摘要
3Pw%[q=g -Y5YCY!` 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
ee4KMS 7[(Lrx.pM
L{4),65 3U :YA&K( 建模任务
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ay!6T`U` 光栅特性与参数的严格分析
0[_O+u ;P0,60 不同光栅周期下的衍射效率
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y]!%r' WRN8#b
=vB]*?;9 )*q7pO\cty 关于光栅周期选择的考虑
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!Qj)tS#Az a>-}\GXTA 偏振相关的衍射特性
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+H2m< G.A=hGw
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__oY:d(~ LS R_x$G+t 通过参数优化进行光栅设计
%OezaNOtm <-Kb@V3 固定周期的2D参数优化
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=rf)yp-D 2D参数优化–设计1
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Y&1!Z*OL; yH0yO*RZ 2D参数优化–设计2
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;L\!g%a !9ceCnwbNN 制造
公差分析–设计2
S\yu%=h >uP{9kDm
JN;TGtB^p U#UVenp@ 变化光栅周期的3D参数优化
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z-t{ ZYl-p]\*y 制造公差分析
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S gnKU\>2k
WNF=NNO-R )Bm^aMVl3 走进
VirtualLab Fusion
vMW-gk z$8e6*
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3f VirtualLab Fusion中的工作流程
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y<'2BTf $Nt]${0 •构造光栅
结构 SzgY2+Qq −通过使用界面来配置光栅结构
G}9bCr, [用例]
.H[Lo> •分析光栅衍射效率
XSHwE)m −光栅级次分析器[用例]
Hjo:;s •使用参数运行搜索初始解决方案
D/!eov4" −参数运行文档的使用[用例]
4/mj"PBKL •通过参数优化找到最终设计
q)z1</B- 9^C!,A{u4 VirtualLab Fusion技术
~YT>:Np &a2V-|G',