摘要
%<8?$-[ 5w~ 0Q 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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e 建模任务
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=oq= ``% 光栅特性与参数的严格分析
n@H;*nI| EqBTN07dZS 不同光栅周期下的衍射效率
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sSk qU X]2x0 关于光栅周期选择的考虑
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|}8SjZcQW pKLNBR| 偏振相关的衍射特性
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Xwu&K8q21 NU'2QSU8 通过参数优化进行光栅设计
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[ 固定周期的2D参数优化
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6wbH{}\ll 2D参数优化–设计1
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0ap'6 9D,!] 2D参数优化–设计2
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*c%{b3T_ g-ZXj4Ph! 制造
公差分析–设计2
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C7AD1rl iv],:|Mbd 变化光栅周期的3D参数优化
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VirtualLab Fusion
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@J qo'\~& +7AH|v8 VirtualLab Fusion中的工作流程
([^f1;ncm @CxgoX^
4#:Eq=(W #W.vX=/* •构造光栅
结构 yc`3) −通过使用界面来配置光栅结构
@,2,(=l*C [用例]
<5#2^ ( •分析光栅衍射效率
\P"Ol\@ −光栅级次分析器[用例]
-0]%#(E%`h •使用参数运行搜索初始解决方案
&m\Uc −参数运行文档的使用[用例]
5:5d=7WX •通过参数优化找到最终设计
h qhX 9%"\s2T VirtualLab Fusion技术
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