摘要
4> uN H5 Nw9@E R 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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&?@[bD'T ul3~!9F5F 建模任务
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Fv7]1EO. 光栅特性与参数的严格分析
[[HCP8Wk [;yKbw!C 不同光栅周期下的衍射效率
]0&X[? t{>#)5Pqv
&#JYh=# L[ZS17;* 关于光栅周期选择的考虑
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whYk"N xT+#K5 偏振相关的衍射特性
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TE;f*! 1 $1>cuu 通过参数优化进行光栅设计
>-\^ )z %3*|Su%uC 固定周期的2D参数优化
IqV" 4 pj<aMh
CcW3o"=4 2D参数优化–设计1
[0qswsV KAXjvZN1
_YG@P1 7TEpjSuF 2D参数优化–设计2
XlD=<$Nk7 ,}\LC;31,
jI'?7@32` q6N{N>-D 制造
公差分析–设计2
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|JR`" nF` bl&9O 变化光栅周期的3D参数优化
+L"F] _? b+q'xnA=>
n Bd]rak' V dvj*I 制造公差分析
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R& jygUf| 走进
VirtualLab Fusion
2q]ZI 50dN~(;p
N<@K(?' Xp|4 WM VirtualLab Fusion中的工作流程
7FkiT 9mp`LT
IJKdVb~ n:B){'S •构造光栅
结构 )X," NJG −通过使用界面来配置光栅结构
5FuV=Y uc [用例]
:Cezk D& •分析光栅衍射效率
Xs|d#WbX −光栅级次分析器[用例]
:R
+BC2x •使用参数运行搜索初始解决方案
g]JRAM −参数运行文档的使用[用例]
@`+\vmfD •通过参数优化找到最终设计
[kpQ:'P3 *~4<CP+"0 VirtualLab Fusion技术
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