摘要
#sM`>KG6T1 pPsT,i? 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
CWY-}M yIYQ.-DkS+
_|VF^\i %Hu?syo 建模任务
ex6QHUQ ^?5HagA
#Oi{7~ 光栅特性与参数的严格分析
_qa9wK/ 10IX84 不同光栅周期下的衍射效率
*BHp?cn;F2 R4vf
t Z@OAPRx {5Sy=Y 关于光栅周期选择的考虑
~@mNR^W-W 9";qR,
bXi(]5 3/V0w|ZgD 偏振相关的衍射特性
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V- H5Bh?mw2
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IoZ_zz0 ~J HEr48
bT15jNa >|aVGY 通过参数优化进行光栅设计
m:6*4_! ,H>'1~q 固定周期的2D参数优化
5Nl?Km~ J,:Wv`N:9~
.z[#j]k 2D参数优化–设计1
[ji')PCAi; 08+\fT [
dkg|
kw' -ImVXy]? 2D参数优化–设计2
@,m 7%, t:"%d9]
+GncQs
y =q}Z2 OoYh 制造
公差分析–设计2
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*!pn6OJ"Q}
Clb7=@f 变化光栅周期的3D参数优化
m-bu{ o)n=n!A
-S#jOr <99/7># 制造公差分析
{YG qa$+\ p8FXlTk
wjXv{EsMq Nw{Cu+AwG 走进
VirtualLab Fusion
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2fg
P Z*Rgik VirtualLab Fusion中的工作流程
%C_c%3d h>F"GR?U_(
p3>Md?e rv`GOta* •构造光栅
结构 R90#T6^ −通过使用界面来配置光栅结构
4'TssRot@h [用例]
=;(L$:l~ •分析光栅衍射效率
}0?XF/e(R −光栅级次分析器[用例]
Z/T(4 •使用参数运行搜索初始解决方案
I^HwXp([ −参数运行文档的使用[用例]
t37<<5A •通过参数优化找到最终设计
#lO ^PK 7Ck3L6J# VirtualLab Fusion技术
`"o{MaFA /P Tq.