摘要
.M>g`UW zTW)SX_O 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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1 建模任务
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rk< 3QXv 光栅特性与参数的严格分析
+a74] H" _7N^<'B 不同光栅周期下的衍射效率
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d5l].%~ 3AcCa> 关于光栅周期选择的考虑
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+~'ap'k m *7^w}v+. 偏振相关的衍射特性
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qTrb)95 -"/l)1ox,
G\/7V L "cx#6Bo| 通过参数优化进行光栅设计
4<q'QU#l< 3mH(@-OA 固定周期的2D参数优化
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0)E`6s#M 2D参数优化–设计1
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T56%3i V^qkHm e 2D参数优化–设计2
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sX|bp)Nw &v.Nj9{zi 制造
公差分析–设计2
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BiCC72oig CINC1Ll_24 变化光栅周期的3D参数优化
t{o&$s93 aT20FEZ;
7f#r&~= al{}p 制造公差分析
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$\vTiS' ZFa<{J<2 走进
VirtualLab Fusion
[FN4 _ )sG/H8
3FhkK/@ (#5TM1/A VirtualLab Fusion中的工作流程
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x5"F`T>Y 0)nY- f0 •构造光栅
结构 o.x<h"; −通过使用界面来配置光栅结构
#xe-Yw1! [用例]
@zAav> •分析光栅衍射效率
j6r.HYX! −光栅级次分析器[用例]
C ehz]C •使用参数运行搜索初始解决方案
{aVL3QU −参数运行文档的使用[用例]
L__J(6,V2 •通过参数优化找到最终设计
*8#]3M] PYJ8\XZ1_N VirtualLab Fusion技术
ZG bY :9f/d;Mo3