摘要
Q#sLIZ8= _rfGn,@BH 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
NZt
8L? OM#eJ,MH<)
L=<{tzTc j4!oBSp 建模任务
9vJ'9Z2\ }XIUz|
k+y>xI, 光栅特性与参数的严格分析
Wf5ohXm> `Y.Q{5Y 不同光栅周期下的衍射效率
V"Y-|R W,p?}KiO
T
P |kfPohI= 7N
I~47s|v 关于光栅周期选择的考虑
l]KxUkA+ F}{uY(hv"[
O`Ge|4 ,[|4{qli\ 偏振相关的衍射特性
H\@@iK= Mh*^@_h?
I+_u?R)$ DXc3u^
L
}='1<~0 ?(P3ZTk?.
=r1@?x fKjUEMRK 通过参数优化进行光栅设计
CJ#1j> :;u?TFCRx 固定周期的2D参数优化
zTQTmO sqP (1|9
wSd o7Lb 2D参数优化–设计1
v35=4>Y *mTx0sQz(J
yttIA/ `UDB9Ca 2D参数优化–设计2
CAvyS v6q oH)n
^ ;XJG9a0\ qKL
mL2O 制造
公差分析–设计2
,z+7rl ;u
"BCW
B+8B<xZ XAF*jevr 变化光栅周期的3D参数优化
V'jvI n~|sMpd,M1
Nn]|#lLP B %Vz -t 制造公差分析
TaI72"8 xpjv@P
3(n+5~{e >GV= % 走进
VirtualLab Fusion
m/(f?M l MhXJ /bup
i{+W62k* /3pvq%i VirtualLab Fusion中的工作流程
RAps`)OR? WQ>y;fi5/{
dnW #" [x\?._> •构造光栅
结构 :G\X −通过使用界面来配置光栅结构
]6BV`r] [用例]
Y)oF;ko: •分析光栅衍射效率
-h?ed'e/zz −光栅级次分析器[用例]
`: R7jf •使用参数运行搜索初始解决方案
pDloew −参数运行文档的使用[用例]
nS5g!GYY,k •通过参数优化找到最终设计
td"D&1eQ@ n |e=7?H8 VirtualLab Fusion技术
o$%I{}9x k=D}i\F8