摘要
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r1I[W' OEdJc\n_R 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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8GJdRL( Kex[ >L10G 建模任务
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F{k+7Ftc 光栅特性与参数的严格分析
h%d^Gq~ i5hD# 不同光栅周期下的衍射效率
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<<MjC5 T0j2a&Pv 关于光栅周期选择的考虑
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~Pk0u{,4XQ !- C' } 偏振相关的衍射特性
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Al)$An- Q/_[--0
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@-.? B mkvvNm3 通过参数优化进行光栅设计
Ex@`O+ y_F}s9wj 固定周期的2D参数优化
@^nu#R @%tXFizh
.R44$F 2D参数优化–设计1
A3P9.mur ~pP0|B*%
zLjgCS<7 t7#lsd`_ 2D参数优化–设计2
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8?TKN~ja J$uM 03 制造
公差分析–设计2
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8)
:x>T}C<Y :,]S}R 变化光栅周期的3D参数优化
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5P^ U_ sn\;bq 制造公差分析
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K\=8eg93Z vX1uR]A[ 走进
VirtualLab Fusion
QrjDF> (*^DN{5
vx 0UoKX ?_4^le[; VirtualLab Fusion中的工作流程
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&W_th\% /J%do]PDl •构造光栅
结构 'qeP6}M −通过使用界面来配置光栅结构
-Q[g/% [用例]
4KIWb~0Y •分析光栅衍射效率
0%Q9}l#7 −光栅级次分析器[用例]
Y^lQX~I2{ •使用参数运行搜索初始解决方案
N)OCSeh −参数运行文档的使用[用例]
TL-i=\{L:d •通过参数优化找到最终设计
H:}}t]E }Jxq'B VirtualLab Fusion技术
u*R7zY }5S2p@W)