摘要
^ ~Tn[w W_ M$6;&T 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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d\nE8G 0}9j l 建模任务
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{!.w} 光栅特性与参数的严格分析
KXWz(L!1 TKEcbGhy 不同光栅周期下的衍射效率
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6_tl_O7 Q yQ[H 关于光栅周期选择的考虑
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,hT**(W AOTtAV_e 偏振相关的衍射特性
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!rG-[7K
bp}]'NA t+0/$ 通过参数优化进行光栅设计
yK_$d0ZGE~ |H5$VSw 固定周期的2D参数优化
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8CvNcO;H0 2D参数优化–设计1
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1gLET.I: =">0\# 2D参数优化–设计2
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J DOs.w =#&+w[4?&. 制造
公差分析–设计2
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Qv8 =CnuOT W&&C[@Jd3 变化光栅周期的3D参数优化
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y+Bxe)6^V g12.4+ 制造公差分析
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:n?rk/ F z07:E>D] 走进
VirtualLab Fusion
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d- VirtualLab Fusion中的工作流程
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(>*L-&- UGoB7TEfn •构造光栅
结构 r[2*K 9 −通过使用界面来配置光栅结构
g}*p(Tp9: [用例]
shVEAT'` •分析光栅衍射效率
2>Qy* −光栅级次分析器[用例]
Z07n>|WF- •使用参数运行搜索初始解决方案
`?"r\Qo< −参数运行文档的使用[用例]
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P{ •通过参数优化找到最终设计
: T qeVf c/Li,9cT' VirtualLab Fusion技术
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