摘要
L(<*)No Wx}8T[A} 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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St@ 建模任务
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,/%=sux 光栅特性与参数的严格分析
+b<FO+E_ ;>yxNGV` 不同光栅周期下的衍射效率
y/{fX(aV ZRB)uA)5=
Q5`*3h6p= Y|f[bw 关于光栅周期选择的考虑
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-t'jNR' =_2jK0+}l 偏振相关的衍射特性
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[/M/ b9J_1Gl] 通过参数优化进行光栅设计
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yG: 固定周期的2D参数优化
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QUc= &5 % 2D参数优化–设计1
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v5#jZ$<F D9=KXo^ 2D参数优化–设计2
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x.!V^HQSN {0wIR_dGX 制造
公差分析–设计2
O|{d[eX 4K#>f4(U`g
5h=}j .+3g*Dv{& 变化光栅周期的3D参数优化
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@]%IK(| 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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oi _ @NL;w:! VirtualLab Fusion中的工作流程
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jUYWrYJ 'j8:vq^d •构造光栅
结构 <e=#F-DE −通过使用界面来配置光栅结构
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[ [用例]
{0Yf]FQb-a •分析光栅衍射效率
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mw\: −光栅级次分析器[用例]
!21FR* •使用参数运行搜索初始解决方案
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"n −参数运行文档的使用[用例]
B[Ku\A6& •通过参数优化找到最终设计
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