[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 I+%[d^,  
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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 5Md=-,'J!  
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建模任务 BM%e0n7  
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光栅特性与参数的严格分析 |sJ[0z  
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不同光栅周期下的衍射效率 ,8S/t+H  
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关于光栅周期选择的考虑 SB;&GHq"n  
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偏振相关的衍射特性 n*R])=F@c  
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通过参数优化进行光栅设计 Hck]aKI+  
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固定周期的2D参数优化 2jA{SY-  
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2D参数优化–设计1 ^rB8? kt  
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2D参数优化–设计2 {UX!go^J  
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制造公差分析–设计2 *l(7D(#  
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变化光栅周期的3D参数优化 vRYQ{:  
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制造公差分析 }g@v`5  
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走进VirtualLab Fusion A\*>TN>s  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 %6t
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•构造光栅结构 !@5 9)  
−通过使用界面来配置光栅结构 ^23~ZHu  
[用例] 5frX  
•分析光栅衍射效率 ~kV/!=  
−光栅级次分析器[用例] d.aS{;pse  
•使用参数运行搜索初始解决方案 a6ekG YW  
−参数运行文档的使用[用例] M+oHtX$  
•通过参数优化找到最终设计 I !- U'{  
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VirtualLab Fusion技术 \a<wKTkn  
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