摘要
R: Z_g!h B6M+mx"G 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
(-^bj -n))*.V
l*}FXL ZI13 建模任务
)u} Q:`9 p]gT&[iJ
{6,|IGAq
V 光栅特性与参数的严格分析
`E`HVZ} }*wLEa 不同光栅周期下的衍射效率
u=NG6G = !2NU
1y5Ex:JVZT AHbZQulC 关于光栅周期选择的考虑
~}ovuf=% HZjf`eM,
)N!>= fg*@<' 偏振相关的衍射特性
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tY/vL^mi "VUYh$=[
\=e8%.#@J b]fzRdhl
Frm;Ej3?$ n! h7 通过参数优化进行光栅设计
/DFV$+9 ig#r4nQ= 固定周期的2D参数优化
pmc=NTr&< aMuVqZw
O[q\ e<V< 2D参数优化–设计1
]N)DS+V/ 4gBp8*2
U.oksD9v *VeW?mY,P 2D参数优化–设计2
JMa3btLy( E1V^}dn
Qu\@Y[eia5 UE0$ o? 制造
公差分析–设计2
uGH?N ~}9PuYaD@
@cvP0A t%VDRZo7 变化光栅周期的3D参数优化
tjnPyaJEl V2 d,ksKwn
d j5hv~ Djt%r< 制造公差分析
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5]Da{Wmgs \_]En43mg 走进
VirtualLab Fusion
;iQEkn2T|} #J\rv'
vp)Vb^K> #@.-B,] VirtualLab Fusion中的工作流程
Ve 3 ; u dk.zk
9.OA, 6 HTjkR*E •构造光栅
结构 kPxT"
" k −通过使用界面来配置光栅结构
g}xQ6rd [用例]
S6i@"h5 •分析光栅衍射效率
':h
=*v8a −光栅级次分析器[用例]
Gpj* V|J •使用参数运行搜索初始解决方案
@E9" Zv-$ −参数运行文档的使用[用例]
mqtg[~dNc •通过参数优化找到最终设计
Gs0H@ K >tf, VirtualLab Fusion技术
IzLF'F - xm{&0e)