摘要
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B eqf~5/Z 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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zvtxX* O~Fk0}- 建模任务
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plIx""a^h 光栅特性与参数的严格分析
AdYQhF## }N|/b"j9 不同光栅周期下的衍射效率
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2bC%P})m a$|u!_)!h 关于光栅周期选择的考虑
d!X?R} UCWU|r<s,
enrmjA&3 .R"L$V$RU. 偏振相关的衍射特性
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j w462h Y'~&%|9+T
P3|<K-dFAK [eN{Ft0x
)K6{_~Kc\ m{yON&y 通过参数优化进行光栅设计
!58JK f !Ch ya 固定周期的2D参数优化
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srkOad 2D参数优化–设计1
M:$nL ?C{N0?[P-
TDGzXJf[ Z}C%%2Iz 2D参数优化–设计2
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jdp:G G<eJ0S 制造
公差分析–设计2
BYf"l8^, lTP02|eK
<i6M bCB eH8.O 变化光栅周期的3D参数优化
k}.nH"AQ u2Obb`p S
. gJKr p'4P2 制造公差分析
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D=vq<X' .#J3UZ 走进
VirtualLab Fusion
CQ[-Cp7 6hq)yUvo4
nSiNSLv %R>S" VirtualLab Fusion中的工作流程
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Fm':sd)'X SI9hS4<j •构造光栅
结构 <k6xScy$} −通过使用界面来配置光栅结构
bYc qscW [用例]
xn8B|axB •分析光栅衍射效率
R2`g?5v −光栅级次分析器[用例]
S/;Y4o •使用参数运行搜索初始解决方案
1n"X?K5;A −参数运行文档的使用[用例]
Q^rW^d •通过参数优化找到最终设计
E}=NZqOB! #^ #i]{g VirtualLab Fusion技术
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