[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 Ng*-Bw)p]  
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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 x4L3Z__  
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建模任务 LPu*Lkx  
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光栅特性与参数的严格分析 Ew|Z<(  
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不同光栅周期下的衍射效率 S\:+5}  
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关于光栅周期选择的考虑 ,@?9H ~\  
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偏振相关的衍射特性 u^{p'a'  
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通过参数优化进行光栅设计 ?z l<"u  
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固定周期的2D参数优化 $9Bzq_!  
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2D参数优化–设计1 a@W9\b@I  
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2D参数优化–设计2 IBJNs$  
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制造公差分析–设计2
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变化光栅周期的3D参数优化 @- |G_BZ  
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制造公差分析 aaY AS"/:  
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走进VirtualLab Fusion hwXsfh |  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 v8yC
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#9]2Uixq[  
•构造光栅结构 aXVld
t'  
−通过使用界面来配置光栅结构 N}B&(dJ  
[用例] QH(&Cu,  
•分析光栅衍射效率 ~//9Nz~;3  
−光栅级次分析器[用例] >_yL@^  
•使用参数运行搜索初始解决方案 {*O+vtir%  
−参数运行文档的使用[用例] mm:TR?^  
•通过参数优化找到最终设计 k $^/$N  
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VirtualLab Fusion技术 t>}S@T{~T  
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