摘要
K\Q
1/}) n//a;m 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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q[K)bg{HB 75i)$}_1B 建模任务
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iJeT+} 光栅特性与参数的严格分析
sOmYQ{R ep|u_|sB/r 不同光栅周期下的衍射效率
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omP7| H5)WxsZ R 关于光栅周期选择的考虑
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|lY8u~% '?t{-z, 偏振相关的衍射特性
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\W!<xE &(0);I@fc 通过参数优化进行光栅设计
0c)19Ig b-XBs7OAx 固定周期的2D参数优化
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j^M@0o 2D参数优化–设计1
M:N>{_1& .w&Z=YM
HAXx`r< e2v,#3Q\ 2D参数优化–设计2
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@VFg XN f,*e?9@;s 制造
公差分析–设计2
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6}0#({s:R h 9/68Gc?6 变化光栅周期的3D参数优化
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MwZ`NH|n3" a<Ta *:R$0 制造公差分析
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F-t-d1w6 SU^/qF%8 走进
VirtualLab Fusion
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aG!!z> ;a|A1DmZ VirtualLab Fusion中的工作流程
;X>KP,/r$ ~![R\gps
iJAW| dw} U i;o/Z3 •构造光栅
结构 `S2=LJ −通过使用界面来配置光栅结构
H$ v4N8D8I [用例]
2w%1\TcB$ •分析光栅衍射效率
PGJ?=qXr# −光栅级次分析器[用例]
k0,~wn\#h •使用参数运行搜索初始解决方案
sfH|sp −参数运行文档的使用[用例]
7be?=c)+" •通过参数优化找到最终设计
6sntwT"? |tmD`ndO VirtualLab Fusion技术
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