摘要
,IvnNnl2 {&j{V-}f 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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X- 建模任务
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,,j=RG_ 光栅特性与参数的严格分析
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NF= 不同光栅周期下的衍射效率
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<!nWiwv !'t2 关于光栅周期选择的考虑
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(C_o^_I: =gv/9ce)3 偏振相关的衍射特性
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A;nmua-Fv |0!97*H5 通过参数优化进行光栅设计
Gqc6).tn 8GZjIW*0oq 固定周期的2D参数优化
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!Jp.3,\?~ 2D参数优化–设计1
cMk%]qfVo8 Llc|j&yHQ
D>^ix[:J G[-jZ 2D参数优化–设计2
"J:NW_U )g<qEyJR
T.dO0$,Q@$ Kd1\D!#!6 制造
公差分析–设计2
`B0*/ml !D5`8
3VBV_/i; b!P;xLcb 变化光栅周期的3D参数优化
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`IQC\DSl/ m Dq,, 制造公差分析
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#%&D L%s""nP 走进
VirtualLab Fusion
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[B<{3*R_ bxHk0w VirtualLab Fusion中的工作流程
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•构造光栅
结构 %LW~oI. −通过使用界面来配置光栅结构
rt;>pQ9, [用例]
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Y* •分析光栅衍射效率
NFPkK?+ −光栅级次分析器[用例]
5Ozj&Zq •使用参数运行搜索初始解决方案
I2Q?7p −参数运行文档的使用[用例]
50`r}s} •通过参数优化找到最终设计
']Y:gmM" Ob+c*@KiW VirtualLab Fusion技术
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