摘要
1:h{(
%`& !C]0l 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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KAVe~j" ];P$w.0 建模任务
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Y3KKskhLx 光栅特性与参数的严格分析
z UN&L7D P(D0ru 不同光栅周期下的衍射效率
CT(VV6I\ In<L?U?([D
kcGs2Y_*& {>$i)B 关于光栅周期选择的考虑
= m]|C1x pxy=edd
VSns_>o ZZ|a`U 偏振相关的衍射特性
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o,}`4_N|| <\40?*2 通过参数优化进行光栅设计
/E8{:>2 ,tqMMBwC~_ 固定周期的2D参数优化
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)%H@.;cD_r 2D参数优化–设计1
r:.3P 2wCTd:e:
cXP*?N4Cf I2"F2(>8K 2D参数优化–设计2
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ai|d`:; _ zM/>Qa 制造
公差分析–设计2
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J#_y\rt N1dv}!/*.+ 变化光栅周期的3D参数优化
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$646"1S Q[sj/ 制造公差分析
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abAX)R' NmbA~i 走进
VirtualLab Fusion
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S:b-+w|* uUy~$>V VirtualLab Fusion中的工作流程
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@ ={Hx$zL xcf`i:\ •构造光栅
结构 xhq-$"B −通过使用界面来配置光栅结构
kF,_o/Jc [用例]
W.67};', •分析光栅衍射效率
^)wTCkH&y −光栅级次分析器[用例]
R# 8.] •使用参数运行搜索初始解决方案
SLGo/I* −参数运行文档的使用[用例]
~6bf-Wg'X •通过参数优化找到最终设计
yxz)32B? <d`ksZ+ VirtualLab Fusion技术
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