摘要
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,pTj'I 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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2]UwIxzR _k|k$qxE 建模任务
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znkc@8_4 光栅特性与参数的严格分析
Y9SaYSX K_Q-9j 不同光栅周期下的衍射效率
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w;wgh`ur hWz/PK, 关于光栅周期选择的考虑
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d%~OEq1i" O'~>AC5{ 偏振相关的衍射特性
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5L 0w!q'W r}4 通过参数优化进行光栅设计
bCg)PJuB ZWb\^N 固定周期的2D参数优化
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>h9T/J8 2D参数优化–设计1
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Ge=|RAw3 BmI'XB3'P 2D参数优化–设计2
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.)|2^ 'W hbSXa' 制造
公差分析–设计2
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):st-I!o Ro.br:'Bw 变化光栅周期的3D参数优化
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Ewa/6=]LA v@1f,d 制造公差分析
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[<JY[o= CTf39R|7_ 走进
VirtualLab Fusion
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jyFKO[s\X *XkgwJq VirtualLab Fusion中的工作流程
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3Lm7{s?=Z- V5!mV_EoR@ •构造光栅
结构 @0D −通过使用界面来配置光栅结构
a\xf\$Ym [用例]
yaK4% k •分析光栅衍射效率
{S"! c. −光栅级次分析器[用例]
t $u. •使用参数运行搜索初始解决方案
`##^@N<P −参数运行文档的使用[用例]
uX8G<7O^ •通过参数优化找到最终设计
nyx(0 jP )VTk_ VirtualLab Fusion技术
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