摘要
Ha$|9li` ^o !K0t* 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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i3 -7k dSsMa3X[n 建模任务
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#1z}~1- 光栅特性与参数的严格分析
{#=q[jVi%1 -#3B>VY 不同光栅周期下的衍射效率
Mz40([{ A[XEbfDO
?OYu BZF vrGRZa 关于光栅周期选择的考虑
)oG_x{ I6YN&9Y
+H/^RvUjF 3?Bq(( 偏振相关的衍射特性
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/V46:`V 65=i`!f 通过参数优化进行光栅设计
rxIfatp^ <bXfjj6YJ@ 固定周期的2D参数优化
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fseHuL=~ 2D参数优化–设计1
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l b0tr)>d 2D参数优化–设计2
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puL1A?Y8UM j?g{*M 制造
公差分析–设计2
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j*q]-$ 2E 7od!:<v/ 变化光栅周期的3D参数优化
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M!,$i Hl?\P6 制造公差分析
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r_-iOxt~5 c3`X19'%fM 走进
VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion中的工作流程
3E+u)f lmB 31
QT
nr!kx)j (YGJw?] •构造光栅
结构 ]{0
2! −通过使用界面来配置光栅结构
0KHA5dt [用例]
x!tCK47Yq •分析光栅衍射效率
<lB^>Hfu −光栅级次分析器[用例]
T,!?+# •使用参数运行搜索初始解决方案
bv4lgRE6Y −参数运行文档的使用[用例]
b9%hzD,MR •通过参数优化找到最终设计
4@4$kro Qg%B<3 < VirtualLab Fusion技术
bEMD2ABm =Mc*~[D/