[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 n21Pfig  
FS3MR9  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 yGNZw7^(  
K3jPTAw=#  

图片:1-20021G15353423.png

&C~R*  
cTA8F"UGD  
建模任务 dQ6n[$Q@N  
Mp*S+Plp  

图片:1-20021G15419564.png

|ZEZ@y^  
光栅特性与参数的严格分析 CDDx %#eG>  
ZP@or2No%  
不同光栅周期下的衍射效率 |x2+O  
]s*Fs]1+H  

图片:1-20021G15602G5.png

Q?f%]uGFQ  
vybQ}dscn  
关于光栅周期选择的考虑 R W=<EF&  
wq|~[+y  

图片:1-20021G15641J8.png

|-WoR u  
]L'FYOfrpx  
偏振相关的衍射特性 dQoZhE  
-S
7PnR6  

图片:1-20021G15G0159.png

9;Z2.P"w  
}PZz(Ms  

图片:1-20021G15I2201.png

;j#$d@VG"  
BrW1:2w >\  

图片:1-20021G15P2594.png

~s}0z&v^te  
5ryzAB O\2  
通过参数优化进行光栅设计 '}3m('u  
'Zq$W]i  
固定周期的2D参数优化 l!n<.tQW  
#q;hX;Va  

图片:1-20021G15RaL.png

Gj[+{  
2D参数优化–设计1 '%W'HqVcG1  
;z6Gk&?  

图片:1-20021G15Z4258.png

87/!u]q  
x+kP,v  
2D参数优化–设计2 @W\y#5"B  
Mo+mO&B  

图片:1-20021G20004394.png

FiTP-~  
DzZ)aE  
制造公差分析–设计2 @ljvTgZ(X  
}yCw|B|a  

图片:1-20021G2002JX.png

0nkon3H  
|!r.p_Zt  
变化光栅周期的3D参数优化 *.
H1m{V  
^*;{Uj+O~Y  

图片:1-20021G20100c0.png

5zebH  
+O<0q"E  
制造公差分析 sGNVZx  
:!omog  

图片:1-20021G20120954.png

; Q-f6)+&  
)P6n,\  
走进VirtualLab Fusion o<`)cb }  
l2
DhFt$!=  

图片:1-20021G20141219.png

tK<GU.+  
t6.hg3Y  
VirtualLab Fusion中的工作流程 \]y4e^FZZ  

N-x~\B!  

图片:1-20021G20205237.png

`={s*^Ta  
_":yUa0D  
•构造光栅结构 C
djh/+!f  
−通过使用界面来配置光栅结构 > ,L'A;c}  
[用例] Mr}]P(4h  
•分析光栅衍射效率 cD-.thHO  
−光栅级次分析器[用例] j@c fR  
•使用参数运行搜索初始解决方案 T-Od|T@[  
−参数运行文档的使用[用例] zl>l.zJ  
•通过参数优化找到最终设计 |aiP7C  
1a#oJU  
VirtualLab Fusion技术 q&IO9/[dk  
7w7mE  

图片:1-20021G2025W62.png