摘要
[U>@,BH -'`TL$ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Kv37s0|g %<"}y$J 建模任务
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?WUF!Jk 光栅特性与参数的严格分析
!z 53OT! Tlq-m2] 不同光栅周期下的衍射效率
1TS0X:TCn MP^ d}FL
R\mR $\cS ]5Qy 关于光栅周期选择的考虑
26 I p =(@3%k
\3Pv# ) FOwnxYGVf 偏振相关的衍射特性
!345 %, DC+b=IOz
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>&,[H:Z :s={[KBP
31WC=ur5 @{hd{>K* 通过参数优化进行光栅设计
q%(EYM5Y C NsNZJ 固定周期的2D参数优化
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%FZ2xyI. 2D参数优化–设计1
2I/xJ+ %" D%:
5U`ZbG =,y |00l 2D参数优化–设计2
JyL a#\ R hR#-u1C
~y HU^5D =U8Ek;Drp 制造
公差分析–设计2
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O7d$YB_' j/`94'Y 变化光栅周期的3D参数优化
p)aeH`;O %`MQmXgM
ldha|s.* pM;vH]| 制造公差分析
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+1-B 走进
VirtualLab Fusion
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3E3U /K `?T#Hl>j VirtualLab Fusion中的工作流程
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r{\1wt o[oM8o< •构造光栅
结构 L`f^y;Y. −通过使用界面来配置光栅结构
1"Z@Q`} [用例]
+#U|skl •分析光栅衍射效率
!+>v[(OzM −光栅级次分析器[用例]
=4V&*go*\ •使用参数运行搜索初始解决方案
^;!0j9"*: −参数运行文档的使用[用例]
,B?~-2cCz •通过参数优化找到最终设计
1b=lpw1} W} WI; cI VirtualLab Fusion技术
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