摘要
w<!,mL5 N 7DK}c]js 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Y{dX[^[ ;J+iwS*Z 建模任务
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, 光栅特性与参数的严格分析
I*>q7Hsu O[U`(A: 不同光栅周期下的衍射效率
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l{^s4 {Z <`@\K3 关于光栅周期选择的考虑
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+UziO#D \5<Z [#{ 偏振相关的衍射特性
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{)b mc2uI-W 通过参数优化进行光栅设计
E+<GsN] xuqG)HthRS 固定周期的2D参数优化
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b[:m[^ 2D参数优化–设计1
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l9j=;h ^%Y-~yB- 2D参数优化–设计2
i E;F=Rb `w4'DB-R)
4|cRYZj5 `wj' 制造
公差分析–设计2
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5Kf) K7{B!kX4k
LTA0WgzR) g<^A(zM 变化光栅周期的3D参数优化
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RiQg]3oY nW\W<[O9 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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Q qj9o2 oy[ px9Wx VirtualLab Fusion中的工作流程
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:YkAp9civ pih 0ME}z •构造光栅
结构 sL\ {.ad5 −通过使用界面来配置光栅结构
yEh{9S%6p [用例]
Gi@c`lRd1 •分析光栅衍射效率
%B1TN#KoT −光栅级次分析器[用例]
"+&pd!\ •使用参数运行搜索初始解决方案
[%6) −参数运行文档的使用[用例]
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j •通过参数优化找到最终设计
#J5_z#-Q; bJ6C7-w:wa VirtualLab Fusion技术
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