摘要
6"Rw&3D? 3 n=ftkI 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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:/'oh]T| la[>C:8IG 建模任务
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'nh^'i&0. 光栅特性与参数的严格分析
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jA+0 不同光栅周期下的衍射效率
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Omy<Y@$ %.VFj7J 关于光栅周期选择的考虑
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`E2HQA@ Ow4H7sl 偏振相关的衍射特性
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`5CuH rGb<7b% 通过参数优化进行光栅设计
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M 固定周期的2D参数优化
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!omf>CW;ud 2D参数优化–设计1
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7S]<?>* ;o-c.-!F 2D参数优化–设计2
)7s(]~z 8%Hc%T[RnT
]XhX aoqL I$w:qS&: 制造
公差分析–设计2
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bx8;`QMX ni`uO<\U 变化光栅周期的3D参数优化
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I$HO[Z! AD^Q`7K?uR 制造公差分析
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zVyMmw\ AMf{E 走进
VirtualLab Fusion
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hxe X6 yHYK,3/C, VirtualLab Fusion中的工作流程
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OD;F{Hc g`\5!R1 •构造光栅
结构 PJ3M,2H1b. −通过使用界面来配置光栅结构
iV2v<ap.n [用例]
!@3"vd{^ •分析光栅衍射效率
5VZZk%oy −光栅级次分析器[用例]
Q"F" 13 •使用参数运行搜索初始解决方案
^ZPynduR −参数运行文档的使用[用例]
5/YGu=, •通过参数优化找到最终设计
{u)>W@Lr yB2}[1 VirtualLab Fusion技术
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