摘要
(l^7EpNs )1 T2u 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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8F8?1 !vAmjjB 建模任务
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;yomaAr 光栅特性与参数的严格分析
y|ZL<L N9_* {HOy 不同光栅周期下的衍射效率
j+gxn_E oL@ -<;zKO
cDY)QUmi 9KU&M"Yq&i 关于光栅周期选择的考虑
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_M`ZF*o=c ^7spXfSAd 偏振相关的衍射特性
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gPKf8{#%e r&E gP 通过参数优化进行光栅设计
|&= -Nm [j0[c9.p[ 固定周期的2D参数优化
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BI`)P+K2 2D参数优化–设计1
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5j`xSG T o["o!(;z 2D参数优化–设计2
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1<BKTMBq?{ w[-)c6J yE 制造
公差分析–设计2
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z,TH}s6 Qfm$q~`D^W 变化光栅周期的3D参数优化
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A O:F*%Q u TRm#H$ 制造公差分析
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@A1f#Ed< :8)Jnh\5 走进
VirtualLab Fusion
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t<8)h8eW d{7ZO#E VirtualLab Fusion中的工作流程
PeIx41. +s eC!=4_lx)
kg^0 %-F jKml:)k •构造光栅
结构 RTc@`m3 M −通过使用界面来配置光栅结构
s>J5.Z7"'j [用例]
E5^\]`9P •分析光栅衍射效率
OvX&5Q5 −光栅级次分析器[用例]
d0 )725Ia •使用参数运行搜索初始解决方案
|E1U$,s~u −参数运行文档的使用[用例]
xT+_JT65 •通过参数优化找到最终设计
0&,D&y% jB?SX VirtualLab Fusion技术
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