摘要
S rH::-{ U]}F A2 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
;`^_9
K /ojx$Um
LU;zpXg\ DN)o|p 建模任务
7_PY%4T" 9QX!HQ|5y8
q#AIN`H
光栅特性与参数的严格分析
9[JUJ,#X'0 = r/8~~= 不同光栅周期下的衍射效率
|hj!NhBe a T(]
4Cu\|"5) 'm`}XGUBS 关于光栅周期选择的考虑
7w2$?k',- R~iv%+
9,~7,Py } mWYrUI 偏振相关的衍射特性
M.,DXEZT sgP{A}4 W
hFm^Fy[R f8[O]MrO;
LDEc}XXb O$r/{{I.
y akRKiz\ 0ZwXuq 通过参数优化进行光栅设计
niCK(&z "[P3b"=gW 固定周期的2D参数优化
smfI+Z S" *]HnFP
<$ssU{5 2D参数优化–设计1
UH6 7<_mK &*"*b\
[m{sl(Q VO eVS&} 2D参数优化–设计2
s!?uLSEdb ^?H|RAp
Dfzj/spFV @%x2d1FS 制造
公差分析–设计2
Lfi6b%/z BVeMV4
^wWbW&<Tg Q;VuoHj! 变化光栅周期的3D参数优化
Z6${nUX C`t@tgT
uarfH]T{ L~t<
0\r 制造公差分析
sw}O g`U QPB,B>Z
5\z<xpJ siI%6Gn; 走进
VirtualLab Fusion
In_"iEo, 3%?tUt
F^bY]\-5 % Q6
za'25 VirtualLab Fusion中的工作流程
B2j1GJEO Q*T'tkp
bD ,X. [s[ZOi!;I •构造光栅
结构 R6(:l;
W −通过使用界面来配置光栅结构
aA#79LS [用例]
-MS#YcsV •分析光栅衍射效率
"&k(lQ4 −光栅级次分析器[用例]
V>T?'GbS •使用参数运行搜索初始解决方案
HuTtp|zM> −参数运行文档的使用[用例]
-JgNujt#9 •通过参数优化找到最终设计
8lpAe0p(Z +`GtZnt# VirtualLab Fusion技术
GqR XNs! A`Dx]y