摘要
iB0#Z_ ,UE>@;] 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
2n|]&D3V"' |jT^[q(z
' En|-M5 &K@ RTgb 建模任务
rD":Gac ]sL)[o
+2?=W1` 光栅特性与参数的严格分析
PTZ/jg@71 o{r<=X ysM 不同光栅周期下的衍射效率
L$rMfeS ?vn9HhTD
_ 0g\g~[ >A_:qyGk 关于光栅周期选择的考虑
_G0_<WH6 yNc"E
IVdM}"+ JDp{d c 偏振相关的衍射特性
sfKu7p uc "`q:
K0xka[x=( 9?J
3G,&
tkjQSz (u:^4,Z
F(}~~EtPHo 43m@4Yb 通过参数优化进行光栅设计
|f IIfYE h}$g}f%$+ 固定周期的2D参数优化
=R6IW,* 7G]v(ay
'^10sf`" 2D参数优化–设计1
rK@XC +`S HY!R |
u(W+hdTap= [ ~&yLccN 2D参数优化–设计2
4-vo R5Fd X"Ca
hI>vz"J `WRM7 制造
公差分析–设计2
,*MAteD o7i>D6^^
,$A'Y }p|S3/G?$! 变化光栅周期的3D参数优化
bo|3sN+D iKM!>Fi
:}* $s]vZ(H 制造公差分析
@^cR wSd|-e
tN1xZW: 1Wr,E#+C 走进
VirtualLab Fusion
,7h0y !fmbm4!a
cKEDRX3 *YO^+]nmY VirtualLab Fusion中的工作流程
a${<~M
hm \`U=pZJ
aDZ,9} 'B\7P*L"p •构造光栅
结构 SUC'o" −通过使用界面来配置光栅结构
F?+\J =LT [用例]
mJNw<T4!/ •分析光栅衍射效率
'zhv#&O −光栅级次分析器[用例]
E! GH$%:; •使用参数运行搜索初始解决方案
;V0^uB.z −参数运行文档的使用[用例]
cw"Ou% •通过参数优化找到最终设计
w<&R|= 93 8vqx}2 VirtualLab Fusion技术
^V7'S< z3Zo64V~7