摘要
m]DjIs*@%h +[F9Q,bH@b 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
{UPIdQ'g ,bH
5Cz:$-+ j:sac*6m 建模任务
;w6\r!O, :nXBw%0x
]}5jX^j 光栅特性与参数的严格分析
GzR;`,_O/ 9td(MZ%i~N 不同光栅周期下的衍射效率
-nd6hx u?'X%'K*
J J3vC NKI&n]EO 关于光栅周期选择的考虑
nwkhGQ .#Sd|C]R7
gXfAz, q&W#nWBV 偏振相关的衍射特性
C]):+F<7 H[G EAQO
6 8_UQ. @\q~OyV
om/gk4S2 Hv
IN'
i$NnHj| }3i@5ctQ 通过参数优化进行光栅设计
>5N}ZIN @rJ#Dr 固定周期的2D参数优化
j1d=$'a " ( Rf)&KN
iFDQnt
[t 2D参数优化–设计1
(>Yii_Cd "xO`&a{
(<<eHf,@ fcBSs\\C~ 2D参数优化–设计2
WW_X:N~~e\ d6n6 =
[*
0loC^\f ; 6zu! 制造
公差分析–设计2
yqYX<<!V Ri3m438
EfUo<E vLC&C-f 变化光栅周期的3D参数优化
hFjW.~B Y/hay[6
,onv
` );*GOLka 制造公差分析
{:dE_tqo C1nQZtF R
O4#zsr:" ov+qYBuFw 走进
VirtualLab Fusion
-^Lj~O mPh;
MdKZH\z/ !6}Cs3. VirtualLab Fusion中的工作流程
TRiB|b]8Q# ^:q(ksssY
$C>EnNx Gah e-%J •构造光栅
结构 C8jZcs#4 −通过使用界面来配置光栅结构
- Z|1@s& [用例]
t3WlVUtq3 •分析光栅衍射效率
JxWHrsh[ −光栅级次分析器[用例]
yQW\0&a$
•使用参数运行搜索初始解决方案
EHb:(|UA%8 −参数运行文档的使用[用例]
o60wB-y •通过参数优化找到最终设计
+Q '|-># n}+
DO6J VirtualLab Fusion技术
{jl4` Vy?w,E0^: