摘要
>{a,]q* {O)&5 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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mx~sxYa keskD 建模任务
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}eM<A$J 光栅特性与参数的严格分析
$0T"YC% &F_rg,q&_ 不同光栅周期下的衍射效率
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8F` .5;LL,S- 关于光栅周期选择的考虑
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/H +o]BjgG
r z{ 'X d /T[ICd2J 偏振相关的衍射特性
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R Sz[6 aLt{X)? 通过参数优化进行光栅设计
?3TV:fx"X Xe;(y "pR 固定周期的2D参数优化
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^!o}>ls[' 2D参数优化–设计1
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s}9tK(4v p''"E$B/( 2D参数优化–设计2
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l/zC##1+. bDBO+qA 制造
公差分析–设计2
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2z ta 变化光栅周期的3D参数优化
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ikN!ut 68<Z\WP 制造公差分析
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81 }BdVD t 走进
VirtualLab Fusion
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uO@3vY',n hr4ye`c j VirtualLab Fusion中的工作流程
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?koxt44 {&=qM!2e •构造光栅
结构
'nWs0iH. −通过使用界面来配置光栅结构
'K`Rbhy [用例]
*Ht*)l? •分析光栅衍射效率
Mp"'?zf −光栅级次分析器[用例]
!@<@QG- •使用参数运行搜索初始解决方案
q@!'R{fu −参数运行文档的使用[用例]
Z%5nVsm:G •通过参数优化找到最终设计
.6ngo0<g !3I(4?G, VirtualLab Fusion技术
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