[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 q] eSDRW  
)xYv$6=  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 m&(yx|a4+  
*&]x-p1m  

图片:1-20021G15353423.png

eJFGgJRIvF  
I%.KFPV  
建模任务 t>p!qKrE'J  
chv0\k"'  

图片:1-20021G15419564.png

3#o!K  
光栅特性与参数的严格分析 1sKKmtgH  
V~ph1Boz2  
不同光栅周期下的衍射效率 HO%atE$>  
-S5M>W.Qb{  

图片:1-20021G15602G5.png

__<u!;f  
<Hw)},_*  
关于光栅周期选择的考虑 q y"VrR  
a'=C/ s+  

图片:1-20021G15641J8.png

<20rxOEnf  
VU
6nu4  
偏振相关的衍射特性 6) {jHnk)  
7 \)OWp  

图片:1-20021G15G0159.png

+NL^/y<;  
PF5;2  

图片:1-20021G15I2201.png

{?tK]g#  
"'/:Tp)  

图片:1-20021G15P2594.png

l1BbL5#1Q>  
$@k[Xh  
通过参数优化进行光栅设计 JRQ{Q"`)  
:l<)p;\  
固定周期的2D参数优化 NMq#D$T  
J-C3k`%O  

图片:1-20021G15RaL.png

.XD7};g  
2D参数优化–设计1 *((wp4b  
o|#Mq"od  

图片:1-20021G15Z4258.png

^wesuW@=  
m>dZ n  
2D参数优化–设计2 ?Ne@OMc  
+%vBDcf  

图片:1-20021G20004394.png

+76{S_CZ  
242dT/j  
制造公差分析–设计2 n^<3E; a  
x
;A"S  

图片:1-20021G2002JX.png

ie4keVlXc  
Uawf,57v<  
变化光栅周期的3D参数优化 fh~"A`d  

D5
]4(]k&  

图片:1-20021G20100c0.png

Q(@/,%EF  
01v7_*'R  
制造公差分析 n#@/A  
Da_8Q(XFe  

图片:1-20021G20120954.png

7w}D2|+  
{ctEjgiE  
走进VirtualLab Fusion ~x<nz/^  
VrL==aTYXs  

图片:1-20021G20141219.png

BQYj"Wi  
huh-S ,M  
VirtualLab Fusion中的工作流程 "E`;8SZa  
9=,^^,q  

图片:1-20021G20205237.png

^`b&fbv  
|Z%I3-z_DS  
•构造光栅结构 }$DLa#\-  
−通过使用界面来配置光栅结构 Q\(VQ1c  
[用例] (!FUu  
•分析光栅衍射效率 z@!zQ Vp  
−光栅级次分析器[用例] `J*~B  
•使用参数运行搜索初始解决方案 >:W7f2%8`  
−参数运行文档的使用[用例] TBq;#+1W  
•通过参数优化找到最终设计 f:$LVpXS-  
w)x`zVwO  
VirtualLab Fusion技术 !'uLV#YEZ  
ENu`@S='I3  

图片:1-20021G2025W62.png