摘要
<E7Vbb9* Z/6'kE{l 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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?<yq 2`\4O Puth8$ 建模任务
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d0}%%T 光栅特性与参数的严格分析
6PQJgki X~)V )'R 不同光栅周期下的衍射效率
v1"g!%U6 ) (?UA$"
=FD`A#\C~ v-7Rb)EP 关于光栅周期选择的考虑
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EYJ i6# T)Zt'M 偏振相关的衍射特性
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B::4Qme -e`oW.+ 通过参数优化进行光栅设计
aX[1H6&=7 68J 9T^84 固定周期的2D参数优化
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M8#*zCp{5 2D参数优化–设计1
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r{_B: { /F rs*AF 2D参数优化–设计2
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U=&^H!LVY l?o-!M{ 制造
公差分析–设计2
T]Tdx.B ==h|+NFa
)y%jLiQv O:5Rp_?^ 变化光栅周期的3D参数优化
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DD/>{kff Xx3g3P 制造公差分析
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c%AFo]H q3AJwELXw 走进
VirtualLab Fusion
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,?xLT2>J_ Ci7P%]9 VirtualLab Fusion中的工作流程
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:%WnM9
&dhcKO<4 :jt;EzCLg% •构造光栅
结构 V>b2b5QAH, −通过使用界面来配置光栅结构
.N~PHyXZR [用例]
&=F-moDD •分析光栅衍射效率
&v5G92 −光栅级次分析器[用例]
]6$,IKE7 •使用参数运行搜索初始解决方案
j4~7akG −参数运行文档的使用[用例]
8)^B32 •通过参数优化找到最终设计
V=j-Um; ||-nmOy VirtualLab Fusion技术
S=0"f}Jo. prNhn:j