摘要
0jR){G9+ <9ma(PFa 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
=m`l%V[ \s=QiPK
R{*_1cyW :3*`IB ! 建模任务
7dSh3f! ZV!R#Xv
Uh|TDuM 光栅特性与参数的严格分析
mR" uhm}q d,)}+G 不同光栅周期下的衍射效率
Ns'FH(: "
Wp
+.w[6 K<c2PFo)Q 关于光栅周期选择的考虑
7egq4gN]2Y D899gGe
j7f5|^/x3 $zdd=.!KiK 偏振相关的衍射特性
z~F37]W3[ _zdNLwE[
dIma{uv s~L`53A
LyIKP$t W+KF2(lB
/K f L+"^| FtE90=$ 通过参数优化进行光栅设计
sr\cVv") Qe_+r(3)k 固定周期的2D参数优化
f6Ml[!aU 0}B?sNr
k!&:(] 2D参数优化–设计1
v{r1E]rY *m*`}9
JRq3>P 012Lwd 2D参数优化–设计2
2SYKe$e n[|6khOL-
x.ba|:5 &I%IaNco 制造
公差分析–设计2
?H`j>]%& {#N%Bq}
R }1W 0Q7MM6 变化光栅周期的3D参数优化
^}J<)}Q 8&%Cy'TIz4
<KX&zi<L) syRN4 制造公差分析
SyAo,
)j
c-5Ysg
e9 *lixh 4Ac}(N5D@ 走进
VirtualLab Fusion
zZ:xEc zd.'*Dj
i3P9sdTD D*QYKW=) VirtualLab Fusion中的工作流程
E~qQai=] Jld\8=
g8RPHjvZ h48YDWwy •构造光栅
结构 o5SQ1;`
−通过使用界面来配置光栅结构
ya.n'X14 [用例]
d*2u}1Jo8 •分析光栅衍射效率
P_&p=${ −光栅级次分析器[用例]
LL.x11o3 •使用参数运行搜索初始解决方案
IB8gDP2 −参数运行文档的使用[用例]
U7h(-dV
•通过参数优化找到最终设计
wx*1*KZ t+O e)Ns VirtualLab Fusion技术
5]d{6Nc3P -9d%+O~v6~