摘要
s6,~JF^ eiKY az 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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i1vz{Tc WHdM P 建模任务
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D&%8JL 光栅特性与参数的严格分析
9zwD%3Ufn NfV|c~?d 不同光栅周期下的衍射效率
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.q9Sg8G V~*Gk! +f 关于光栅周期选择的考虑
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(U:-z=E#1 /mkT7,] 偏振相关的衍射特性
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g 通过参数优化进行光栅设计
LCorT- L7rgkxI7k* 固定周期的2D参数优化
[c,V=:Cq b Hr^_ogN
\zBi-GI7 2D参数优化–设计1
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:^)?AO#J 2D参数优化–设计2
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\S;[7T 1-y8Hy_a2 制造
公差分析–设计2
I$;`^z jFN0xGZ
a|t~&\@ Y_%:%J 变化光栅周期的3D参数优化
L`nW&;w' !n-Sh<8
|vs5N2_ _.s,gX 制造公差分析
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6e ?xu8| Ey=2zo^F 走进
VirtualLab Fusion
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_lv{ 8vf1B fI`Ez!w0 VirtualLab Fusion中的工作流程
p<L7qwOii cEL:5*cAU}
/b,>fK^ [%K6-\S •构造光栅
结构 Qder8I −通过使用界面来配置光栅结构
3 yx[*'e$ [用例]
JBpV'_"] •分析光栅衍射效率
edL2ax −光栅级次分析器[用例]
$ar^U •使用参数运行搜索初始解决方案
HyzSHI −参数运行文档的使用[用例]
|ke0G •通过参数优化找到最终设计
V(`]hH0;T g (w/ VirtualLab Fusion技术
J1w[gf]J XUP{]w`.Z