化
cF}".4|kZ< 6A-|[(NS
]w8(&,PP 2D参数优化–设计1
V b ?oJhR wlqksG[B
tS=(}2Q FTUv IbT 2D参数优化–设计2
db7B^|Di
}&J q}j
.M%}X7 '-~~-}= sJ 制造
公差分析–设计2
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}Zn} ]{@-HTt 变化光栅周期的3D参数优化
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Wh*uaad7 H<,gU`&R 制造公差分析
<PH#[dH x'<X!gw
<>rneHl8 "+G8d'%YV 走进
VirtualLab Fusion
mCVFS=8V @*((1(q
oap4rHk} )jP1or VirtualLab Fusion中的工作流程
W/h[A3 `3N ^<2p~h0
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p<"m[Dt] &V/MmmT
•构造光栅
结构 1mG-} −通过使用界面来配置光栅结构
-uf|w? [用例]
2\{zmc}G-0 •分析光栅衍射效率
/PIcqg −光栅级次分析器[用例]
(f"4,b^] •使用参数运行搜索初始解决方案
"^%cJAnLX −参数运行文档的使用[用例]
h2d(?vOT •通过参数优化找到最终设计
C LRdm^B 0 @oJFJrO VirtualLab Fusion技术
/gP+N2o+} fNFY$:4X