摘要
9[{q5 !pa7]cZ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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vRmzjd~ 8f?o?c| 建模任务
ZnbpIJ8cV j}h%,
7
"}uu-5]3 光栅特性与参数的严格分析
,iiI5FR ?fU{?nI}>p 不同光栅周期下的衍射效率
ieEtC,U M(^IRI-
D_f:D^ 6(Cjak+~! 关于光栅周期选择的考虑
M;-FW5O't H6#SP~V
dZ,7q_r,~ ^*NOG\BK@ 偏振相关的衍射特性
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~8Ef`zL }q/[\3
usugjx^p "g!/^A!!
Y^?PHz'Go 3z
5"Ckzb 通过参数优化进行光栅设计
|[bQJ<v6 &M\qVL%w 固定周期的2D参数优化
\Zk<|T61$ b!;WF
[/cJc%{N 2D参数优化–设计1
8/9YR(H3H Mb%[Qp60
B8-Y)u1G VDy_s8Z# 2D参数优化–设计2
/3`fO^39Ta .w~L0(
^6,}*@ L-3wez;hm 制造
公差分析–设计2
vinn|_s% 0c#|LF_
DVbY
PurY_ 变化光栅周期的3D参数优化
P6ugbq[x#e ~qW"v^<
hcD.-(-;) ukXKUYNm8 制造公差分析
>3ASrM+>w Ef6LBNWY.
1w?DSHe iHOvCrp+X 走进
VirtualLab Fusion
,6\oT;G 8x6{[Tx
'P >h2^z W QyMM@# VirtualLab Fusion中的工作流程
`X wKCI fPsUIlI/A
u&Y1,:hiL `>$l2, •构造光栅
结构 {[FJkP2l −通过使用界面来配置光栅结构
7y>{Y$n [用例]
Bdf]?s[] •分析光栅衍射效率
\E:l
E/y −光栅级次分析器[用例]
$QuSmA<4lS •使用参数运行搜索初始解决方案
:sb+jk −参数运行文档的使用[用例]
\M-$|04Qt •通过参数优化找到最终设计
F|W(_llfM kv/mqKVr VirtualLab Fusion技术
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