摘要
H,01o5J wGZ>iLe: 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Mt]=v}z w i![0IE ) 建模任务
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;Hz`0V 光栅特性与参数的严格分析
L5i#Kh_ \pT^Zhp) 不同光栅周期下的衍射效率
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FCUVP,"T 60.[t9pk6 关于光栅周期选择的考虑
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w%%6[<3% .YnP%X= 偏振相关的衍射特性
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通过参数优化进行光栅设计
8iII)+ ~jgN_jz 固定周期的2D参数优化
C.Wms}XA P22y5z~
ly[\mGr 2D参数优化–设计1
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LdI UeK,q>i 2D参数优化–设计2
P?yOLG+)l) 3thG*^C5
g z)wUQ|W etQx>U 制造
公差分析–设计2
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OoU '86) f0HV*%8 变化光栅周期的3D参数优化
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4P-'(4I) q:D0$YY0 制造公差分析
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m`1}O"<&i nJM9c[Ou^H 走进
VirtualLab Fusion
C7c|\ T \V!X& a
E-7a`S jmZ|b6 VirtualLab Fusion中的工作流程
{TcbCjyw {XVf|zM,
D ^T7pO Pvb+
•构造光栅
结构 eA~_)-Z- −通过使用界面来配置光栅结构
(Db*.kd8, [用例]
tp,mw24 •分析光栅衍射效率
STF}~`b:3 −光栅级次分析器[用例]
GQ8Dj!8 •使用参数运行搜索初始解决方案
EL)/5-=S −参数运行文档的使用[用例]
"YdDaj</ •通过参数优化找到最终设计
sLpCWIy "8j;k5< VirtualLab Fusion技术
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