摘要
}UGPEf\ 82)d.> 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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e('c9 Y aYj3a;EmU 建模任务
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iD(K*[;lc 光栅特性与参数的严格分析
s\jLIrG8 4UL-j 不同光栅周期下的衍射效率
II<<-Y6 iqoPD4A
_u:#2K$ >leOyBEAR 关于光栅周期选择的考虑
IeU.T@ $ p-7dJ
e8lF$[i 95!xTf 偏振相关的衍射特性
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2hpx%H &1[5b8H;+ 通过参数优化进行光栅设计
7CIje=u.q J`mp8?;% 固定周期的2D参数优化
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1_p'0lFe 2D参数优化–设计1
+.R-a+y3 A!f0AEA,
d)G-K+&B b]Y,& 8}[+ 2D参数优化–设计2
pj )I4C) u3ZG;ykM
n)=&=Uj`f /d=$,q1 制造
公差分析–设计2
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?eO|s5r ;|^fAc~9{r 变化光栅周期的3D参数优化
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t!=S[ g&bO8vR= 制造公差分析
Qpc{7#bp )} #r"!
}F.1j!71L +\ySx^vi 走进
VirtualLab Fusion
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E.6\(^g bk?\=4B:E VirtualLab Fusion中的工作流程
]@P*&FRcZ s_[?(Ip{
QCo^#- l>iU Q&V •构造光栅
结构 r%#qbsN −通过使用界面来配置光栅结构
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nW@a [用例]
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#7 •分析光栅衍射效率
eXd(R>Mx −光栅级次分析器[用例]
%;5hHRA •使用参数运行搜索初始解决方案
G#V22Wca8 −参数运行文档的使用[用例]
J53;w:O •通过参数优化找到最终设计
hJ<2bgQo dF,FH- VirtualLab Fusion技术
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