摘要
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ejc> 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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55FRPNx-x U$46=F| 建模任务
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V8#NXUg<! 光栅特性与参数的严格分析
6Ad C wYr*('uT 不同光栅周期下的衍射效率
U C_$5~8p Z~].v._YV)
@nAl*#M*D < 0YoZSNGj 关于光栅周期选择的考虑
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=*R6O, p-r[M5;-^Q 偏振相关的衍射特性
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jweX"G54R [X91nUz# 通过参数优化进行光栅设计
}[R-)M ia(`3r 固定周期的2D参数优化
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A'.=SA2.Y 2D参数优化–设计1
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i\O^s ] h-kmZ<p|^ 2D参数优化–设计2
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-QwH| Xdwpn+7s 制造
公差分析–设计2
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s_a jA @mmnr?_w 变化光栅周期的3D参数优化
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4v`IAR?&K; 8NiR3*1 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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z:@:B:E X^Z!!KTH VirtualLab Fusion中的工作流程
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'&'m#H*: B]@25 •构造光栅
结构 ,2^4"gIl −通过使用界面来配置光栅结构
xDGS`o_w_ [用例]
+[<YE •分析光栅衍射效率
y)U?.@ −光栅级次分析器[用例]
b>Y{,`E3 •使用参数运行搜索初始解决方案
fGO\f;P −参数运行文档的使用[用例]
wapSpSt •通过参数优化找到最终设计
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yEeA VirtualLab Fusion技术
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