摘要
3K8#,TK3 &U_YDUQ'L 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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`"7}'| e8WuAI86 建模任务
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n\-nBrVSf 光栅特性与参数的严格分析
i6S5 4&^! {Xw6]d 不同光栅周期下的衍射效率
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Su4&qY ,A$#gLyk< 关于光栅周期选择的考虑
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>)Udb// 1g{-DIOmn 偏振相关的衍射特性
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J]!&E~Y s6DmZ^Y% 通过参数优化进行光栅设计
@5["L 9}[UZN6 固定周期的2D参数优化
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EbfE/_I 2D参数优化–设计1
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5[[mS g3Xa b 2D参数优化–设计2
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K9HXy*y49 |3bCq(ZR\P 制造
公差分析–设计2
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_.{I1*6Y2 @W1F4HYds 变化光栅周期的3D参数优化
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9cnLf# G<$N*3 制造公差分析
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\) FFV-k5 Hrg~<-.La 走进
VirtualLab Fusion
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4Zn" K}q mm:g9j VirtualLab Fusion中的工作流程
E*Z # fa _C%:AFPP>
X{u\|e{ bzWWW^kNL •构造光栅
结构 V{{Xz: −通过使用界面来配置光栅结构
&cSZ?0R [用例]
_/5#A+ ? •分析光栅衍射效率
s L=}d[ −光栅级次分析器[用例]
9 S4bg7 •使用参数运行搜索初始解决方案
ccY! OSae −参数运行文档的使用[用例]
1=Z, #r •通过参数优化找到最终设计
NVX @1} MJ M< VirtualLab Fusion技术
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