摘要
uTNy{RBD+ uLr-!T 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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{m/KD 'b_ N5 mhs# 建模任务
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W4"1H0s`l 光栅特性与参数的严格分析
x\ 8gb#8 6W9lKD_i 不同光栅周期下的衍射效率
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?MOjtAG0_~ 2]V8- 关于光栅周期选择的考虑
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7>f)pfLM ,qj M1xkL$ 偏振相关的衍射特性
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*~^%s+b 8#IEE|1 通过参数优化进行光栅设计
~*L@|? KN~Rep cz@ 固定周期的2D参数优化
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K#G%,: 2D参数优化–设计1
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~I 9#a/at] 2D参数优化–设计2
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;Bat--K7+ +f,I$&d.V 制造
公差分析–设计2
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d 变化光栅周期的3D参数优化
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]* XlJ+:st 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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~TjTd F2v9XMi VirtualLab Fusion中的工作流程
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Pcr;+'q n yNHjn
|W •构造光栅
结构 $B`bsJ −通过使用界面来配置光栅结构
$'b b)@_ [用例]
BA_l*h%=Cc •分析光栅衍射效率
aWb5w −光栅级次分析器[用例]
i>;6Z s>S •使用参数运行搜索初始解决方案
Job&qW9W` −参数运行文档的使用[用例]
=GLMdhD] •通过参数优化找到最终设计
tfjb G;R !DeU8.% VirtualLab Fusion技术
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