摘要
2Ev,dWV N*;/~bt7P 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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;!b(b% R7>@-EG 建模任务
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*G38N]|u6 光栅特性与参数的严格分析
%G*D0pE P7!Sc 不同光栅周期下的衍射效率
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%|~UNP$ > im4'- 关于光栅周期选择的考虑
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muLTYgaM 1zffPC8jl 偏振相关的衍射特性
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{_JLmyaerZ &DV'%h>i= 通过参数优化进行光栅设计
4KKNw9L) cW2:D$Pe 固定周期的2D参数优化
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_<8y^ymo 2D参数优化–设计1
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0qv)'[O 5y)kQ<x" 2D参数优化–设计2
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d$ /o\G K:0RP?L 制造
公差分析–设计2
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t=$:}A 变化光栅周期的3D参数优化
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5"sF#Y& `i}\k 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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=F`h2 A;a a7Jr} "B VirtualLab Fusion中的工作流程
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NO&OuiN •构造光栅
结构 t :_7O7 −通过使用界面来配置光栅结构
O;XF'r_ [用例]
#X)s=Y&5!T •分析光栅衍射效率
*6h.#$\ −光栅级次分析器[用例]
mb#)w`< •使用参数运行搜索初始解决方案
D -jew &B −参数运行文档的使用[用例]
]Kf HuYjM •通过参数优化找到最终设计
4]cOTXk9C lfhB2^^ VirtualLab Fusion技术
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