摘要
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_v:?A9 30T)!y 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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>$/>#e~ XrGglBIV 建模任务
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B!L{ 光栅特性与参数的严格分析
!Pfr,a L2i_X@/ 不同光栅周期下的衍射效率
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j[J-f@F \Y i#Bf"W{F 关于光栅周期选择的考虑
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XnMvKPerv' kxIF#/8 偏振相关的衍射特性
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4-y:/8 aa/(N7 通过参数优化进行光栅设计
\\H}`0m: &>W$6>@ 固定周期的2D参数优化
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WH@,kH@ 2D参数优化–设计1
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J7Hl\Q[D1 @&3EJ1 2D参数优化–设计2
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m{cGK`/\ CMG&7(MR 制造
公差分析–设计2
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$)ijN^hV o!Ieb 变化光栅周期的3D参数优化
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:vqgGKml$ Ls$D$/:q? 制造公差分析
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O1U= X:Zl Kp~VS<3 走进
VirtualLab Fusion
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Ky!Y" i$:*Pb3mV VirtualLab Fusion中的工作流程
c"n\cNP< nn:.nU|I
L~rBAIdD p;59? •构造光栅
结构 ^w@%cVh −通过使用界面来配置光栅结构
]}-7_n#cC [用例]
^T;*M_ •分析光栅衍射效率
7uS~MW −光栅级次分析器[用例]
+`7i'ff •使用参数运行搜索初始解决方案
:Ij{s −参数运行文档的使用[用例]
Jr
,;>
•通过参数优化找到最终设计
n.`($yR_ {W=%U|f VirtualLab Fusion技术
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