[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 d7^XP  
<Ab:yD`K!  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 : m5u=:t  
1UM]$$:i  

图片:1-20021G15353423.png

J/<`#XZB   
BWPYHWW}E  
建模任务 >A,WXzAK}S  
E+1j3Q;  

图片:1-20021G15419564.png

Lv^j l  
光栅特性与参数的严格分析 17i^|&J6}:  
;%Da {  
不同光栅周期下的衍射效率 ?*s!&-KI  
GO)rpk9  

图片:1-20021G15602G5.png

BkZ%0rw%  
`
p?E{k.N  
关于光栅周期选择的考虑 kx=AX*I  
tJu<#hX  

图片:1-20021G15641J8.png

R$@.{d&:w  
{PVu3W  
偏振相关的衍射特性 _(z"l"l=$  
O^xt  

图片:1-20021G15G0159.png

=5|5j!
i=q  
5?fk;Q9+\  

图片:1-20021G15I2201.png

2DC#PX)i  
8Cqs@<r4Od  

图片:1-20021G15P2594.png

u=l(W(9=  
y^A$bTQq  
通过参数优化进行光栅设计 k`AJ$\=  
OWjZ)f/  
固定周期的2D参数优化 /< :;^B  
F:@Ixk?E  

图片:1-20021G15RaL.png

&rd(q'Vi  
2D参数优化–设计1 @ubz?5  
c~'kW`sNV  

图片:1-20021G15Z4258.png

J9 =gv0
 
@ tIB'|O  
2D参数优化–设计2 "n6Y^  
w?tKL0c  

图片:1-20021G20004394.png

;gMh]$|"  
709eLhXrH  
制造公差分析–设计2 4r. W:}4:  
m%V[&"5%e  

图片:1-20021G2002JX.png

0|ps),  
ZH(.|NaH  
变化光栅周期的3D参数优化 _'7/99]4g}  
^8
m+*t  

图片:1-20021G20100c0.png

]2(c$R
 
'mcJ/9)v  
制造公差分析 1pb;A;F,A  
S2R[vB4).  

图片:1-20021G20120954.png

6\3k0z  
Ds87#/Yfv  
走进VirtualLab Fusion ~{+{pcO}  
upDQNG>d  

图片:1-20021G20141219.png

[j?<9  
%&Cl@6  
VirtualLab Fusion中的工作流程 Ln_l>X6j51  
L)}V[j#  

图片:1-20021G20205237.png

DH !Br  
+_eb*Z`5o  
•构造光栅结构 JC"K{V{  
−通过使用界面来配置光栅结构 psC7IE<v  
[用例] WO-WoPO  
•分析光栅衍射效率 'u[o`31.  
−光栅级次分析器[用例] fqb$_>3Ol  
•使用参数运行搜索初始解决方案 8q3TeMYV  
−参数运行文档的使用[用例] .dCP8|  
•通过参数优化找到最终设计 $t$f1?  
RC(D=6+[C  
VirtualLab Fusion技术 ikhX5 &e  
&XRFX 5gP  

图片:1-20021G2025W62.png