摘要
^b^buCYw V >~\~H2Y 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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%/S HB ^Cj3\G4, 建模任务
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J~h9i=4<bF 光栅特性与参数的严格分析
$y UPua/- nj-LG!"a 不同光栅周期下的衍射效率
=NWzsRl, ;qcOcm%
eQMa9_ UMHFq- 关于光栅周期选择的考虑
NS "1zR+ ~3|)[R=+p1
98vn"=3 AXv-%k}; 偏振相关的衍射特性
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XAi 6.a|w}C` 通过参数优化进行光栅设计
:w7?]y6~S 7dOpJjv?) 固定周期的2D参数优化
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zKh <zj 2D参数优化–设计1
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QoMa+QTuc R''2o_F6 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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lQ4$d{m` *g4Uo{ 变化光栅周期的3D参数优化
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om6`>I* *r|13|k 制造公差分析
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XMaw:Fgr !yz3:Yzu 走进
VirtualLab Fusion
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H)rJ>L 4z^~,7J^ VirtualLab Fusion中的工作流程
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<1`MjP*w &7Xsn^opku •构造光栅
结构 {&FOa'bP −通过使用界面来配置光栅结构
ppeF,Q [用例]
YI]/gWeu •分析光栅衍射效率
AU;Iif6 −光栅级次分析器[用例]
?gjkgCbC# •使用参数运行搜索初始解决方案
&0{&4, −参数运行文档的使用[用例]
~W3t(\B' •通过参数优化找到最终设计
Mv:\T%] V-"#Kf9 VirtualLab Fusion技术
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