摘要
3^a"$VW1 -d~'tti 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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$} Myj'`r \4[Ta,;t 建模任务
hd B[H8Q F*=RP$sj
gr=`_k4~1 光栅特性与参数的严格分析
)em.KbsPPF Y(f-e, 不同光栅周期下的衍射效率
wMoAvA_oS KPhqD5,
(
F8I<4S J Nz0!wi 关于光栅周期选择的考虑
`dZ|}4[1 $%-?S]6)
K/-D 5U s$_#T 偏振相关的衍射特性
G;;~xfE' I'C,'
(YOgQ)}, LayU)TIt
M=A9ax [}p.*U_nw
<GN?J.B O)R0,OPb 通过参数优化进行光栅设计
fLAF/#\2 (Nahtx!/9 固定周期的2D参数优化
xJhbGK D,/9rH
O@rb4( 2D参数优化–设计1
`9l\~t(M
KF)i66
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sPuLn9G 2D参数优化–设计2
j+hoj2( 6pR#z@,
d
]
;pG( ay4xOwcR 制造
公差分析–设计2
f,>i%. ?xZmm%JF
]w>fnew Pa +BE[z 变化光栅周期的3D参数优化
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[B`P]}gL:
_4$DnQ6& KT71%?P 制造公差分析
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n RzQS@^u*F0 走进
VirtualLab Fusion
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{2^@jD 5i#w:O\cz VirtualLab Fusion中的工作流程
,0]28D dy?|Q33Y"
ycD.:w p\' Els= :4 •构造光栅
结构 CJ −通过使用界面来配置光栅结构
QL18MbfqP [用例]
>:&p(eu)L0 •分析光栅衍射效率
`r(J6,O −光栅级次分析器[用例]
{+9\o ~ •使用参数运行搜索初始解决方案
MPN=K|* −参数运行文档的使用[用例]
+lJ]-U|P •通过参数优化找到最终设计
%W;Gf9.w G| oG: VirtualLab Fusion技术
Lu.tRZ`$38 C/XyDbH