摘要
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当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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oC: {aK6\ g-</ua(j 建模任务
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c&?m>2^6 光栅特性与参数的严格分析
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Vf XsI 不同光栅周期下的衍射效率
H.|#c^I 7yH"l9Z
D4lG[qb /hH 关于光栅周期选择的考虑
p6]1w]*R ):6 8%,
rv^@, 8vq Fg5kX 偏振相关的衍射特性
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+_?hK{Ib" oWim}Er= 通过参数优化进行光栅设计
Sw8]EH6 :bu/^mW[ 固定周期的2D参数优化
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%S@ZXf~: 2D参数优化–设计1
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5T_n %vz Ic"ybj` 2D参数优化–设计2
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jk; clwyz/ x=hiQ>BIO0 制造
公差分析–设计2
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HZzD VCU 7a=gH2]& 变化光栅周期的3D参数优化
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SO|NaqWa _(W+S`7Z 制造公差分析
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,'GN[s 走进
VirtualLab Fusion
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rxgbV.tx $k@O`xD,q VirtualLab Fusion中的工作流程
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1b `1{% F 5bj=mI •构造光栅
结构 ~rE|%o −通过使用界面来配置光栅结构
}l(&}#dY [用例]
M)J5;^[" •分析光栅衍射效率
vsCCB}7\ −光栅级次分析器[用例]
'NXN& { •使用参数运行搜索初始解决方案
v}}F,c(f −参数运行文档的使用[用例]
nMq,F#`3N •通过参数优化找到最终设计
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acajHs VirtualLab Fusion技术
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