摘要
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ts!aKx 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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#e2 69FwN E'6P>6l5 建模任务
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Jc^ozw 光栅特性与参数的严格分析
ulo7d1OVkJ v 8a 不同光栅周期下的衍射效率
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4aKy]zPoE X&X')hzIt 关于光栅周期选择的考虑
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XhV"<&v !iOu07<n&D 偏振相关的衍射特性
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[~S0b HX*U2<^ 通过参数优化进行光栅设计
ohk =7d.' -. {7;6:(k 固定周期的2D参数优化
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V. 2D参数优化–设计1
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!IM DLZ63' 2D参数优化–设计2
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>=Veu; A OYy8u{@U: 制造
公差分析–设计2
)\^OI:E gO36tc:ce
u e~1144 >TgO|mq 变化光栅周期的3D参数优化
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2e&Zs%u ~8K~@e $./ 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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xhv)rhu@ mc$dR,
H0 VirtualLab Fusion中的工作流程
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JdnZY.{S0 EP
@=i •构造光栅
结构 LT!4pD:a −通过使用界面来配置光栅结构
5UqCRz<,R [用例]
%3cBhv[q4 •分析光栅衍射效率
<W1!n$V ] −光栅级次分析器[用例]
WA+v&*] •使用参数运行搜索初始解决方案
@eul~%B{X −参数运行文档的使用[用例]
MLJ8m •通过参数优化找到最终设计
cuHs`{u@P #"jWPe,d VirtualLab Fusion技术
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