摘要
p.gaw16}> ~olta\| 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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`[.':"~2N 7h4"5GlO0 建模任务
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W6&s_ ( 光栅特性与参数的严格分析
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MGY _pXy}D 不同光栅周期下的衍射效率
FQbF)K~e O6LuFT.
^_5Nh^ .@Z-<P" 关于光栅周期选择的考虑
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(W<n<sl:- IT3xX=|b 偏振相关的衍射特性
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Zd/ACZ[ !+?,y/*5( 通过参数优化进行光栅设计
k{/2vV[`] H!y%Fa Ti 固定周期的2D参数优化
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3Z* ' 2D参数优化–设计1
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HWFI6N L{K:XiPn 2D参数优化–设计2
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:%M[|Fj p{knQ], 制造
公差分析–设计2
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$z-zscco Hq.ys> _ 变化光栅周期的3D参数优化
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D2$"!7O1H ?QGAiu0 走进
VirtualLab Fusion
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fL9R{=I% -lM4 *+f VirtualLab Fusion中的工作流程
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+kF$I7LN bP%0T++vo •构造光栅
结构 #4. S2m4 −通过使用界面来配置光栅结构
yM%,*VZ [用例]
eW$G1h: •分析光栅衍射效率
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`knsE! −光栅级次分析器[用例]
>|jSd2_p •使用参数运行搜索初始解决方案
9Ny{2m=Ye −参数运行文档的使用[用例]
&DdFK.lt •通过参数优化找到最终设计
-DwqoWZ &P>wIbE VirtualLab Fusion技术
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