摘要
nm%4L i|! 9o: 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
7^Q$pT> GlkAJe]
= ,E(!Sp sN an" 建模任务
eRWF7`HH+ Fq\`1Ee{
t2%bHIG} 光栅特性与参数的严格分析
mjr{L{H=?+ wQ/@+$> 不同光栅周期下的衍射效率
tFP;CW!E \iTPJcb5
?+JxQlVDt- wP *a>a 关于光栅周期选择的考虑
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[q|Q]O0 g7q]Vj 偏振相关的衍射特性
|\L,r}1N q8yJW-GA
`0gK;D8t K#pt8Q
B
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)k<~}wvQ0 l4.@YYzbp. 通过参数优化进行光栅设计
n7YWc5:CaL :usBeho 固定周期的2D参数优化
we).8%)' )RKhEm%Vr2
DB=cc 2D参数优化–设计1
HC, 0"W g,]5&C T3v
Vy"^]5 vM;dPE7 2D参数优化–设计2
kFs kn55 H;8]GE2n
Kpbber T%#P??k 制造
公差分析–设计2
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>" 8j{s 9 7qS.Z27 变化光栅周期的3D参数优化
rnr8t] e<wj5:M|
*LQY6=H ?mUu(D:7D 制造公差分析
':>*=& S#z8H+'
y:Ab5/bHy vF\zZ<R/ 走进
VirtualLab Fusion
j`pR;XL1[ %QZ!Tb
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Uk;xV -L<Pm(v& VirtualLab Fusion中的工作流程
]xeyXw84k L2A#OZZu
r6_a%A* FPFYH?;$ •构造光栅
结构 DLM9o3/*J −通过使用界面来配置光栅结构
Qz$Dv@*y\ [用例]
< tq9 •分析光栅衍射效率
;;H:$lx −光栅级次分析器[用例]
&Rt]K •使用参数运行搜索初始解决方案
0PbIWy' −参数运行文档的使用[用例]
z=pV{' •通过参数优化找到最终设计
p&M'DMj+ 6-YR'ikU VirtualLab Fusion技术
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