摘要
p:Zhg{sF n;r
W 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
jo"zdb =]-D_$S~
m[A$Sp_"-h 3EyVoS6D 建模任务
O_Z Sp@{5
ExSy/^4f 光栅特性与参数的严格分析
-7m7.>/M 2bTM0- 不同光栅周期下的衍射效率
7/FF}d N)X51;+
,h'omU7 0y=lf+xA* 关于光栅周期选择的考虑
z?(QM: D__*?frWpW
fUB+9G(Bx 9S{0vc/2@ 偏振相关的衍射特性
-nk0Q_7N
-to 3I
zG~nRt{4 kDWvjT
6"La`}B(T8 n#)kvr
d'b q#r YJBf~0r 通过参数优化进行光栅设计
>>0c)uC|W 'dcO-A:> 固定周期的2D参数优化
Med0O~T% ;h7O_|<%
>('Z9<|r: 2D参数优化–设计1
NV9H"fI O+o_{t\R
F vHd` _E
xd: 2D参数优化–设计2
pAc "Wo(Q RU,!F99'1
L_}F.nbS5 (?~*.g! 制造
公差分析–设计2
KgEfhO$W 8\CmM\R
CL"q" IJofbuzw: 变化光栅周期的3D参数优化
G1/ ?a` $Y>?h
S$ 91L 5w@Q %'o`I 制造公差分析
\m1jV>q x-@6U
W>rx:O+ Vc|uQ8Mi 走进
VirtualLab Fusion
`r. L@8C t
l*n4d[0J firiYL"=44 VirtualLab Fusion中的工作流程
`i3fC&?C 7|q _JdKoU
VHTr;(]hk \k*h& :$ •构造光栅
结构 -gb'DN1BG −通过使用界面来配置光栅结构
FK| q* [用例]
kIYV%O
•分析光栅衍射效率
g(F? qP_K −光栅级次分析器[用例]
v(z2,?/4 •使用参数运行搜索初始解决方案
1U~yu& −参数运行文档的使用[用例]
"3:TrM$|A
•通过参数优化找到最终设计
K!_''Fg =E'
.T0v VirtualLab Fusion技术
*p7_rY y7Sj^muBY