摘要
l3MH+o ;s!H 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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@6Mo_4)O v|'N|k l 建模任务
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光栅特性与参数的严格分析
Q:LuRE!t XDWERvIj 不同光栅周期下的衍射效率
x~z 2l#ow rTJWftH!
"LWp/ GJ$,@ 关于光栅周期选择的考虑
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y1saE zJy{Ry[Sb 偏振相关的衍射特性
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t5qAH++axN 0T5>i 0/
q8lK6p\:W z~_\onC 通过参数优化进行光栅设计
r]S9z IY:O? M 固定周期的2D参数优化
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4s8E:I=K 2D参数优化–设计1
mc=*wr$ _7<U[63
P:TpB6.=q `3KprpE8v 2D参数优化–设计2
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i<?4iwX%i* ]4yvTP3[Rm 制造
公差分析–设计2
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a3 x~B=E <7^~r(DP 变化光栅周期的3D参数优化
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8hfh,v5( %},gE[N!J 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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d@tr]v5 B N 3c*S"1 VirtualLab Fusion中的工作流程
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XP
G{.+D2 ];;w/$zke •构造光栅
结构 6~ `bAe`} −通过使用界面来配置光栅结构
ea0tx3' [用例]
njMy&$6a## •分析光栅衍射效率
cloI 6%5r −光栅级次分析器[用例]
CE,Om^ •使用参数运行搜索初始解决方案
sCQup^\ −参数运行文档的使用[用例]
?<'W~Rm6n •通过参数优化找到最终设计
RH Vv}N0 [r8 d+ VirtualLab Fusion技术
sV[Z|$&Z 5-HJ&Q