摘要
M&iXdw& f#c}}>V8 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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gPn0-)< x}ZXeqt{{ 建模任务
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@Mya|zb 光栅特性与参数的严格分析
EuHQp7 xZ'C(~t 不同光栅周期下的衍射效率
B/16EuH# n{W(8K6d@[
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iF h7eb/xEto 关于光栅周期选择的考虑
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I?1BGaAA /\e_B6pF< 偏振相关的衍射特性
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6# bTlmcg n:a~=^IV 通过参数优化进行光栅设计
a,fcKe&B J<0sT=/2$ 固定周期的2D参数优化
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O\!'Ds+gX 2D参数优化–设计1
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N~b0 b;e +b_[JP2 2D参数优化–设计2
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k"=*' I\Y N! 制造
公差分析–设计2
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[zl4"|_` 83]m/Iz 变化光栅周期的3D参数优化
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e2fv% UFZOu%Y 制造公差分析
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@8w[Z o~ tYgHJ~1L* 走进
VirtualLab Fusion
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)Ft+eMYti[ $KT)Kz8tF VirtualLab Fusion中的工作流程
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amExZ/ l['p^-I •构造光栅
结构 Q(Yn8t −通过使用界面来配置光栅结构
<H#0pFB [用例]
*Ej;}KSv •分析光栅衍射效率
e ?7NW −光栅级次分析器[用例]
[jCYj0Qf8 •使用参数运行搜索初始解决方案
_B^X3EOc −参数运行文档的使用[用例]
;xUo(^t7> •通过参数优化找到最终设计
Z0v?3v}9^ unqUs08 VirtualLab Fusion技术
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