摘要
|3FI\F;^q Q("m*eMRt 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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H2n4) 建模任务
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5b:1+5iF- 光栅特性与参数的严格分析
ZhY{,sy?QO zls^JTE 不同光栅周期下的衍射效率
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Yd3lL:M Bb=r?;zjO 关于光栅周期选择的考虑
MUl`0H"tR ''9]`B,:a0
wG)e8,# k)3N0]q6 偏振相关的衍射特性
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x~5,v5R^] c6F?#@?
%O9 Wm_% +1wEoU.l2 通过参数优化进行光栅设计
h^(U:M=A e&x)g;bn 固定周期的2D参数优化
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c$1u 2D参数优化–设计1
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_zDS-e@ j(y<oxh 2D参数优化–设计2
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fL|9/sojz <zqIq9}r 制造
公差分析–设计2
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nN&dtjoF p8 S~`fjV 变化光栅周期的3D参数优化
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q2xAx1R`sV ulALGzPh 制造公差分析
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3So 走进
VirtualLab Fusion
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+ase>'<N# z>+CMH5L) VirtualLab Fusion中的工作流程
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{KSLB8gtL . ?#Q(eLj •构造光栅
结构 `%|3c −通过使用界面来配置光栅结构
CHS}tCfos> [用例]
~Q"qz<WO •分析光栅衍射效率
rui 8x4c −光栅级次分析器[用例]
EiD41N •使用参数运行搜索初始解决方案
R[j'<gd. −参数运行文档的使用[用例]
W/RB|TMT •通过参数优化找到最终设计
DBy%"/c ih("`//nP VirtualLab Fusion技术
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