摘要
^c}Z$V I|JMkP 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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6)m}e?D> *z`_U]tP 建模任务
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5YaTE<G 光栅特性与参数的严格分析
|jV> a|`Pg1j# 不同光栅周期下的衍射效率
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z%;b-PpS 7wsn8_n9 关于光栅周期选择的考虑
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} S,Boutd 偏振相关的衍射特性
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~fkjn 通过参数优化进行光栅设计
s@K)RhTY eD/O)X 固定周期的2D参数优化
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BB5(=n+ 2D参数优化–设计1
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K O "U5v X[:Hp`_$ 2D参数优化–设计2
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3ri7n 制造
公差分析–设计2
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9 o6ig>C B)g7MG 变化光栅周期的3D参数优化
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HtB>#`' Hj't.lg+j 制造公差分析
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M_*"g>Z ~wf&78 走进
VirtualLab Fusion
YKKZRlQo G#-t&gO3
B-PN +P2 os0fwv VirtualLab Fusion中的工作流程
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OjTb2[Q P*Va<'{:{ •构造光栅
结构 $q,2VH :Ip −通过使用界面来配置光栅结构
[E<NEl* [用例]
ZN#mu]jC? •分析光栅衍射效率
T#kPn#| −光栅级次分析器[用例]
.1<QB{4~v •使用参数运行搜索初始解决方案
>Lj0B%^EvM −参数运行文档的使用[用例]
AL@8v= •通过参数优化找到最终设计
&SuWmtq F,+nj?i! VirtualLab Fusion技术
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