摘要
Q> d<4]` `|=hl~ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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3mP251"dIW 5TynAiSD_> 建模任务
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{#U3A_y 光栅特性与参数的严格分析
FW=`Fm@z%% JiN>sEAM 不同光栅周期下的衍射效率
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w#qE#g %1 "Sb<"$: 关于光栅周期选择的考虑
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o{[w6^D7 , ;$SRQ. 偏振相关的衍射特性
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ZVIlVuZ} pOq9J7BS 通过参数优化进行光栅设计
4ux^K:z _ci8!PP 固定周期的2D参数优化
2H,n"-9+ SX1w5+p$C
vX;~m7+ 2D参数优化–设计1
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}}b &IA# Um%$TGw5 2D参数优化–设计2
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NTV@, CNM pyr 制造
公差分析–设计2
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M$Or|HTG W&=F<n` 变化光栅周期的3D参数优化
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d$5\{YLy 6Eu"T9( 制造公差分析
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-'Oq.$Qq .azA1@V| 走进
VirtualLab Fusion
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"w&G1kw5I jrN"en VirtualLab Fusion中的工作流程
P$i d? dOFK;
9{&oVt~Y$ krecUpo •构造光栅
结构 OM (D@up −通过使用界面来配置光栅结构
J_7&nIH7 [用例]
Bhf4 /$ •分析光栅衍射效率
cz;gz4d8 −光栅级次分析器[用例]
i1^#TC$x •使用参数运行搜索初始解决方案
k:DAko} −参数运行文档的使用[用例]
RxUzJ •通过参数优化找到最终设计
{w52]5l L4!T VirtualLab Fusion技术
NsF8`rg $E6bu4I