摘要
nV/8u_ ;E,^bt<U 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
rGa@!^hk NC]]`O2r@
T@K=
*p 12 {F 建模任务
91I6-7# Xt 36]pE<
c@SNbY4}% 光栅特性与参数的严格分析
k2bjBAT Y-Iu&H+\ 不同光栅周期下的衍射效率
^?+qNbK \<e?
z@bq*':~J qq
Vjx?bKe 关于光栅周期选择的考虑
u^6@!M %}.4c8
F~bDA~ pm2-F] 偏振相关的衍射特性
HgGwV;W ?<F=*eS
I{bDa'rX $,Eb(j
3(2WO^zX { /Pbytu);ds
3o_)x WD/\f$4 通过参数优化进行光栅设计
]izrr }Z="}Dg|T 固定周期的2D参数优化
;s* 9f(0
qa
HZASIsl 2D参数优化–设计1
?g{--'L _+sb~
k kZ2Jxvx Sb4^*
$uz 2D参数优化–设计2
N_:H kI6 MZ2/ks
h 8%(,$* v9,<2 制造
公差分析–设计2
hQeGr2gMq &nV/XLpG
T\ *#9a uI9eUO 变化光栅周期的3D参数优化
#r|qitL3 bIXudE[8zq
DX2_}|$! >^=;b5I2K 制造公差分析
m&PB5s\= bmOK8
zAW+!C. C6?({
QB@ 走进
VirtualLab Fusion
f7lt|.p $+k|\+iJ
ybC0Ee@ ~|lEi1| VirtualLab Fusion中的工作流程
<~ Dq8If A_!N,<-
U#iGR5&^3 uIy$|N •构造光栅
结构 }>5R9 −通过使用界面来配置光栅结构
bJ"}-s+Dx [用例]
.9u0WP95 •分析光栅衍射效率
|EGC1x]j= −光栅级次分析器[用例]
<(!~s><. •使用参数运行搜索初始解决方案
n2(`O^yd7C −参数运行文档的使用[用例]
Ia[4P8Z •通过参数优化找到最终设计
2/iBk'd 1!%T<!A. VirtualLab Fusion技术
q)l1tC72 u?F^gIw