摘要
e@VJ-s 2~hdJ/ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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} 'xGip@W MkFWZ9c3 建模任务
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7Z:3xb&> 光栅特性与参数的严格分析
KB~1]cYMp < w}i 不同光栅周期下的衍射效率
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0^Ldw)C" EwG+' nlE 关于光栅周期选择的考虑
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偏振相关的衍射特性
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;(,GS@sP E l.eK9L 通过参数优化进行光栅设计
@Z$fEG)9 p=[dt 固定周期的2D参数优化
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g- #eMQ%J 2D参数优化–设计1
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4ybOK~z a&[[@1OY 制造
公差分析–设计2
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1: cq\Y "OUY^ cM 变化光栅周期的3D参数优化
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b,HXD~= Np9Pae' 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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]6=opvm uTbMp~cYB VirtualLab Fusion中的工作流程
Y=pRenV' H-5f!>)
OB,T>o@ %u|Qh/?7 •构造光栅
结构 bg4VHT7?>) −通过使用界面来配置光栅结构
&@7|_60 [用例]
/e*<-a •分析光栅衍射效率
:]C\DUBo −光栅级次分析器[用例]
*LmzGF| •使用参数运行搜索初始解决方案
71&`6# −参数运行文档的使用[用例]
WFeaX7\b •通过参数优化找到最终设计
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VirtualLab Fusion技术
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