摘要
{Z}zT1kA >M7(<V 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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GHFYIor GpCjoNcW{ 建模任务
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nTHCb>,vM 光栅特性与参数的严格分析
DpIk$X 3K%_wCZ 不同光栅周期下的衍射效率
`!C5"i8+i2 \9 k3;zw
Hlz$@[$ r#w.yg4EX 关于光栅周期选择的考虑
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%JuT'7VB [fg-"-+:M 偏振相关的衍射特性
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G"U^]$(+K m{by% 通过参数优化进行光栅设计
"]B%V!@ uHPd!#] 固定周期的2D参数优化
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%18%T{|$e 2D参数优化–设计1
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7%5EBH & >n jX=r. 2D参数优化–设计2
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3zzl|+# 6 Amv:dh 制造
公差分析–设计2
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uYXkD#{ ]l6niYVB2 变化光栅周期的3D参数优化
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j5G=ZI86y FBS]U$1 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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cnj32H^+ /#!1 VirtualLab Fusion中的工作流程
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FLLfTkXdI "/d •构造光栅
结构 h/..cVD,K −通过使用界面来配置光栅结构
t<MO~_`! [用例]
63c\1]YB. •分析光栅衍射效率
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JKc −光栅级次分析器[用例]
&p5^Cjy L •使用参数运行搜索初始解决方案
8j}o\!H −参数运行文档的使用[用例]
r+,JM L •通过参数优化找到最终设计
bd)Sb? ?%Gzd(YEY VirtualLab Fusion技术
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