摘要
K'A+V "LBMpgpU 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
-y`Pm8 fSo8O i~@gI5[k+ ot0teNF 建模任务
>xWS>
73Dxf - 7?.uAiM'zT 光栅特性与参数的严格分析
{X!vb AHf 9H? 不同光栅周期下的衍射效率
26V6Y2X corm'AJ/ )gpN
5TDd ]_KWN$pd 关于光栅周期选择的考虑
vNO&0~ TWP@\ BQ RdCGK?s >6es
5}
偏振相关的衍射特性
;
476t d i\.*7l? I|X`9 &;Ncc,jb > ,6 ?QP>rm dc$zW^i g#S
X$k-O 通过参数优化进行光栅设计
pY&6p~\p ]TvMT 固定周期的2D参数优化
6IqPZ{g9K' ZflB<cI 6
AO(A
* 2D参数优化–设计1
rwWOhD)RU =?]`Xo,v~ ,xwiJfG;
] 2/SUEnaLy_ 2D参数优化–设计2
S|tD8A %1&X+s3 wgz]R W ?x~"-* 制造
公差分析–设计2
f6r!3y GMU!GSY ZayJllaq^ .ATpwFal 变化光栅周期的3D参数优化
Z~:)hwF lDS y$ 7mtx^ rtPo)#t 制造公差分析
O>E}Lu;| [I;C6p yLRe'5#m ,Uh^e]pC 走进
VirtualLab Fusion
F=\
REq D;sG9Hky y[J9"k(@ B9(w^l$kZ| VirtualLab Fusion中的工作流程
gmp@ TY=:L :ok.[q E8C8kH] @5d^ C •构造光栅
结构 5Q"yn2b4 −通过使用界面来配置光栅结构
p3_
Qx [用例]
VjM/'V5 •分析光栅衍射效率
'c~SE> −光栅级次分析器[用例]
~,,r\Y+ •使用参数运行搜索初始解决方案
=2q#- ,t −参数运行文档的使用[用例]
[C!*7h •通过参数优化找到最终设计
6TRLHL~B 4{>r_^8 VirtualLab Fusion技术
,RV>F_ (ot,CpI(I