摘要
JJvf!] ^ExA 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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ez2 gy" ,_66U;T 建模任务
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8F$b/Z 光栅特性与参数的严格分析
e JMD8# ub"(,k P 不同光栅周期下的衍射效率
CfMq?.4%E} TtL2}Wdd.%
7'[C+/: HQ%-e5Q 关于光栅周期选择的考虑
$*| :A (D'Z4Y
L3Leb%,! n6gYZd 偏振相关的衍射特性
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fhu-YYJt [aF?1KxNMt
]MkZ1~f7 u7u8cVF 通过参数优化进行光栅设计
U[zY0B R
v9?<] 固定周期的2D参数优化
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=*.Nt*;; 2D参数优化–设计1
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dbkccO}WB }DTpl?l 2D参数优化–设计2
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8T'=lTJ ,ZcW+! 制造
公差分析–设计2
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I)ub='+&; omM*h{z$$ 变化光栅周期的3D参数优化
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Qgg|; 制造公差分析
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&I.UEF2, Nt#zr]Fz 走进
VirtualLab Fusion
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)t{oyBT "G P!]3t VirtualLab Fusion中的工作流程
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wJJ4F$"b Vg/{;uLAe •构造光栅
结构 w[z^B& −通过使用界面来配置光栅结构
*
B,D#;6 [用例]
9^J8V]X •分析光栅衍射效率
]{Vq; −光栅级次分析器[用例]
)J8dm'wH92 •使用参数运行搜索初始解决方案
@L^2VVWk^ −参数运行文档的使用[用例]
\pZ,gF;y •通过参数优化找到最终设计
l?~SH[V 9i WDEk VirtualLab Fusion技术
ilQR@yp* ,+P!R0PNH