摘要
7KUf,0D pQ^V<6z} 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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^ @=4HtA RiQg]3oY 建模任务
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{!?M!/d 光栅特性与参数的严格分析
v/~&n 'ks .TS& 不同光栅周期下的衍射效率
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.dxELSV oy[ px9Wx 关于光栅周期选择的考虑
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:YkAp9civ pih 0ME}z 偏振相关的衍射特性
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?5};ONjN hHDLrr 通过参数优化进行光栅设计
};P=|t(r L"S2+F)n 固定周期的2D参数优化
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WL,2<[)Ew 2D参数优化–设计1
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公差分析–设计2
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LLzxCMc9* 3'A0{(b 变化光栅周期的3D参数优化
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s?9Y3]&+&M /yx)_x{ 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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DNqC*IvuzM %WmTG }L) VirtualLab Fusion中的工作流程
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i<tJG{A= ^Ojg}'.Ygv •构造光栅
结构 6<5:m:KE −通过使用界面来配置光栅结构
4
540Lw'A [用例]
6
A#xFPYY{ •分析光栅衍射效率
,BGUIu6 −光栅级次分析器[用例]
8)"lCIf •使用参数运行搜索初始解决方案
8uW%jG3/ −参数运行文档的使用[用例]
tgl 4pAc •通过参数优化找到最终设计
MujEjD "| {t|#>UCK VirtualLab Fusion技术
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